چاک خلاء سرامیکی متخلخل پیشرفته
چاک خلاء سرامیکی متخلخلیک سکوی تحمل بار است که از اصل جذب خلاء برای تثبیت قطعات کار استفاده میکند. بخشی از سه نظام خلاء که خلاء را منتقل میکند، یک صفحه سرامیکی متخلخل است. صفحه سرامیکی متخلخل در سوراخ فرورفتگی پایه مونتاژ میشود و محیط آن با پایه پیوند خورده و آببندی میشود. پایه از مواد سرامیکی یا فلزی دقیق ساخته شده است. با ترکیب یک پایه فلزی یا سرامیکی با یک سرامیک متخلخل خاص، طراحی مجرای هوای دقیق داخلی، چسبندگی صاف و پایدار قطعه کار را به فنجان مکش خلاء در هنگام قرار گرفتن در معرض فشار منفی فراهم میکند.
به دلیل وجود منافذ بسیار ریز در سرامیکهای متخلخل، سطح قطعه کار میتواند بدون هیچ گونه عامل نامطلوبی مانند خراش یا فرورفتگی ناشی از فشار منفی، به فنجان مکش خلاء بچسبد.
ویژگیهای چاک خلاء سرامیکی متخلخل:
① ساختار متراکم و یکنواخت: در برابر جذب پودر سیلیکون/خردههای ناشی از سایش مقاوم است و به راحتی تمیز میشود.
② استحکام بالا و مقاومت در برابر سایش: بدون تغییر شکل در حین سنگ زنی، لب پریدگی/تکه تکه شدن لبه را به حداقل می رساند.
③ طول عمر بالا: حفظ عالی شکل سطح، چرخه طولانی پرداخت با حداقل زمان حذف.
④ عایق بندی بالا: الکتریسیته ساکن را از بین می برد.
⑤ قابل استفاده مجدد و آسان برای پوشاندن: بدون ترک خوردگی/پریدگی در حین بازسازی، امکان استفاده مجدد چندگانه.
⑥ بدون گرد و غبار و پایدار: کاملاً متخلخل، بدون انتشار ذرات.
⑦ سبک وزن: ساختار متخلخل وزن را به میزان قابل توجهی کاهش میدهد.
⑧ مقاومت شیمیایی: قابل تنظیم برای محیطهای خورنده از طریق کنترل مواد/فرآیند.
سه نظام سرامیکی در مقابل ساکشن کاپ فلزی سنتی:
سه نظام خلاء سرامیکی در حوزه نیمه هادی
سه نظامهای خلاء سرامیکی به عنوان ابزارهای گیره و حمل در تولید ویفر نیمههادی عمل میکنند. آنها دارای صافی و توازی بالا، ساختار متراکم و یکنواخت، استحکام بالا، نفوذپذیری خوب هوا، نیروی جذب یکنواخت و پوشش آسان هستند. این ویژگیها آنها را برای فرآیندهای تولید ویفر نیمههادی مانند نازک کردن، برش، سنگزنی، تمیز کردن و جابجایی مناسب میکند. آنها به طور مؤثر چالشهایی مانند چاپ ویفر، شکست الکترواستاتیکی تراشهها و آلودگی ذرات را برطرف میکنند و به کیفیت پردازش بسیار بالایی برای ویفرهای نیمههادی در کاربردهای عملی دست مییابند.
برگه اطلاعات مواد سرامیکی
| مورد | ۹۵٪ آلومینا | ۹۹٪ آلومینا | زیرکونیا | کاربید سیلیکون | سیلیکونNایترید | آلومینیومNایترید |
| رنگ | سفید | زرد روشن | سفید | سیاه | سیاه | خاکستری |
| چگالی (گرم بر سانتیمتر مکعب) | ۳.۷ گرم بر سانتیمتر مکعب | ۳.۹ گرم بر سانتیمتر مکعب | 6.02 گرم بر سانتیمتر مکعب | ۳.۲ گرم بر سانتیمتر مکعب | ۳.۲۵ گرم بر سانتیمتر مکعب | ۳.۲ گرم بر سانتیمتر مکعب |
| جذب آب | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| سختی (HV) | ۲۳.۷ | ۲۳.۷ | ۱۶.۵ | 33 | 20 | - |
| استحکام خمشی (مگاپاسکال) | 300 مگاپاسکال | ۴۰۰ مگاپاسکال | 1100 مگاپاسکال | 450 مگاپاسکال | 800 مگاپاسکال | ۳۱۰ مگاپاسکال |
| مقاومت فشاری (مگاپاسکال) | ۲۵۰۰ مگاپاسکال | ۲۸۰۰ مگاپاسکال | ۳۶۰۰ مگاپاسکال | ۲۰۰۰ مگاپاسکال | ۲۶۰۰ مگاپاسکال | - |
| مدول الاستیسیته یانگ | ۳۰۰ گیگا پاسکال | ۳۰۰ گیگا پاسکال | ۳۲۰ گیگا پاسکال | ۴۵۰ گیگا پاسکال | ۲۹۰ گیگا پاسکال | ۳۱۰ تا ۳۵۰ گیگا پاسکال |
| نسبت پواسون | ۰.۲۳ | ۰.۲۳ | ۰.۲۵ | ۰.۱۴ | ۰.۲۴ | ۰.۲۴ |
| رسانایی حرارتی | 20 وات بر متر مربع درجه سانتیگراد | ۳۲ وات بر متر مربع درجه سانتیگراد | 3 وات بر متر مربع درجه سانتیگراد | 50 وات بر متر مربع درجه سانتیگراد | 25 وات بر متر مربع درجه سانتیگراد | ۱۵۰ وات بر متر مربع درجه سانتیگراد |
| مقاومت دی الکتریک | ۱۴ کیلوولت بر میلیمتر | ۱۴ کیلوولت بر میلیمتر | ۱۴ کیلوولت بر میلیمتر | ۱۴ کیلوولت بر میلیمتر | ۱۴ کیلوولت بر میلیمتر | ۱۴ کیلوولت بر میلیمتر |
| مقاومت ویژه حجمی (25℃) | >1014Ω·سانتی متر | >1014Ω·سانتی متر | >1014Ω·سانتی متر | >105Ω·سانتیمتر | >1014Ω·سانتی متر | >1014Ω·سانتی متر |
شرکت VET Energy یک تولیدکننده حرفهای است که بر تحقیق و توسعه و تولید مواد پیشرفته با کیفیت بالا مانند گرافیت، کاربید سیلیکون، کوارتز و همچنین عملیات حرارتی مواد مانند پوشش SiC، پوشش TaC، پوشش کربن شیشهای، پوشش کربن پیرولیتیک و غیره تمرکز دارد. این محصولات به طور گسترده در صنایع فتوولتائیک، نیمههادیها، انرژیهای نو، متالورژی و غیره مورد استفاده قرار میگیرند.
تیم فنی ما از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی تشکیل شده است و میتواند راهحلهای حرفهایتری برای شما ارائه دهد.
مزایای انرژی VET شامل موارد زیر است:
• کارخانه و آزمایشگاه تخصصی اختصاصی؛
• سطوح خلوص و کیفیت پیشرو در صنعت؛
• قیمت رقابتی و زمان تحویل سریع؛
• مشارکتهای صنعتی متعدد در سراسر جهان؛
ما از شما استقبال میکنیم تا در هر زمانی از کارخانه و آزمایشگاه ما بازدید کنید!
