උසස් සිදුරු සහිත සෙරමික් වැකුම් චක්
සිදුරු සහිත සෙරමික් වැකුම් චක්යනු වැඩ කොටස් සවි කිරීම සඳහා රික්ත අවශෝෂණ මූලධර්මය භාවිතා කරන බර දරණ වේදිකාවකි. රික්තය සම්ප්රේෂණය කරන රික්ත චක් කොටස සිදුරු සහිත සෙරමික් තහඩුවකි. සිදුරු සහිත සෙරමික් තහඩුව පාදයේ ගිලෙන සිදුරෙහි එකලස් කර ඇති අතර, එහි පරිධිය පාදම සමඟ බන්ධනය කර මුද්රා තබා ඇත. පාදම නිරවද්ය සෙරමික් හෝ ලෝහ ද්රව්ය වලින් සාදා ඇත. විශේෂ සිදුරු සහිත සෙරමික් සමඟ ලෝහ හෝ සෙරමික් පදනමක් ඒකාබද්ධ කිරීමෙන්, අභ්යන්තර නිරවද්යතා වායු මාර්ගයේ සැලසුම සෘණ පීඩනයට ලක් වූ විට වැඩ කොටස රික්ත චූෂණ කෝප්පයට සුමට හා ස්ථාවර ලෙස ඇලවීමට ඉඩ සලසයි.
සිදුරු සහිත සෙරමික් වල ඇති අතිශය සියුම් සිදුරු නිසා, සෘණ පීඩනය නිසා ඇතිවන සීරීම් හෝ දත් වැනි අහිතකර සාධක නොමැතිව වැඩ කොටසෙහි මතුපිට රික්ත චූෂණ කෝප්පයට ඇලී සිටිය හැක.
සිදුරු සහිත සෙරමික් රික්ත චක් වල ලක්ෂණ:
① ඝන සහ ඒකාකාර ව්යුහය: සිලිකන් කුඩු/ඇඹරුම් සුන්බුන් අවශෝෂණයට ප්රතිරෝධී වන අතර පිරිසිදු කිරීමට පහසුය.
② ඉහළ ශක්තිය සහ ඇඳුම් ප්රතිරෝධය: ඇඹරීමේදී විරූපණයක් සිදු නොවේ, දාර කැඩීම/කැබලි වීම අවම කරයි.
③ දිගු ආයු කාලය: විශිෂ්ට මතුපිට හැඩය රඳවා තබා ගැනීම, අවම ඉවත් කිරීමක් සහිත දිගු ඇඳුම් චක්රයක්.
④ ඉහළ පරිවරණය: ස්ථිතික විදුලිය ඉවත් කරයි.
⑤ නැවත භාවිතා කළ හැකි සහ ඇඳීමට පහසුය: නැවත මතුපිට තැබීමේදී ඉරිතැලීම්/කැපීම් නොමැත, බහු නැවත භාවිතා කිරීමේ හැකියාව.
⑥ දූවිලි ඉවත් නොකිරීම සහ ස්ථායී: සම්පූර්ණයෙන්ම සින්ටර් කර ඇත, අංශු විමෝචනයක් නොමැත.
⑦ සැහැල්ලු: සිදුරු සහිත ව්යුහය බර සැලකිය යුතු ලෙස අඩු කරයි.
⑧ රසායනික ප්රතිරෝධය: ද්රව්ය/ක්රියාවලි පාලනය හරහා විඛාදන පරිසරයන් සඳහා අභිරුචිකරණය කළ හැකිය.
සෙරමික් වැකුම් චක් VS සාම්ප්රදායික ලෝහ චූෂණ කුසලානය:
අර්ධ සන්නායක ක්ෂේත්රයේ සෙරමික් රික්ත චක්
සෙරමික් රික්ත චක් අර්ධ සන්නායක වේෆර් නිෂ්පාදනයේදී කලම්ප සහ රැගෙන යාමේ මෙවලම් ලෙස ක්රියා කරයි. ඒවා ඉහළ පැතලි බවක් සහ සමාන්තරතාවයක්, ඝන සහ ඒකාකාර ව්යුහයක්, ඉහළ ශක්තියක්, හොඳ වායු පාරගම්යතාවයක්, ඒකාකාර අවශෝෂණ බලයක් සහ පහසු ඇඳුම් ඇඳීමකින් සමන්විත වේ. මෙම ලක්ෂණ ඒවා තුනී කිරීම, පෙති කැපීම, ඇඹරීම, පිරිසිදු කිරීම සහ හැසිරවීම වැනි අර්ධ සන්නායක වේෆර් නිෂ්පාදනයේ ක්රියාවලීන් සඳහා සුදුසු කරයි. ඒවා වේෆර් මුද්රණය, චිප්ස් වල විද්යුත් ස්ථිතික බිඳවැටීම සහ අංශු දූෂණය වැනි අභියෝග ඵලදායී ලෙස ආමන්ත්රණය කරයි, ප්රායෝගික යෙදුම්වල අර්ධ සන්නායක වේෆර් සඳහා අතිශයින් ඉහළ සැකසුම් ගුණාත්මක භාවයක් ලබා ගනී.
සෙරමික් ද්රව්ය පිළිබඳ දත්ත පත්රිකාව
| අයිතමය | 95% ඇලුමිනා | 99% ඇලුමිනා | සර්කෝනියා | සිලිකන් කාබයිඩ් | සිලිකන්Nඉට්රයිඩ් | ඇලුමිනියම්Nඉට්රයිඩ් |
| වර්ණ | සුදු | ලා කහ | සුදු | කළු | කළු | අළු |
| ඝනත්වය (g/cm3) | 3.7ග්රෑම්/සෙ.මී.3 | 3.9ග්රෑම්/සෙ.මී.3 | 6.02ග්රෑම්/සෙ.මී.3 | 3.2ග්රෑම්/සෙ.මී.3 | 3.25ග්රෑම්/සෙ.මී.3 | 3.2ග්රෑම්/සෙ.මී.3 |
| ජල අවශෝෂණය | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| දෘඪතාව (HV) | 23.7 ශ්රේණිය | 23.7 ශ්රේණිය | 16.5 | 33 | 20 | - |
| නම්යශීලී ශක්තිය (MPa) | 300MPa | 400MPa (අංශක 400) | 1100MPa | 450MPa (අමතර) | 800MPa (අමතර) | 310MPa |
| සම්පීඩ්යතා ශක්තිය (MPa) | 2500MPa (අමතර) | 2800MPa | 3600MPa (අමතර) | 2000MPa | 2600MPa | - |
| යන්ග්ගේ ප්රත්යාස්ථතා මාපාංකය | 300GPa | 300GPa | 320ජීපීඒ | 450ජීපීඒ | 290ජීපීඒ | 310~350GPa |
| පොයිසන් අනුපාතය | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 (අනුපාත) | 0.24 | 0.24 |
| තාප සන්නායකතාවය | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| ද්වි විද ත් ශක්තිය | 14KV/මි.මී. | 14KV/මි.මී. | 14KV/මි.මී. | 14KV/මි.මී. | 14KV/මි.මී. | 14KV/මි.මී. |
| පරිමාව ප්රතිරෝධය(25℃) | >1014Ω·සෙ.මී. | >1014Ω·සෙ.මී. | >1014Ω·සෙ.මී. | >105Ω·සෙ.මී. | >1014Ω·සෙ.මී. | >1014Ω·සෙ.මී. |
VET Energy යනු ග්රැෆයිට්, සිලිකන් කාබයිඩ්, ක්වාර්ට්ස් වැනි උසස් ද්රව්ය පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන කටයුතු මෙන්ම SiC ආලේපනය, TaC ආලේපනය, වීදුරු කාබන් ආලේපනය, පයිරොලිටික් කාබන් ආලේපනය වැනි ද්රව්ය ප්රතිකාර කෙරෙහි අවධානය යොමු කරන වෘත්තීය නිෂ්පාදකයෙකි. නිෂ්පාදන ප්රකාශ වෝල්ටීයතා, අර්ධ සන්නායක, නව ශක්තිය, ලෝහ විද්යාව ආදියෙහි බහුලව භාවිතා වේ.
අපගේ තාක්ෂණික කණ්ඩායම ඉහළම දේශීය පර්යේෂණ ආයතනවලින් පැමිණෙන අතර, ඔබට වඩාත් වෘත්තීය ද්රව්යමය විසඳුම් ලබා දිය හැකිය.
VET බලශක්ති වාසි අතර:
• තමන්ගේම කර්මාන්ත ශාලාවක් සහ වෘත්තීය රසායනාගාරයක්;
• කර්මාන්තයේ ප්රමුඛ පිරිසිදු මට්ටම් සහ ගුණාත්මකභාවය;
• තරඟකාරී මිල සහ වේගවත් බෙදාහැරීමේ කාලය;
• ලොව පුරා බහු කර්මාන්ත හවුල්කාරිත්වයන්;
ඕනෑම වේලාවක අපගේ කර්මාන්ත ශාලාව සහ රසායනාගාරය නැරඹීමට අපි ඔබව සාදරයෙන් පිළිගනිමු!
