Advanced Porous Seramiiki Vacuum Chuck
Porous Seramiiki agụụ Chuckbụ ikpo okwu na-ebu ibu nke na-eji ụkpụrụ nke mmịpụta ikuku eme ihe iji dozie ihe ndị a na-arụ ọrụ. Akụkụ nke ihe mkpuchi ikuku nke na-ebufe ikuku bụ efere seramiiki oghere. A na-ejikọta efere seramiiki oghere dị n'ime oghere mmiri nke ntọala ahụ, a na-ejikọkwa ya na ntọala ahụ ma mechie ya. E ji ihe seramiiki ma ọ bụ ígwè kpọmkwem mee ntọala ahụ. Site na ijikọta ntọala ígwè ma ọ bụ seramiiki na seramiiki oghere pụrụ iche, imewe nke ikuku dị n'ime na-enye ohere maka nrapado dị nro ma kwụsie ike nke ihe mkpuchi ahụ na iko mmịpụta ikuku mgbe enwere nrụgide na-adịghị mma.
N'ihi oghere dị oke mma dị na seramiiki oghere, enwere ike ịrapara elu nke ihe eji arụ ọrụ ahụ na iko mmiri ikuku na-enweghị ihe ọ bụla dị ka ọkọ ma ọ bụ ntụpọ nke nrụgide na-adịghị mma kpatara.
Àgwà nke Porous Seramiiki agụụ Chuck:
① Ọdịdị dị oke arọ na nke otu: Na-eguzogide ntụ ntụ silicon/nsị ihe mkpofu, dị mfe ihicha.
② Ike dị elu na iguzogide iyi: Enweghị mgbanwe n'oge a na-egweri ihe, na-ebelata mgbawa/mkpụmkpụ n'akụkụ.
③ Ogologo ndụ: Njide ọdịdị elu dị mma, ogologo oge eji ejiji na obere mwepụ.
④ Mkpuchi dị elu: Na-ewepụ ọkụ eletrik nkịtị.
⑤ A na-emegharị ya ma dị mfe iyi: Enweghị mgbawa/mkpụmkpụ mgbe a na-emegharị ya, enwere ike iji ya mee ihe ugboro ugboro.
⑥ Anaghị ekpuchi ájá ma kwụsie ike: A na-egwepịa ya nke ọma, enweghị mwepụ ihe ọ bụla.
⑦ Dị fechaa: Ọdịdị oghere na-ebelata ibu nke ukwuu.
⑧ Nguzogide kemịkalụ: A pụrụ ịhazi ya maka gburugburu ebe obibi na-emebi emebi site na njikwa ihe/usoro.
Agụụ seramiiki Chuck VS Traditional Metal mmiri iko:
Azụ̀ seramiiki na-arụ ọrụ n'ọhịa semiconductor
Ihe mkpuchi ikuku seramiiki na-arụ ọrụ dị ka ngwaọrụ njikọta na ibugharị na mmepụta wafer semiconductor. Ha nwere nnukwu ịdị larịị na ihe yiri ya, nhazi siri ike na otu, ike dị elu, ikuku dị mma, ike nnabata otu, na mgbakwasa dị mfe. Njirimara ndị a na-eme ka ha dabara adaba maka usoro na mmepụta wafer semiconductor dị ka ịcha, ịbepụ, ịgweri, nhicha, na ijikwa. Ha na-edozi nsogbu dị ka ịpịpụta wafer, mmebi nke chips electrostatic, na mmetọ ihe, na-enweta oke nhazi dị elu maka wafer semiconductor na ngwa bara uru.
Mpempe akwụkwọ data nke ihe seramiiki
| ihe | 95% alumina | 99% alumina | Zirconia | Silicon carbide | SilikọnNnjem ntụrụndụ | AluminomNnjem ntụrụndụ |
| Agba | ọcha | Ọcha dị mfe | ọcha | oji | oji | isi awọ |
| Njupụta (g/cm3) | 3.7g/cm3 | 3.9g/cm3 | 6.02g/cm3 | 3.2g/cm3 | 3.25g/cm3 | 3.2g/cm3 |
| Mmịpụta Mmiri | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Ike siri ike (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Ike nke Flexural (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Ike Mkpakọ (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Modulu nke Nkịtị nke Young | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Oke Poisson | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Ọgbakọ okpomọkụ | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Ike Dielectric | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Nguzogide olu (25℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy bụ ọkachamara na-emepụta ihe na-elekwasị anya na R&D na mmepụta nke ihe ndị dị elu dị ka graphite, silicon carbide, quartz, yana ọgwụgwọ ihe dịka mkpuchi SiC, mkpuchi TaC, mkpuchi carbon iko, mkpuchi carbon pyrolytic, wdg. A na-eji ngwaahịa ndị a eme ihe n'ọtụtụ ebe na fotovoltaic, semiconductor, ike ọhụrụ, metallurgy, wdg.
Ndị otu teknụzụ anyị sitere na ụlọ ọrụ nyocha kacha elu n'ime obodo, ha nwere ike inye gị azịza ihe ọkachamara karịa.
Uru ike VET gụnyere:
• Ụlọ ọrụ mmepụta ihe na ụlọ nyocha ọkachamara nke ya;
• Ọkwa na ịdị ọcha nke ụlọ ọrụ mmepụta ihe na-eduga n'ịdị ọcha;
• Ọnụ ahịa asọmpi & Oge nnyefe ngwa ngwa;
• Mmekọrịta dị iche iche n'etiti ụlọ ọrụ n'ụwa niile;
Anyị na-anabata gị ka ị gaa leta ụlọ ọrụ mmepụta ihe na ụlọ nyocha anyị n'oge ọ bụla!
