Háþróaður porous keramik tómarúmskúffa

Háþróaður porous keramik tómarúmskúffa
Pory keramik tómarúm Chucker burðarpallur sem notar meginregluna um lofttæmissog til að festa vinnustykki. Sá hluti lofttæmisfestingarinnar sem flytur lofttæmi er gegndræp keramikplata. Græna keramikplatan er sett saman í sökkgatinu á botninum og jaðar hennar er límdur og innsiglaður við botninn. Botninn er úr nákvæmu keramik- eða málmefni. Með því að sameina málm- eða keramikbotn og sérstakan gegndræpan keramik, gerir hönnun innri nákvæmnisloftsins kleift að vinnustykkið festist jafnt og stöðugt við lofttæmissogbollann þegar það verður fyrir neikvæðum þrýstingi.

Vegna afar fínna svigrúma í porous keramik er hægt að festa yfirborð vinnustykkisins við sogbollann án þess að neikvæð áhrif eins og rispur eða beyglur valdi undirþrýstingi.

Einkenni porous keramik tómarúmsfestingar:
① Þétt og einsleit uppbygging: Standast aðsog kísildufts/malaúrgangs, auðvelt að þrífa.
② Mikill styrkur og slitþol: Engin aflögun við slípun, lágmarkar flísun/brotnun á brúnum.
③ Langur líftími: Framúrskarandi viðhald á lögun yfirborðs, löng hreinsunarferli með lágmarks fjarlægingu.
④ Mikil einangrun: Útrýmir stöðurafmagni.
⑤ Endurnýtanlegt og auðvelt í meðförum: Engar sprungur/flagnun við endurnýjun, möguleg endurnotkun ítrekað.
⑥ Rykmyndandi og stöðugt: Fullkomlega sintrað, engin agnalosun.
⑦ Léttleiki: Götótt uppbygging dregur verulega úr þyngd.
⑧ Efnaþol: Hægt að aðlaga fyrir tærandi umhverfi með efnis-/ferlisstýringu.

Keramik tómarúmsfesting VS hefðbundin málmsogbolli:

Keramik tómarúmsfesting á sviði hálfleiðara
Keramískir lofttæmisklemmar þjóna sem klemmu- og burðarverkfæri í framleiðslu á hálfleiðaraskífum. Þeir eru með mikla flatneskju og samsíða lögun, þétta og einsleita uppbyggingu, mikinn styrk, góða loftgegndræpi, einsleita aðsogskraft og auðvelda hreinsun. Þessir eiginleikar gera þá hentuga fyrir ferli í framleiðslu á hálfleiðaraskífum eins og þynningu, sneiðingu, mala, hreinsun og meðhöndlun. Þeir takast á við áskoranir eins og prentun á skífum, rafstöðueiginleika sundurliðun flísar og agnamengun á áhrifaríkan hátt og ná fram afar háum vinnslugæðum fyrir hálfleiðaraskífur í hagnýtum notkun.