Porou Ceramic Vacuum Chuck matatau
Porou Ceramic Vacuum ChuckKo te turanga kawenga-kaupapa e whakamahi ana i te parau tumu o te korehau adsorption ki te whakatika workpieces. Ko te wahanga o te kohanga korehau e tuku ana he pereti uku pore. Ka whakaemihia te pereti uku porous ki roto i te kohao totohu o te turanga, ka herea tona taha ka hiri ki te turanga. Ko te turanga he mea hanga mai i nga rawa o te uku, o nga mea whakarewa ranei. Na roto i te whakakotahi i te turanga whakarewa, i te turanga uku ranei me te raima pore motuhake, ko te hoahoa o te ara rererangi o roto ka taea te piri maeneene me te pumau o te mea mahi ki te kapu momi korehau ina pa ana ki te pehanga kino.
Na te tino pai o nga pores i roto i nga karamu pore, ka taea te piri te mata o te mea mahi ki te kapu momi korehau me te kore he take kino penei i te karawarawa me nga pakaru na te pehanga kino.
Nga ahuatanga o te Porous Ceramic Vacuum Chuck:
① Hanganga kiato me te riterite: Ka atete i te paura silicon/te huri i te whakangao para, ngawari ki te horoi.
② Te kaha nui me te whakakakahu i nga kakahu: Karekau he rereke i te wa e huri ana, ka whakaiti i te tapatapahi/te wehenga.
③ Te roa o te oranga: He pai te pupuri i te ahua o te mata, te huringa kakahu roa me te tango iti.
④ Te whakamarumaru teitei: Ka whakakore i te hiko pateko.
⑤ Ka taea te whakamahi ano me te ngawari ki te kakahu: Karekau he pakaru / maramara i te wa o te whakahou, ka taea te whakamahi ano.
⑥ Kore-puehu me te pumau: Kua oti te whakakii, kaore he matūriki.
⑦ Maamaa: Ko te hanganga poroporo he tino whakaiti i te taumaha.
⑧ Te ātete matū: Ka taea te whakarite mo nga taiao pirau ma te whakahaere rawa/tukatuka.
Uka Korehau Chuck VS Tikanga Korehau Momo Kapu:
Ko te kowhatu korehau uku i roto i te mara hikohiko
Ko nga kaakahu korehau heera hei awhi me te kawe taputapu i roto i te hanga angiangi semiconductor. He nui te papatahi me te whakarara, he hanganga kiato me te riterite, he kaha teitei, he pai te uruhanga o te hau, te kaha urunga rite, me te whakakakahu ngawari. Ko enei ahuatanga e pai ana mo nga tukanga i roto i te hanga wafer semiconductor penei i te angiangi, te tapahi, te huri, te horoi, me te whakahaere. Ka whai hua ratou ki te whakatutuki i nga wero penei i te tarai angiangi, te pakaruhanga hiko o nga maramara, me te poke matūriki, te whakatutuki i te kounga tukatuka tino tiketike mo nga angiangi semiconductor i roto i nga tono mahi.
Te Raraunga Raraunga o nga Mahinga Ceramic
| Tūemi | 95% Aluminium | 99% Aluminium | Zirconia | Silicon carbide | SiliconNhaereere | KonumoheNhaereere |
| Tae | ma | Kōwhai marama | ma | pango | pango | hina |
| Kiato (g/cm3) | 3.7g/cm3 | 3.9g/cm3 | 6.02g/cm3 | 3.2g/cm3 | 3.25g/cm3 | 3.2g/cm3 |
| Te Kohanga Wai | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Maama(HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Te Kaha Toka (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Kaha Kōpeke (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Young's Modulus Of Elasticity | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Poisson's Ratio | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Te Whakawhitinga Ngawha | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Te Kaha Dielectric | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Rōrahi ātete(25℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
Ko te VET Energy he kaihanga ngaio e arotahi ana ki te R&D me te hanga o nga rauemi teitei teitei penei i te graphite, te silicon carbide, te quartz, me te maimoatanga rauemi penei i te paninga SiC, te paninga TaC, te paninga waro karaihe, te kapi waro pyrolytic, me etahi atu.
Ko ta maatau roopu hangarau i ahu mai i nga umanga rangahau o roto o te whare, ka taea te whakarato i nga otinga rauemi ngaio mo koe.
Ko nga painga o te VET Energy ko:
• He wheketere ake me te taiwhanga ngaio;
• Ahumahi-arahi taumata ma me te kounga;
• Te utu whakataetae & te wa tuku tere;
• Nga hononga ahumahi maha puta noa i te ao;
Ka mihi matou ki a koe ki te toro ki to maatau wheketere me te taiwhanga i nga wa katoa!
