Chuck e Tsoetseng Pele ea Ceramic Vacuum Chuck
Sekoti sa Ceramic Vacuum Chuckke sethala se jarang mojaro se sebelisang molao-motheo oa ho khomarela vacuum ho lokisa likarolo tsa mosebetsi. Karolo ea vacuum chuck e fetisang vacuum ke poleiti ea ceramic e nang le masoba. Poleiti ea ceramic e nang le masoba e bokelloa ka lesobeng le tebang la setsi, 'me moeli oa eona o tlameletsoe le ho koaloa ka setsi. Setsi se entsoe ka thepa e nepahetseng ea ceramic kapa ea tšepe. Ka ho kopanya setsi sa tšepe kapa sa ceramic le ceramic e khethehileng e nang le masoba, moralo oa moea o nepahetseng oa kahare o lumella ho khomarela ka mokhoa o boreleli le o tsitsitseng oa sesebelisoa sa mosebetsi ho kopi ea vacuum suction ha se le tlas'a khatello e mpe.
Ka lebaka la masoba a manyane haholo ka har'a letsopa le nang le masoba, bokaholimo ba sesebelisoa sa mosebetsi bo ka khomareloa ka koping ea vacuum suction ntle le mabaka a mabe a kang ho ngoatheha kapa ho kobeha ho bakoang ke khatello e mpe.
Litšobotsi tsa Porous Ceramic Vacuum Chuck:
① Sebopeho se teteaneng le se ts'oanang: E hanela ho monngoa ha phofo ea silicon/lithōle tse silang, e bonolo ho e hloekisa.
② Matla a phahameng le ho hanyetsa ho tsofala: Ha ho na phetoho nakong ea ho sila, e fokotsa ho petsoha/ho arohana ha mathoko.
③ Nako e telele ea bophelo: Ho boloka sebopeho sa bokaholimo hantle, potoloho e telele ea ho apara ka ho tlosoa ho fokolang.
④ Ho thibela mocheso ho phahameng: Ho felisa motlakase o sa fetoheng.
⑤ E ka sebelisoa hape 'me e bonolo ho e apara: Ha ho petsohe/ho qhetsoha nakong ea ho lokisa bokaholimo, ho ka sebelisoa hape makhetlo a mangata.
⑥ Ha e qhibilihe lerōle 'me e tsitsitse: E silafalitsoe ka botlalo, ha e na tlhahiso ea likaroloana.
⑦ E bobebe: Sebopeho se nang le masoba se fokotsa boima haholo.
⑧ Khanyetso ea lik'hemik'hale: E ka fetoloa bakeng sa tikoloho e senyang ka taolo ea thepa/ts'ebetso.
Sekotlolo sa ho Sukisa Tšepe sa Ceramic Vacuum Chuck VS Sejana sa ho Sukisa Tšepe sa Setso:
Setlolo sa vacuum sa ceramic tšimong ea semiconductor
Li-vacuum chucks tsa ceramic li sebetsa e le lisebelisoa tsa ho tiisa le ho jara tlhahiso ea li-wafer tsa semiconductor. Li na le ho batalatsa ho hoholo le ho bapana, sebopeho se teteaneng le se ts'oanang, matla a phahameng, moea o kenang hantle, matla a ho monya a tšoanang, le ho hlophisoa habonolo. Litšobotsi tsena li etsa hore li lokele lits'ebetso tsa tlhahiso ea li-wafer tsa semiconductor tse kang ho tšesaane, ho seha, ho sila, ho hloekisa le ho sebetsana le tsona. Li sebetsana ka katleho le liphephetso tse kang ho hatisa li-wafer, ho senyeha ha li-chips ka motlakase le tšilafalo ea likaroloana, ho fihlela boleng bo holimo haholo ba ts'ebetso bakeng sa li-wafer tsa semiconductor lits'ebetsong tse sebetsang.
Leqephe la Lintlha la Lisebelisoa tsa Ceramic
| Ntho | 95% Alumina | 99% Alumina | Zirconia | Carbide ea silicon | SiliconeNitride | AluminiumNitride |
| 'Mala | tšoeu | Bosehla bo bobebe | tšoeu | botsho | botsho | bohlooho |
| Botenya (g/cm3) | 3.7g/cm3 | 3.9g/cm3 | 6.02g/cm3 | 3.2g/cm3 | 3.25g/cm3 | 3.2g/cm3 |
| Ho Monya Metsi | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Bothata (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Matla a ho Tenyetseha (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Matla a Khatello (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Modulus ea Young ea Elasticity | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Karolelano ea Poisson | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Ho khanna ha mocheso | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Matla a Dielectric | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Bophahamo ba Moqolo (25℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy ke moetsi oa litsebi ea shebaneng le R&D le tlhahiso ea thepa e tsoetseng pele ea maemo a holimo joalo ka graphite, silicon carbide, quartz, hammoho le kalafo ea thepa joalo ka SiC coating, TaC coating, khalase carbon coating, pyrolytic carbon coating, jj. Lihlahisoa tsena li sebelisoa haholo ho photovoltaic, semiconductor, matla a macha, metallurgy, jj.
Sehlopha sa rona sa botekgeniki se tsoa litsing tse holimo tsa lipatlisiso tsa lehae, se ka u fa litharollo tse ling tsa lisebelisoa tsa profeshenale.
Melemo ea VET Energy e kenyelletsa:
• Laboratori ea fektheri le ea litsebi ea hau;
• Maemo le boleng bo hloekileng bo etellang pele indastering;
• Theko e qothisanang lehlokoa le nako e potlakileng ea ho tlisa thepa;
• Likamano tse ngata tsa indasteri lefatšeng ka bophara;
Rea u amohela ho etela fektheri le laboratori ea rona neng kapa neng!
