അഡ്വാൻസ്ഡ് പോറസ് സെറാമിക് വാക്വം ചക്ക്

അഡ്വാൻസ്ഡ് പോറസ് സെറാമിക് വാക്വം ചക്ക്
പോറസ് സെറാമിക് വാക്വം ചക്ക്വർക്ക്പീസുകൾ ശരിയാക്കാൻ വാക്വം അഡ്‌സോർപ്ഷൻ തത്വം ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു ലോഡ്-ബെയറിംഗ് പ്ലാറ്റ്‌ഫോമാണ്. വാക്വം കടത്തിവിടുന്ന വാക്വം ചക്കിന്റെ ഭാഗം ഒരു പോറസ് സെറാമിക് പ്ലേറ്റാണ്. പോറസ് സെറാമിക് പ്ലേറ്റ് ബേസിന്റെ സിങ്കിംഗ് ഹോളിൽ കൂട്ടിച്ചേർക്കുകയും അതിന്റെ ചുറ്റളവ് ബേസുമായി ബന്ധിപ്പിച്ച് സീൽ ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു. ബേസ് പ്രിസിഷൻ സെറാമിക് അല്ലെങ്കിൽ ലോഹ വസ്തുക്കൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്. ഒരു ലോഹമോ സെറാമിക് ബേസോ ഒരു പ്രത്യേക പോറസ് സെറാമിക് ഉപയോഗിച്ച് സംയോജിപ്പിക്കുന്നതിലൂടെ, ആന്തരിക പ്രിസിഷൻ എയർവേയുടെ രൂപകൽപ്പന നെഗറ്റീവ് മർദ്ദത്തിന് വിധേയമാകുമ്പോൾ വർക്ക്പീസിനെ വാക്വം സക്ഷൻ കപ്പിലേക്ക് സുഗമവും സ്ഥിരതയുള്ളതുമായ അഡീഷൻ അനുവദിക്കുന്നു.

സുഷിരങ്ങളുള്ള സെറാമിക്സിലെ വളരെ സൂക്ഷ്മമായ സുഷിരങ്ങൾ കാരണം, നെഗറ്റീവ് മർദ്ദം മൂലമുണ്ടാകുന്ന പോറലുകൾ അല്ലെങ്കിൽ പല്ലുകൾ പോലുള്ള പ്രതികൂല ഘടകങ്ങളൊന്നുമില്ലാതെ വർക്ക്പീസിന്റെ ഉപരിതലം വാക്വം സക്ഷൻ കപ്പിൽ ഒട്ടിപ്പിടിക്കാൻ കഴിയും.

പോറസ് സെറാമിക് വാക്വം ചക്കിന്റെ സവിശേഷതകൾ:
① സാന്ദ്രവും ഏകീകൃതവുമായ ഘടന: സിലിക്കൺ പൊടി/പൊടിക്കുന്ന അവശിഷ്ടങ്ങളുടെ ആഗിരണം പ്രതിരോധിക്കുന്നു, വൃത്തിയാക്കാൻ എളുപ്പമാണ്.
② ഉയർന്ന ശക്തിയും തേയ്മാന പ്രതിരോധവും: പൊടിക്കുമ്പോൾ രൂപഭേദം സംഭവിക്കുന്നില്ല, അരികുകൾ പൊട്ടുന്നതും പൊട്ടുന്നതും കുറയ്ക്കുന്നു.
③ ദീർഘായുസ്സ്: മികച്ച ഉപരിതല ആകൃതി നിലനിർത്തൽ, കുറഞ്ഞ നീക്കം ചെയ്യലോടെ നീണ്ട ഡ്രസ്സിംഗ് സൈക്കിൾ.
④ ഉയർന്ന ഇൻസുലേഷൻ: സ്റ്റാറ്റിക് വൈദ്യുതി ഇല്ലാതാക്കുന്നു.
⑤ പുനരുപയോഗിക്കാവുന്നതും വസ്ത്രം ധരിക്കാൻ എളുപ്പവുമാണ്: റീസർഫേസിംഗ് സമയത്ത് പൊട്ടൽ/ചിപ്പിംഗ് ഇല്ല, ഒന്നിലധികം പുനരുപയോഗം സാധ്യമാണ്.
⑥ പൊടിയാത്തതും സ്ഥിരതയുള്ളതും: പൂർണ്ണമായും സിന്റർ ചെയ്തിരിക്കുന്നു, കണികാ ഉദ്‌വമനം ഇല്ല.
⑦ ഭാരം കുറഞ്ഞത്: സുഷിര ഘടന ഭാരം ഗണ്യമായി കുറയ്ക്കുന്നു.
⑧ രാസ പ്രതിരോധം: മെറ്റീരിയൽ/പ്രോസസ് നിയന്ത്രണം വഴി നശിപ്പിക്കുന്ന പരിതസ്ഥിതികൾക്കായി ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാവുന്നതാണ്.

സെറാമിക് വാക്വം ചക്ക് VS ട്രഡീഷണൽ മെറ്റൽ സക്ഷൻ കപ്പ്:

സെമികണ്ടക്ടർ ഫീൽഡിലെ സെറാമിക് വാക്വം ചക്ക്
സെമികണ്ടക്ടർ വേഫർ നിർമ്മാണത്തിൽ സെറാമിക് വാക്വം ചക്കുകൾ ക്ലാമ്പിംഗ്, കാരിയർ ടൂളുകളായി പ്രവർത്തിക്കുന്നു. ഉയർന്ന പരന്നതും സമാന്തരത്വവും, സാന്ദ്രവും ഏകീകൃതവുമായ ഘടന, ഉയർന്ന ശക്തി, നല്ല വായു പ്രവേശനക്ഷമത, ഏകീകൃത അഡോർപ്ഷൻ ഫോഴ്‌സ്, എളുപ്പമുള്ള ഡ്രസ്സിംഗ് എന്നിവ ഇവയുടെ സവിശേഷതയാണ്. നേർത്തതാക്കൽ, മുറിക്കൽ, പൊടിക്കൽ, വൃത്തിയാക്കൽ, കൈകാര്യം ചെയ്യൽ തുടങ്ങിയ സെമികണ്ടക്ടർ വേഫർ നിർമ്മാണത്തിലെ പ്രക്രിയകൾക്ക് ഈ സവിശേഷതകൾ അവയെ അനുയോജ്യമാക്കുന്നു. വേഫർ ഇംപ്രിന്റിംഗ്, ചിപ്പുകളുടെ ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ബ്രേക്ക്ഡൌൺ, കണികാ മലിനീകരണം തുടങ്ങിയ വെല്ലുവിളികളെ അവ ഫലപ്രദമായി നേരിടുന്നു, പ്രായോഗിക പ്രയോഗങ്ങളിൽ സെമികണ്ടക്ടർ വേഫറുകൾക്ക് വളരെ ഉയർന്ന പ്രോസസ്സിംഗ് ഗുണനിലവാരം കൈവരിക്കുന്നു.