หัวจับสูญญากาศเซรามิกพรุนขั้นสูง

หัวจับสูญญากาศเซรามิกพรุนขั้นสูง
หัวจับสูญญากาศเซรามิกที่มีรูพรุนเป็นแพลตฟอร์มรับน้ำหนักที่ใช้หลักการดูดซับสูญญากาศเพื่อตรึงชิ้นงาน ส่วนของหัวจับสูญญากาศที่ส่งสูญญากาศเป็นแผ่นเซรามิกที่มีรูพรุน แผ่นเซรามิกที่มีรูพรุนประกอบอยู่ในรูจมของฐาน และขอบของแผ่นเซรามิกจะถูกยึดติดและปิดผนึกด้วยฐาน ฐานทำจากวัสดุเซรามิกหรือโลหะที่มีความแม่นยำ โดยการรวมฐานโลหะหรือเซรามิกกับเซรามิกที่มีรูพรุนพิเศษ การออกแบบช่องลมที่มีความแม่นยำภายในช่วยให้ชิ้นงานยึดเกาะกับถ้วยดูดสูญญากาศได้อย่างราบรื่นและมั่นคงเมื่ออยู่ภายใต้แรงดันลบ

เนื่องจากรูพรุนที่ละเอียดมากในเซรามิกที่มีรูพรุน จึงสามารถยึดติดกับพื้นผิวชิ้นงานด้วยถ้วยดูดสูญญากาศได้โดยไม่มีปัจจัยที่ไม่พึงประสงค์ เช่น รอยขีดข่วนหรือรอยบุบอันเกิดจากแรงดันลบ

ลักษณะเฉพาะของหัวจับสูญญากาศเซรามิกที่มีรูพรุน:
① โครงสร้างหนาแน่นและสม่ำเสมอ: ทนต่อการดูดซับผงซิลิโคน/เศษบด ทำความสะอาดได้ง่าย
② มีความแข็งแรงและทนทานต่อการสึกหรอสูง: ไม่มีการเสียรูปในระหว่างการเจียร ช่วยลดการแตก/แตกเป็นเสี่ยงๆ ของขอบ
③ อายุการใช้งานยาวนาน: คงรูปพื้นผิวได้ดีเยี่ยม รอบการแต่งที่ยาวนานโดยมีการถอดออกน้อยที่สุด
④ ฉนวนกันความร้อนสูง: กำจัดไฟฟ้าสถิต
⑤ นำกลับมาใช้ใหม่ได้และสวมใส่ง่าย: ไม่แตกร้าว/กระเทาะระหว่างการปรับพื้นผิวใหม่ สามารถนำกลับมาใช้ใหม่ได้หลายครั้ง
⑥ ไม่เป็นฝุ่นและมีเสถียรภาพ: ผ่านการเผาอย่างสมบูรณ์ ไม่มีการปล่อยอนุภาค
⑦ น้ำหนักเบา: โครงสร้างที่มีรูพรุนช่วยลดน้ำหนักได้อย่างมาก
⑧ ความทนทานต่อสารเคมี: ปรับแต่งได้สำหรับสภาพแวดล้อมที่กัดกร่อนผ่านการควบคุมวัสดุหรือกระบวนการ

หัวดูดสูญญากาศแบบเซรามิกเทียบกับถ้วยดูดแบบโลหะแบบดั้งเดิม:

หัวจับสูญญากาศเซรามิกในสาขาเซมิคอนดักเตอร์
หัวจับสูญญากาศเซรามิกทำหน้าที่เป็นเครื่องมือจับและถือในการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ หัวจับสูญญากาศเซรามิกมีคุณสมบัติความเรียบและความขนานสูง โครงสร้างหนาแน่นและสม่ำเสมอ ความแข็งแรงสูง การซึมผ่านของอากาศที่ดี แรงดูดซับที่สม่ำเสมอ และการแต่งตัวที่ง่าย คุณลักษณะเหล่านี้ทำให้หัวจับสูญญากาศเซรามิกเหมาะสำหรับกระบวนการต่างๆ ในการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ เช่น การทำให้บาง การตัด การบด การทำความสะอาด และการจัดการ หัวจับสูญญากาศเซรามิกเซรามิกสามารถแก้ไขปัญหาต่างๆ เช่น การพิมพ์เวเฟอร์ การสลายตัวของชิปด้วยไฟฟ้าสถิต และการปนเปื้อนของอนุภาคได้อย่างมีประสิทธิภาพ ทำให้ได้คุณภาพการประมวลผลที่สูงมากสำหรับเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ในการใช้งานจริง