Keraaminen kiekkolämmitin AlN-alumiinioksidilämmityselementti

Keraaminen kiekkolämmitin AlN-alumiinioksidilämmityselementti
Puolijohdevalmistuksessa kiekkoja on käsiteltävä erilaisilla prosesseilla, kuten ohutkalvopinnoituksella, etsauksella jne. Näissä prosesseissa kiekot on lämmitettävä tiettyyn lämpötilaan, ja lämpötilalle on tiukat vaatimukset, koska lämpötilan tasaisuudella on erittäin tärkeä vaikutus tuotteen saantoon ja lämmityskomponentit ovat välttämättömiä.

Keraaminen lämmitinlevitetään suoraan prosessikammioon ja ne ovat suorassa kosketuksessa kiekon kanssa. Ne eivät ainoastaan ​​kanna kiekkoa, vaan myös varmistavat, että kiekko saavuttaa vakaan ja tasaisen prosessilämpötilan. Ne ovat keskeisiä komponentteja puolijohdeohutkalvopinnoituslaitteissa!

Keraaminen lämmitin sisältää kiekkoa tukevan keraamisen pohjan ja sitä tukevan sylinterimäisen tukirungon takapuolella. Lämmitystä varten vastuselementin (lämmityskerroksen) lisäksi keraamisen pohjan sisällä tai pinnalla on myös radiotaajuuselektrodeja (RF-kerros). Nopean lämmityksen ja jäähdytyksen saavuttamiseksi keraamisen pohjan paksuuden tulisi olla ohut, mutta liian ohut kerros heikentää myös jäykkyyttä.

Keraamisen lämmittimen tuki on yleensä valmistettu keraamisesta materiaalista, jonka lämpölaajenemiskerroin on samanlainen kuin pohjan. Lämmittimessä on ainutlaatuinen akseliliitoksen pohjarakenne, joka suojaa liittimiä ja johtoja plasman ja syövyttävien kemiallisten kaasujen vaikutuksilta. Tuki on varustettu lämmönsiirtokaasun tulo- ja poistoputkella lämmittimen tasaisen lämpötilan varmistamiseksi. Pohja ja tuki on kemiallisesti liimattu toisiinsa liimakerroksella.

Keraaminen lämmitin voi olla valmistettu keraamisista materiaaleista, kuten alumiininitridistä (AlN), piinitridistä (Si3N4) ja alumiinioksidista (Al2O3). Näistä AlN on paras valinta keraamisille lämmittimille. Verrattuna muihin materiaaleihin VET Energyn AlN-keraamilla on seuraavat ominaisuudet:
(1) Hyvä lämmönjohtavuus;
(2) Sovitettu lämpölaajenemiskerroin puolijohde-piimateriaaleihin;
(3) Hyvät mekaaniset ominaisuudet, erinomainen kulutuskestävyys ja kattavat mekaaniset ominaisuudet ovat parempia kuin berylliumoksidilla ja vastaavat alumiinioksidia;
(4) Erinomaiset kattavat sähköiset ominaisuudet, erinomainen sähköeristys ja pieni dielektrinen häviö;
(5) Myrkytön ja ympäristöystävällinen.