Advanced na Porous Ceramic Vacuum Chuck
Porous Ceramic Vacuum Chuckay isang platapormang may karga na gumagamit ng prinsipyo ng vacuum adsorption upang ikabit ang mga workpiece. Ang bahagi ng vacuum chuck na nagpapadala ng vacuum ay isang porous ceramic plate. Ang porous ceramic plate ay binubuo sa sinking hole ng base, at ang paligid nito ay pinagdurugtong at tinatakan sa base. Ang base ay gawa sa mga precision ceramic o metal na materyales. Sa pamamagitan ng pagsasama-sama ng metal o ceramic base na may espesyal na porous ceramic, ang disenyo ng internal precision airway ay nagbibigay-daan para sa maayos at matatag na pagdikit ng workpiece sa vacuum suction cup kapag sumailalim sa negatibong presyon.
Dahil sa napakanipis na mga butas sa mga porous ceramics, ang ibabaw ng workpiece ay maaaring dumikit sa vacuum suction cup nang walang anumang masamang salik tulad ng mga gasgas o dents na dulot ng negative pressure.
Mga Katangian ng Porous Ceramic Vacuum Chuck:
① Siksik at pare-parehong istraktura: Lumalaban sa pagsipsip ng silicon powder/mga debris na nanggagaling, madaling linisin.
② Mataas na tibay at resistensya sa pagkasira: Walang deformasyon habang naggigiling, binabawasan ang pagkapira-piraso/pagkapira-piraso ng gilid.
③ Mahabang buhay: Napakahusay na pagpapanatili ng hugis ng ibabaw, mahabang panahon ng pagbibihis na may kaunting pag-aalis.
④ Mataas na insulasyon: Tinatanggal ang static na kuryente.
⑤ Magagamit muli at madaling ayusin: Walang bitak/pagkabasag habang nireresurface, maaaring gamitin muli nang maraming beses.
⑥ Hindi naaalis ng alikabok at matatag: Ganap na sintered, walang emisyon ng particle.
⑦ Magaan: Ang butas-butas na istraktura ay lubos na nakakabawas ng timbang.
⑧ Resistensya sa kemikal: Maaaring ipasadya para sa mga kinakaing unti-unting kapaligiran sa pamamagitan ng pagkontrol sa materyal/proseso.
Ceramic Vacuum Chuck VS Tradisyonal na Metal Suction Cup:
Ceramic vacuum chuck sa larangan ng semiconductor
Ang mga ceramic vacuum chuck ay nagsisilbing mga kagamitan sa pag-clamping at pagdadala sa produksyon ng semiconductor wafer. Nagtatampok ang mga ito ng mataas na flatness at parallelism, siksik at pare-parehong istraktura, mataas na lakas, mahusay na air permeability, pare-parehong adsorption force, at madaling pag-aayos. Ang mga katangiang ito ang dahilan kung bakit angkop ang mga ito para sa mga proseso sa paggawa ng semiconductor wafer tulad ng pagnipis, paghihiwa, paggiling, paglilinis, at paghawak. Epektibo nilang tinutugunan ang mga hamong tulad ng wafer imprinting, electrostatic breakdown ng mga chips, at kontaminasyon ng particle, na nakakamit ng napakataas na kalidad ng pagproseso para sa mga semiconductor wafer sa mga praktikal na aplikasyon.
Data Sheet ng mga Materyales na Seramik
| Aytem | 95% Alumina | 99% Alumina | Zirconia | Silikon karbida | SilikonNitride | AluminyoNitride |
| Kulay | puti | Banayad na dilaw | puti | itim | itim | kulay abo |
| Densidad (g/cm3) | 3.7g/cm3 | 3.9g/cm3 | 6.02g/cm3 | 3.2g/cm3 | 3.25g/cm3 | 3.2g/cm3 |
| Pagsipsip ng Tubig | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Katigasan (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Lakas ng Pagbaluktot (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Lakas ng Kompresibo (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Modulus ng Elastisidad ni Young | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Ratio ni Poisson | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Konduktibidad ng Termal | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Lakas ng Dielektriko | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Resistivity ng Dami (25℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
Ang VET Energy ay isang propesyonal na tagagawa na nakatuon sa R&D at produksyon ng mga high-end na advanced na materyales tulad ng graphite, silicon carbide, quartz, pati na rin ang material treatment tulad ng SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, atbp. Ang mga produkto ay malawakang ginagamit sa photovoltaic, semiconductor, new energy, metalurhiya, atbp.
Ang aming teknikal na pangkat ay nagmula sa mga nangungunang institusyong pananaliksik sa loob ng bansa, at maaaring magbigay ng mas propesyonal na mga solusyon sa materyal para sa iyo.
Kabilang sa mga bentahe ng VET Energy ang:
• Sariling pabrika at propesyonal na laboratoryo;
• Mga antas at kalidad ng kadalisayan na nangunguna sa industriya;
• Kompetitibong presyo at mabilis na oras ng paghahatid;
• Maraming pakikipagsosyo sa industriya sa buong mundo;
Malugod ka naming inaanyayahan na bisitahin ang aming pabrika at laboratoryo anumang oras!
