ಸುಧಾರಿತ ಪೋರಸ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚಕ್

ಸುಧಾರಿತ ಪೋರಸ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚಕ್
ಸರಂಧ್ರ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚಕ್ಇದು ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ಗಳನ್ನು ಸರಿಪಡಿಸಲು ನಿರ್ವಾತ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯ ತತ್ವವನ್ನು ಬಳಸುವ ಲೋಡ್-ಬೇರಿಂಗ್ ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್ ಆಗಿದೆ. ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ರವಾನಿಸುವ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚಕ್‌ನ ಭಾಗವು ಸರಂಧ್ರ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಪ್ಲೇಟ್ ಆಗಿದೆ. ಸರಂಧ್ರ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಪ್ಲೇಟ್ ಅನ್ನು ಬೇಸ್‌ನ ಮುಳುಗುವ ರಂಧ್ರದಲ್ಲಿ ಜೋಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅದರ ಪರಿಧಿಯನ್ನು ಬೇಸ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಬಂಧಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಮುಚ್ಚಲಾಗುತ್ತದೆ. ಬೇಸ್ ನಿಖರವಾದ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಅಥವಾ ಲೋಹದ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ. ವಿಶೇಷ ಸರಂಧ್ರ ಸೆರಾಮಿಕ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಲೋಹ ಅಥವಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಬೇಸ್ ಅನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಆಂತರಿಕ ನಿಖರವಾದ ವಾಯುಮಾರ್ಗದ ವಿನ್ಯಾಸವು ನಕಾರಾತ್ಮಕ ಒತ್ತಡಕ್ಕೆ ಒಳಗಾದಾಗ ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಹೀರುವ ಕಪ್‌ಗೆ ಸುಗಮ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾದ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ.

ಸರಂಧ್ರ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್‌ನಲ್ಲಿ ಅತ್ಯಂತ ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾದ ರಂಧ್ರಗಳಿರುವುದರಿಂದ, ನಕಾರಾತ್ಮಕ ಒತ್ತಡದಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಗೀರುಗಳು ಅಥವಾ ಡೆಂಟ್‌ಗಳಂತಹ ಯಾವುದೇ ಪ್ರತಿಕೂಲ ಅಂಶಗಳಿಲ್ಲದೆ ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಸಕ್ಷನ್ ಕಪ್‌ಗೆ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು.

ಪೋರಸ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚಕ್‌ನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು:
① ದಟ್ಟವಾದ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪದ ರಚನೆ: ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪೌಡರ್/ರುಬ್ಬುವ ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳ ಹೊರಹೀರುವಿಕೆಯನ್ನು ಪ್ರತಿರೋಧಿಸುತ್ತದೆ, ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಸುಲಭ.
② ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಸವೆತ ನಿರೋಧಕತೆ: ರುಬ್ಬುವ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಯಾವುದೇ ವಿರೂಪತೆಯಿಲ್ಲ, ಅಂಚಿನ ಚಿಪ್ಪಿಂಗ್/ವಿಘಟನೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
③ ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಜೀವಿತಾವಧಿ: ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಮೇಲ್ಮೈ ಆಕಾರ ಧಾರಣ, ಕನಿಷ್ಠ ತೆಗೆಯುವಿಕೆಯೊಂದಿಗೆ ದೀರ್ಘ ಡ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್ ಚಕ್ರ.
④ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರೋಧನ: ಸ್ಥಿರ ವಿದ್ಯುತ್ ಅನ್ನು ನಿವಾರಿಸುತ್ತದೆ.
⑤ ಮರುಬಳಕೆ ಮಾಡಬಹುದಾದ ಮತ್ತು ಉಡುಗೆ ಮಾಡಲು ಸುಲಭ: ಮರುಮೇಲ್ಮೈ ಹಾಕುವಾಗ ಬಿರುಕುಗಳು/ಚಿಪ್ಪಿಂಗ್ ಇರುವುದಿಲ್ಲ, ಬಹು ಮರುಬಳಕೆ ಸಾಧ್ಯ.
⑥ ಧೂಳು ತೆಗೆಯದ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರ: ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ, ಕಣ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆ ಇಲ್ಲ.
⑦ ಹಗುರ: ಸರಂಧ್ರ ರಚನೆಯು ತೂಕವನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
⑧ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿರೋಧ: ವಸ್ತು/ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಮೂಲಕ ನಾಶಕಾರಿ ಪರಿಸರಗಳಿಗೆ ಗ್ರಾಹಕೀಯಗೊಳಿಸಬಹುದಾಗಿದೆ.

ಸೆರಾಮಿಕ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚಕ್ VS ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಲೋಹದ ಸಕ್ಷನ್ ಕಪ್:

ಅರೆವಾಹಕ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ಸೆರಾಮಿಕ್ ನಿರ್ವಾತ ಚಕ್
ಸೆರಾಮಿಕ್ ನಿರ್ವಾತ ಚಕ್‌ಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಕ್ಲ್ಯಾಂಪ್ ಮಾಡುವ ಮತ್ತು ಸಾಗಿಸುವ ಸಾಧನಗಳಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ. ಅವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು ಸಮಾನಾಂತರತೆ, ದಟ್ಟವಾದ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪದ ರಚನೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿ, ಉತ್ತಮ ಗಾಳಿಯ ಪ್ರವೇಶಸಾಧ್ಯತೆ, ಏಕರೂಪದ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ಬಲ ಮತ್ತು ಸುಲಭವಾದ ಡ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ. ಈ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಅವುಗಳನ್ನು ತೆಳುಗೊಳಿಸುವಿಕೆ, ಸ್ಲೈಸಿಂಗ್, ರುಬ್ಬುವಿಕೆ, ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆಯಂತಹ ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿಸುತ್ತದೆ. ಅವು ವೇಫರ್ ಇಂಪ್ರಿಂಟಿಂಗ್, ಚಿಪ್‌ಗಳ ಸ್ಥಾಯೀವಿದ್ಯುತ್ತಿನ ವಿಭಜನೆ ಮತ್ತು ಕಣ ಮಾಲಿನ್ಯದಂತಹ ಸವಾಲುಗಳನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ನಿಭಾಯಿಸುತ್ತವೆ, ಪ್ರಾಯೋಗಿಕ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗೆ ಅತ್ಯಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತವೆ.