Чаки вакуумии сафолии пешқадам
Чаки вакууми сафолӣплатформаи борбардор аст, ки барои ислоҳ кардани қисмҳои корӣ принсипи адсорбсияи вакуумро истифода мебарад. Қисми вакуумӣ, ки вакуумро интиқол медиҳад, табақи сафолии ковок мебошад. Табақи сафолии ковок дар сӯрохи ғарқшудаи пойгоҳ ҷамъ карда мешавад ва канори он бо пойгоҳ пайваст ва мӯҳр карда мешавад. Пойгоҳ аз сафолӣ ё маводи металлии дақиқ сохта шудааст. Бо омезиши пойгоҳи металлӣ ё сафолӣ бо сафоли махсуси ковокӣ, тарҳи роҳи ҳавоии дақиқи дохилӣ имкон медиҳад, ки ҳангоми фишори манфӣ ба косаи вакуумӣ часпидани ҳамвор ва устувори порчаи корӣ ба косачаи вакуумӣ.
Аз сабаби сӯрохҳои бениҳоят хуб дар сафолҳои ковокӣ, сатҳи пораро метавон ба косаи вакуумӣ бе ягон омилҳои номатлуб, ба монанди харошидан ё дандонҳо, ки аз фишори манфӣ ба вуҷуд омадааст, часпонад.
Хусусиятҳои Чаки вакууми сафолӣ:
① Сохтори зич ва якхела: ба хокаи кремний / суфтакунандаи адсорбсияи хошок муқовимат мекунад, тоза кардан осон аст.
② Муқовимати баланд ва муқовимат ба фарсудашавӣ: Ҳеҷ гуна деформатсия ҳангоми дастос, шикаста/порашавии канорҳоро кам мекунад.
③ Давомнокии дарозмӯҳлат: Аъло нигоҳ доштани шакли рӯизаминӣ, давраи либоспӯшии тӯлонӣ бо бартарафсозии ҳадди ақал.
④ Изолятсияи баланд: барқи статикиро нест мекунад.
⑤ Аз нав истифодашаванда ва пӯшидан осон: Ҳангоми барқарорсозӣ шикаста/чипка намешавад, истифодаи такрории такрорӣ имконпазир аст.
⑥ Чанг нест ва устувор: Комилан синтеризатсияшуда, партоби зарраҳо нест.
⑦ Сабук: Сохтори ковок вазнро ба таври назаррас коҳиш медиҳад.
⑧ Муқовимати кимиёвӣ: Барои муҳити зангзананда тавассути назорати мавод / раванд фармоишӣ аст.
Чаки сафолии вакуумӣ VS Ҷоми сӯзиши анъанавии металлӣ:
Чаки вакууми сафолӣ дар майдони нимноқил
Чакҳои вакууми сафолӣ дар истеҳсоли вафли нимноқилҳо ҳамчун асбоби фишурда ва интиқол хизмат мекунанд. Онҳо дорои ҳамворӣ ва параллелизми баланд, сохтори зиччи ва якхела, қувваи баланд, гузариши хуби ҳаво, қувваи ягонаи адсорбсия ва либоспӯшии осон мебошанд. Ин хусусиятҳо онҳоро барои равандҳои истеҳсоли вафли нимноқилӣ, аз қабили борик кардан, буридан, суфтан, тоза кардан ва коркард мувофиқ мегардонанд. Онҳо мушкилотро ба мисли чопи вафли, шикастани электростатикии микросхемаҳои микросхемаҳои ва ифлосшавии зарраҳо самаранок ҳал карда, ба сифати хеле баланди коркарди вафли нимноқил дар барномаҳои амалӣ ноил мешаванд.
Варақаи маълумотии маводи сафолӣ
| Адад | 95% гилхок | 99% гилхок | Циркония | Карбиди кремний | СиликонNсайр | АлюминийNсайр |
| Ранги | сафед | Зарди сабук | сафед | сиёҳ | сиёҳ | хокистарранг |
| Зичии (г/см3) | 3,7 г/см3 | 3,9 г/см3 | 6,02 г/см3 | 3,2 г/см3 | 3,25 г/см3 | 3,2 г/см3 |
| Абсорбсияи об | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Сахтӣ (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Қувваи каҷ (МПа) | 300МПа | 400 МПа | 1100 МПа | 450 МПа | 800МПа | 310 МПа |
| Қувваи фишор (МПа) | 2500 МПа | 2800 МПа | 3600 МПа | 2000МПа | 2600 МПа | - |
| Модули чандирии Янг | 300 ГПа | 300 ГПа | 320 ГПа | 450 ГПа | 290 ГПа | 310 ~ 350 ГПа |
| Таносуби Пуассон | 0,23 | 0,23 | 0,25 | 0,14 | 0,24 | 0,24 |
| Кобилияти гармигузаронӣ | 20Вт/м°С | 32 Вт/м°С | 3Вт/м°С | 50Вт/м°С | 25 Вт/м°С | 150 Вт/м°С |
| Қувваи диэлектрикӣ | 14КВ/мм | 14КВ/мм | 14КВ/мм | 14КВ/мм | 14КВ/мм | 14КВ/мм |
| Муқовимати ҳаҷм (25 ℃) | >1014Ω·см | >1014Ω·см | >1014Ω·см | >105Ω·см | >1014Ω·см | >1014Ω·см |
VET Energy як истеҳсолкунандаи касбӣ мебошад, ки ба R&D ва истеҳсоли маводи пешрафтаи баландсифат, аз қабили графит, карбиди кремний, кварц, инчунин коркарди моддӣ ба монанди молидани SiC, молидани TaC, молидани карбон шишагин, молидани карбон пиролитикӣ ва ғайра нигаронида шудааст.
Гурӯҳи техникии мо аз муассисаҳои олии тадқиқотии ватанӣ меояд, метавонад барои шумо ҳалли бештари моддиро пешниҳод кунад.
Афзалиятҳои VET Energy дар бар мегиранд:
• Корхонаи худ ва лабораторияи касбӣ;
• Сатҳи тозагӣ ва сифати пешбари саноат;
• Нархи рақобат & вақти расонидани Fast;
• Шарикиҳои сершумори соҳавӣ дар саросари ҷаҳон;
Мо шуморо хуш омадед, ки дар вақти дилхоҳ ба корхона ва лабораторияи мо ташриф оред!
