หัวจับสุญญากาศเซรามิกพรุนขั้นสูง
หัวจับสุญญากาศเซรามิกพรุนเป็นแท่นรับน้ำหนักที่ใช้หลักการดูดสุญญากาศในการยึดชิ้นงาน ส่วนที่ส่งผ่านสุญญากาศของหัวจับสุญญากาศคือแผ่นเซรามิกพรุน แผ่นเซรามิกพรุนนี้ประกอบเข้ากับรูของฐาน และขอบของแผ่นจะถูกยึดติดและปิดผนึกกับฐาน ฐานทำจากวัสดุเซรามิกหรือโลหะที่มีความแม่นยำสูง การผสมผสานฐานโลหะหรือเซรามิกเข้ากับเซรามิกพรุนชนิดพิเศษ ทำให้การออกแบบช่องอากาศภายในที่มีความแม่นยำสูง ช่วยให้ชิ้นงานยึดติดกับหัวจับสุญญากาศได้อย่างราบรื่นและมั่นคงเมื่ออยู่ภายใต้แรงดันลบ
เนื่องจากเซรามิกพรุนมีรูพรุนขนาดเล็กมาก ทำให้พื้นผิวของชิ้นงานสามารถยึดติดกับถ้วยดูดสุญญากาศได้โดยไม่มีผลเสียใดๆ เช่น รอยขีดข่วนหรือรอยบุบที่เกิดจากแรงดันลบ
คุณลักษณะของหัวจับสุญญากาศเซรามิกพรุน:
① โครงสร้างหนาแน่นและสม่ำเสมอ: ป้องกันการดูดซับผงซิลิคอน/เศษผงจากการเจียร ทำความสะอาดง่าย
② ความแข็งแรงสูงและทนทานต่อการสึกหรอ: ไม่เสียรูปทรงระหว่างการเจียร ลดการบิ่น/แตกของขอบให้น้อยที่สุด
③ อายุการใช้งานยาวนาน: รักษาทรงพื้นผิวได้ดีเยี่ยม รอบการใช้ผ้าปิดแผลยาวนาน และมีการถอดออกน้อยที่สุด
④ ฉนวนกันความร้อนสูง: ช่วยขจัดไฟฟ้าสถิต
⑤ ใช้ซ้ำได้และดูแลรักษาง่าย: ไม่แตกหรือบิ่นระหว่างการปรับพื้นผิว สามารถนำกลับมาใช้ซ้ำได้หลายครั้ง
⑥ ไม่ฟุ้งกระจายและมีความเสถียร: ผ่านกระบวนการเผาผนึกอย่างสมบูรณ์ จึงไม่เกิดการปล่อยอนุภาค
⑦ น้ำหนักเบา: โครงสร้างที่มีรูพรุนช่วยลดน้ำหนักได้อย่างมาก
⑧ ความทนทานต่อสารเคมี: สามารถปรับแต่งให้เหมาะสมกับสภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้ โดยการควบคุมวัสดุ/กระบวนการผลิต
หัวจับสุญญากาศเซรามิก VS หัวจับสุญญากาศโลหะแบบดั้งเดิม:
หัวจับสุญญากาศเซรามิกในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
หัวจับสุญญากาศเซรามิกใช้เป็นเครื่องมือจับยึดและเคลื่อนย้ายในกระบวนการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ มีคุณสมบัติเด่นคือ ความเรียบและความขนานสูง โครงสร้างหนาแน่นและสม่ำเสมอ ความแข็งแรงสูง การซึมผ่านของอากาศที่ดี แรงดูดสม่ำเสมอ และการปรับแต่งง่าย คุณลักษณะเหล่านี้ทำให้เหมาะสำหรับกระบวนการต่างๆ ในการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ เช่น การทำให้บางลง การหั่น การเจียร การทำความสะอาด และการจัดการ ช่วยแก้ปัญหาต่างๆ ได้อย่างมีประสิทธิภาพ เช่น การพิมพ์เวเฟอร์ การแตกตัวของชิปจากไฟฟ้าสถิต และการปนเปื้อนของอนุภาค ทำให้ได้คุณภาพการประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ที่สูงมากในการใช้งานจริง
เอกสารข้อมูลจำเพาะของวัสดุเซรามิก
| รายการ | อลูมินา 95% | อลูมินา 99% | เซอร์โคเนีย | ซิลิคอนคาร์ไบด์ | ซิลิคอนNขี่ | อะลูมิเนียมNขี่ |
| สี | สีขาว | สีเหลืองอ่อน | สีขาว | สีดำ | สีดำ | สีเทา |
| ความหนาแน่น (กรัม/ซม³) | 3.7 กรัม/ซม³ | 3.9 กรัม/ซม³ | 6.02 กรัม/ซม³ | 3.2 กรัม/ซม³ | 3.25 กรัม/ซม³ | 3.2 กรัม/ซม³ |
| การดูดซับน้ำ | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| ความแข็ง (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| ความแข็งแรงดัดงอ (MPa) | 300 เมกะปาสคาล | 400 เมกะปาสคาล | 1100 เมกะปาสคาล | 450 เมกะปาสคาล | 800 เมกะปาสคาล | 310 เมกะปาสคาล |
| ความแข็งแรงรับแรงอัด (MPa) | 2500 เมกะปาสคาล | 2800 เมกะปาสคาล | 3600 เมกะปาสคาล | 2000 เมกะปาสคาล | 2600 เมกะปาสคาล | - |
| โมดูลัสความยืดหยุ่นของยัง | 300 GPa | 300 GPa | 320 GPa | 450 GPa | 290 GPa | 310~350 GPa |
| อัตราส่วนปัวซง | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| การนำความร้อน | 20 วัตต์/เมตร°C | 32 วัตต์/เมตร°C | 3 วัตต์/เมตร°C | 50 วัตต์/เมตร°C | 25 วัตต์/เมตร°C | 150 วัตต์/เมตร°C |
| ความแข็งแรงของไดอิเล็กทริก | 14KV/มม. | 14KV/มม. | 14KV/มม. | 14KV/มม. | 14KV/มม. | 14KV/มม. |
| ความต้านทานปริมาตร (25℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy เป็นผู้ผลิตมืออาชีพที่มุ่งเน้นการวิจัยและพัฒนาและการผลิตวัสดุขั้นสูงระดับไฮเอนด์ เช่น กราไฟต์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ ควอตซ์ รวมถึงการปรับปรุงคุณภาพวัสดุ เช่น การเคลือบ SiC การเคลือบ TaC การเคลือบคาร์บอนแก้ว การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก เป็นต้น ผลิตภัณฑ์เหล่านี้ถูกนำไปใช้อย่างกว้างขวางในอุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์ เซมิคอนดักเตอร์ พลังงานใหม่ โลหะวิทยา และอื่นๆ
ทีมงานด้านเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถนำเสนอโซลูชันด้านวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากยิ่งขึ้นให้แก่คุณได้
ข้อดีของ VET Energy ได้แก่:
• มีโรงงานและห้องปฏิบัติการระดับมืออาชีพเป็นของตนเอง
• ระดับความบริสุทธิ์และคุณภาพที่เป็นเลิศในระดับชั้นนำของอุตสาหกรรม
• ราคาที่แข่งขันได้และเวลาจัดส่งที่รวดเร็ว
• มีความร่วมมือกับภาคอุตสาหกรรมหลากหลายแห่งทั่วโลก
เรายินดีต้อนรับท่านเข้าเยี่ยมชมโรงงานและห้องปฏิบัติการของเราได้ทุกเมื่อ!
