उन्नत छिद्रयुक्त सिरेमिक वैक्यूम चक
छिद्रयुक्त सिरेमिक वैक्यूम चकएक भार वहन करने वाला प्लेटफ़ॉर्म है जो वर्कपीस को ठीक करने के लिए वैक्यूम सोखना के सिद्धांत का उपयोग करता है। वैक्यूम चक का वह हिस्सा जो वैक्यूम संचारित करता है, एक छिद्रपूर्ण सिरेमिक प्लेट है। छिद्रपूर्ण सिरेमिक प्लेट को बेस के सिंकिंग होल में इकट्ठा किया जाता है, और इसकी परिधि को बेस के साथ जोड़ा और सील किया जाता है। बेस सटीक सिरेमिक या धातु सामग्री से बना है। एक धातु या सिरेमिक बेस को एक विशेष छिद्रपूर्ण सिरेमिक के साथ जोड़कर, आंतरिक सटीक वायुमार्ग का डिज़ाइन नकारात्मक दबाव के अधीन होने पर वैक्यूम सक्शन कप के लिए वर्कपीस के सुचारू और स्थिर आसंजन की अनुमति देता है।
छिद्रयुक्त सिरेमिक में अत्यंत सूक्ष्म छिद्रों के कारण, वर्कपीस की सतह को नकारात्मक दबाव के कारण खरोंच या डेंट जैसे किसी भी प्रतिकूल कारकों के बिना वैक्यूम सक्शन कप से चिपकाया जा सकता है।

छिद्रयुक्त सिरेमिक वैक्यूम चक की विशेषताएं:
① सघन एवं एकसमान संरचना: सिलिकॉन पाउडर/पीसने वाले मलबे के अवशोषण का प्रतिरोध करती है, साफ करने में आसान।
② उच्च शक्ति और पहनने के प्रतिरोध: पीसने के दौरान कोई विरूपण नहीं, किनारे के टूटने/विखंडन को कम करता है।
③ लंबी उम्र: उत्कृष्ट सतह आकार प्रतिधारण, न्यूनतम निष्कासन के साथ लंबा ड्रेसिंग चक्र।
④ उच्च इन्सुलेशन: स्थैतिक बिजली को समाप्त करता है।
⑤ पुन: प्रयोज्य और तैयार करने में आसान: पुनः सतह तैयार करने के दौरान कोई दरार/चिपकना नहीं, कई बार पुनः उपयोग संभव।
⑥ गैर-धूल और स्थिर: पूरी तरह से sintered, कोई कण उत्सर्जन नहीं।
⑦ हल्का वजन: छिद्रयुक्त संरचना वजन को काफी कम कर देती है।
⑧ रासायनिक प्रतिरोध: सामग्री/प्रक्रिया नियंत्रण के माध्यम से संक्षारक वातावरण के लिए अनुकूलन योग्य।
सिरेमिक वैक्यूम चक बनाम पारंपरिक धातु सक्शन कप:
अर्धचालक क्षेत्र में सिरेमिक वैक्यूम चक
सिरेमिक वैक्यूम चक्स सेमीकंडक्टर वेफर उत्पादन में क्लैम्पिंग और कैरीइंग टूल के रूप में काम करते हैं। इनमें उच्च समतलता और समानांतरता, सघन और एकसमान संरचना, उच्च शक्ति, अच्छी वायु पारगम्यता, एकसमान सोखना बल और आसान ड्रेसिंग की विशेषता होती है। ये विशेषताएँ उन्हें सेमीकंडक्टर वेफर निर्माण में प्रक्रियाओं जैसे कि पतला करना, टुकड़े करना, पीसना, साफ करना और संभालना के लिए उपयुक्त बनाती हैं। वे वेफर इंप्रिंटिंग, चिप्स के इलेक्ट्रोस्टैटिक ब्रेकडाउन और कण संदूषण जैसी चुनौतियों का प्रभावी ढंग से समाधान करते हैं, व्यावहारिक अनुप्रयोगों में सेमीकंडक्टर वेफर्स के लिए अत्यंत उच्च प्रसंस्करण गुणवत्ता प्राप्त करते हैं।
सिरेमिक सामग्रियों की डेटा शीट
| वस्तु | 95% एल्युमिना | 99% एल्युमिना | zirconia | सिलिकन कार्बाइड | सिलिकॉनNआईट्राइड | अल्युमीनियमNआईट्राइड |
| रंग | सफ़ेद | पीली रोशनी | सफ़ेद | काला | काला | स्लेटी |
| घनत्व (जी/सेमी3) | 3.7 ग्राम/सेमी3 | 3.9 ग्राम/सेमी3 | 6.02 ग्राम/सेमी3 | 3.2 ग्राम/सेमी3 | 3.25 ग्राम/सेमी3 | 3.2 ग्राम/सेमी3 |
| जल अवशोषण | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| कठोरता(एचवी) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| फ्लेक्सुरल स्ट्रेंथ (एमपीए) | 300एमपीए | 400एमपीए | 1100एमपीए | 450एमपीए | 800एमपीए | 310एमपीए |
| संपीड़न शक्ति (एमपीए) | 2500एमपीए | 2800एमपीए | 3600एमपीए | 2000एमपीए | 2600एमपीए | - |
| यंग का प्रत्यास्थता मापांक | 300जीपीए | 300जीपीए | 320जीपीए | 450जीपीए | 290जीपीए | 310~350जीपीए |
| पिज़ोन अनुपात | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| ऊष्मीय चालकता | 20वाट/मी° सेल्सियस | 32वाट/मी° सेल्सियस | 3W/मी°C | 50वाट/मी° सेल्सियस | 25वाट/मी° सेल्सियस | 150वाट/मी° सेल्सियस |
| ढांकता हुआ ताकत | 14केवी/मिमी | 14केवी/मिमी | 14केवी/मिमी | 14केवी/मिमी | 14केवी/मिमी | 14केवी/मिमी |
| वॉल्यूम प्रतिरोधकता(25℃) | >1014Ω·सेमी | >1014Ω·सेमी | >1014Ω·सेमी | >105Ω·सेमी | >1014Ω·सेमी | >1014Ω·सेमी |
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