Advanced Porous Ceramic Vacuum Chuck
Porous Ceramic Vacuum Chuckdia sehatra mitondra entana izay mampiasa ny fitsipiky ny vacuum adsorption hanamboarana workpieces. Ny ampahany amin'ny vacuum chuck izay mampita ny banga dia takelaka seramika porous. Ny takelaka seramika porous dia miangona ao amin'ny lavaka milentika amin'ny fotony, ary ny periphery dia mifamatotra sy voaisy tombo-kase amin'ny fototra. Ny fototra dia vita amin'ny fitaovana vita amin'ny seramika na metaly. Amin'ny fampifangaroana fototra metaly na seramika miaraka amin'ny seramika porous manokana, ny famolavolana ny làlan-drivotra anatiny dia mamela ny fametahana malefaka sy maharitra ny workpiece amin'ny kaopy suction vacuum rehefa iharan'ny tsindry ratsy.
Noho ny pores faran'izay tsara amin'ny seramika porous, ny tampon'ny workpiece dia azo fehezina amin'ny kaopy suction vacuum tsy misy antony ratsy toy ny scratches na dents vokatry ny tsindry ratsy.
Toetran'ny Chuck Vacuum Ceramic Porous:
① Firafitra matevina & fanamiana: Manohitra ny vovon-tsavony silisiôma / fikosoham-bary, mora diovina.
② Hery avo sy fanoherana: Tsy misy deformation mandritra ny fitotoana, manamaivana ny fikorotanana/fisokajiana ny sisiny.
③ Lava ny androm-piainana: Fihazonana endrika tsara tarehy, tsingerin'ny fiakanjo lava ary misy fanesorana kely.
④ Insulation avo: Manafoana ny herinaratra static.
⑤ Reusable & mora ny fitafy: Tsy misy vaky/chipping mandritra ny resurfacing, azo ampiasaina indray.
⑥ Tsy misy vovoka & stable: Sintered tanteraka, tsy misy famoahana poti.
⑦ Maivana: Ny rafitra porous dia mampihena be ny lanja.
⑧ fanoherana simika: azo zahana amin'ny tontolo manimba amin'ny alàlan'ny fanaraha-maso ara-materialy/process.
Seramika Vacuum Chuck VS Traditional Metal Suction Cup:
Seramika vacuum Chuck ao amin'ny saha semiconductor
Vacuum chucks seramika miasa ho clamping sy mitondra fitaovana amin'ny semiconductor wafer famokarana. Izy ireo dia manasongadina fisaka sy parallèle avo, rafitra mikitroka sy mitovitovy, hery avo, permeability tsara amin'ny rivotra, hery adsorption fanamiana, ary fitafy mora. Ireo toetra ireo dia mahatonga azy ireo ho mety amin'ny dingana amin'ny famokarana wafer semiconductor toy ny manify, manapaka, manodina, manadio ary mikarakara. Izy ireo dia mamaly amin'ny fomba mahomby ireo fanamby toy ny fanontam-pirinty wafer, fahapotehan'ny elektrôstatika ny poti-potika, ary ny fandotoana poti-javatra, hahazoana kalitao fanodinana avo lenta ho an'ny wafer semiconductor amin'ny fampiharana azo ampiharina.
Takelaka data momba ny fitaovana seramika
| zavatra | 95% Aluminum | 99% alumina | Zirconia | Silicon carbide | silisiômaNitride | VIRATYNitride |
| Color | fotsy | Mavo mavo | fotsy | mainty | mainty | grey |
| Hateza (g/cm3) | 3.7g/cm3 | 3.9g/cm3 | 6,02g/cm3 | 3.2g/cm3 | 3,25g/cm3 | 3.2g/cm3 |
| Fisoronana rano | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Hardness (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Herin'ny flexural (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Hery fanerena (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Young's Modulus of Elasticité | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Ny tahan'ny Poisson | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Conductivity mafana | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Hery dielectric | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Volana fanoherana (25 ℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
Ny VET Energy dia mpanamboatra matihanina mifantoka amin'ny R&D sy ny famokarana fitaovana avo lenta toy ny graphite, carbide silisiôma, quartz, ary koa ny fitsaboana ara-materialy toy ny SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, sns. Ny vokatra dia be mpampiasa amin'ny photovoltaic, semiconductor, angovo vaovao, metallurgy, sns
Ny ekipa teknika dia avy amin'ireo andrim-pikarohana ambony ao an-toerana, afaka manome vahaolana ara-pitaovana matihanina kokoa ho anao.
Ny tombony amin'ny VET Energy dia ahitana:
• Orinasa manokana sy laboratoara matihanina;
• Ny haavon'ny fahadiovana sy ny kalitaon'ny indostria;
• Mifaninana vidiny & Fast fanaterana fotoana;
• Fiaraha-miasa amin'ny indostria maro maneran-tany;
Miarahaba anao izahay hitsidika ny orinasa sy ny laboratoara amin'ny fotoana rehetra!
