Advanced na Porous Ceramic Vacuum Chuck
Porous Ceramic Vacuum Chuckay isang load-bearing platform na gumagamit ng prinsipyo ng vacuum adsorption upang ayusin ang mga workpiece. Ang bahagi ng vacuum chuck na nagpapadala ng vacuum ay isang porous na ceramic plate. Ang porous ceramic plate ay binuo sa lumulubog na butas ng base, at ang paligid nito ay nakagapos at tinatakan ng base. Ang base ay gawa sa precision ceramic o metal na materyales. Sa pamamagitan ng pagsasama ng metal o ceramic base na may espesyal na porous na ceramic, ang disenyo ng panloob na precision airway ay nagbibigay-daan para sa makinis at matatag na pagdirikit ng workpiece sa vacuum suction cup kapag sumasailalim sa negatibong presyon.
Dahil sa sobrang pinong mga pores sa porous na ceramics, ang ibabaw ng workpiece ay maaaring idikit sa vacuum suction cup nang walang anumang masamang salik tulad ng mga gasgas o dents na dulot ng negatibong pressure.
Mga Katangian ng Porous Ceramic Vacuum Chuck:
① Siksik at pare-parehong istraktura: Lumalaban sa silicon powder/paggiling ng mga debris adsorption, madaling linisin.
② Mataas na lakas at paglaban sa pagsusuot: Walang deformation sa panahon ng paggiling, pinapaliit ang gilid ng chipping/fragmentation.
③ Mahabang buhay: Napakahusay na pagpapanatili ng hugis sa ibabaw, mahabang dressing cycle na may kaunting pag-alis.
④ Mataas na pagkakabukod: Tinatanggal ang static na kuryente.
⑤ Muling magamit at madaling bihisan: Walang basag/chipping sa panahon ng resurfacing, maramihang muling paggamit ay posible.
⑥ Non-dusting at stable: Ganap na sintered, walang particle na naglalabas.
⑦ Magaan: Ang buhaghag na istraktura ay makabuluhang nakakabawas ng timbang.
⑧ Paglaban sa kemikal: Nako-customize para sa mga kinakaing unti-unti na kapaligiran sa pamamagitan ng kontrol sa materyal/proseso.
Ceramic Vacuum Chuck VS Traditional Metal Suction Cup:
Ceramic vacuum chuck sa field ng semiconductor
Ang mga ceramic vacuum chuck ay nagsisilbing clamping at carrying tools sa semiconductor wafer production. Nagtatampok ang mga ito ng mataas na flatness at parallelism, isang siksik at pare-parehong istraktura, mataas na lakas, magandang air permeability, pare-parehong puwersa ng adsorption, at madaling pagbibihis. Ginagawang angkop ng mga katangiang ito ang mga ito para sa mga proseso sa paggawa ng semiconductor wafer gaya ng pagnipis, paghiwa, paggiling, paglilinis, at paghawak. Mabisang tinutugunan ng mga ito ang mga hamon tulad ng wafer imprinting, electrostatic breakdown ng chips, at particle contamination, na nakakamit ng napakataas na kalidad ng pagproseso para sa mga semiconductor wafer sa mga praktikal na aplikasyon.
Data Sheet ng Ceramic Materials
| item | 95% alumina | 99% alumina | Zirconia | Silicon carbide | SiliconNitride | aluminyoNitride |
| Kulay | puti | Banayad na dilaw | puti | itim | itim | kulay abo |
| Densidad (g/cm3) | 3.7g/cm3 | 3.9g/cm3 | 6.02g/cm3 | 3.2g/cm3 | 3.25g/cm3 | 3.2g/cm3 |
| Pagsipsip ng Tubig | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Katigasan(HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Flexural Strength (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Lakas ng Compressive (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Young's Modulus Of Elasticity | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Ratio ni Poisson | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Thermal Conductivity | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Lakas ng Dielectric | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Resistivity ng Dami(25℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
Ang VET Energy ay isang propesyonal na tagagawa na tumutuon sa R&D at produksyon ng mga high-end na advanced na materyales tulad ng graphite, silicon carbide, quartz, pati na rin ang materyal na paggamot tulad ng SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, atbp. Ang mga produkto ay malawakang ginagamit sa photovoltaic, semiconductor, bagong enerhiya, metalurhiya, atbp.
Ang aming teknikal na koponan ay nagmula sa mga nangungunang institusyong pananaliksik sa loob ng bansa, ay maaaring magbigay ng mas propesyonal na mga solusyon sa materyal para sa iyo.
Kasama sa mga bentahe ng VET Energy ang:
• Sariling pabrika at propesyonal na laboratoryo;
• Mga antas at kalidad ng kadalisayan na nangunguna sa industriya;
• Mapagkumpitensyang presyo at Mabilis na oras ng paghahatid;
• Maramihang mga pakikipagsosyo sa industriya sa buong mundo;
Inaanyayahan ka naming bisitahin ang aming pabrika at laboratoryo anumang oras!
