Chuck Vacuum Seramika Porous Maualuga
Pusa Fa'amama Seramika Porouso se fa'avae e amoina avega e fa'aaogaina ai le mataupu faavae o le mitiia o le vacuum e fa'amau ai vaega faigaluega. O le vaega o le vacuum chuck e fa'asalalauina ai le vacuum o se ipu seramika porous. O le ipu seramika porous e fa'apotopoto i totonu o le pu goto o le fa'avae, ma o lona itu e pipii ma fa'amaufa'ailogaina i le fa'avae. O le fa'avae e faia i mea seramika po'o u'amea sa'o. I le tu'ufa'atasia o se fa'avae u'amea po'o seramika ma se seramika porous fa'apitoa, o le mamanu o le ala ea sa'o i totonu e mafai ai ona pipii lelei ma mautu le vaega faigaluega i le ipu mitiia o le vacuum pe a feagai ma le mamafa leaga.
Ona o le matuā manifinifi o pu o keramika e iai pu, e mafai ai ona pipii le laualuga o le mea faigaluega i le ipu mitiia e aunoa ma ni mea leaga e pei o ni maosi po o ni maosi e mafua mai i le mamafa leaga.

Uiga o le Porous Ceramic Vacuum Chuck:
① Fausaga mafiafia ma tutusa: E tete'e atu i le mitiia o le pauta silicon/otaota olo, faigofie ona fa'amamā.
② Malosi tele ma tete'e atu i le ofuina: E leai se fa'aleagaina i le taimi e olo ai, e fa'aitiitia ai le malepelepe/vaevaeina o pito.
③ Umi le ola: E lelei tele le taofiga o foliga o le fogāeleele, umi le taimi e fa'aofu ai ma e itiiti lava le aveeseina.
④ Maualuga le puipuiga mai le vevela: E aveese ai le eletise tumau.
⑤ Toe fa'aaoga ma faigofie ona teuteuina: E leai se māvaevae/ta'e i le taimi e toe fa'aleleia ai, e mafai ona toe fa'aaoga i le tele o taimi.
⑥ E lē pefu ma mautu: Ua sintered atoatoa, e leai se fa'asa'olotoga o vaega laiti.
⑦ Mama: O le fausaga e iai pu laiti e fa'aitiitia ai le mamafa.
⑧ Tete'e atu i vaila'au fa'akemikolo: E mafai ona fetu'una'i mo siosiomaga 'ele'elea e ala i le puleaina o meafaitino/faiga.
O le Seramika Vacuum Chuck VS o le Ipu Suction U'amea Masani:
O le masini e fa'amama ai le ea i totonu o le fanua semiconductor
E fa'aaogaina masini fa'amama e pei o le seramika e fai ma meafaigaluega e fa'apipi'i ma feavea'i ai mea i le gaosiga o le semiconductor wafer. E maualuga lo latou lamolemole ma le tutusa, e mafiafia ma tutusa le fausaga, e maualuga le malosi, e lelei le sosolo o le ea, e tutusa le malosi e mitiia ai mea, ma e faigofie ona fa'apipi'i. O nei uiga e talafeagai ai mo faiga i le gaosiga o le semiconductor wafer e pei o le fa'amama, tipiina, oloina, fa'amamāina, ma le taulimaina. E foia lelei ai lu'itau e pei o le lolomi o le wafer, le malepe o fasi pepa i le eletise, ma le fa'aleagaina o vaega laiti, ma ausia ai le maualuga tele o le tulaga lelei o le fa'agasologa mo le semiconductor wafers i fa'aoga fa'atino.
Pepa Fa'amatalaga o Meafaitino Seramika
| Mea | 95% Alumina | 99% Alumina | Zirconia | Silikoni karbida | SilikoniNitride | AluminiNitride |
| Lanu | lanu pa'epa'e | Samasama vaivai | lanu pa'epa'e | lanu uliuli | lanu uliuli | lanu efuefu |
| Mafiafia (g/cm3) | 3.7g/cm3 | 3.9g/cm3 | 6.02g/cm3 | 3.2g/cm3 | 3.25g/cm3 | 3.2g/cm3 |
| Fa'asusuina o le Vai | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Faigata (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Malosiaga Fa'alava (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Malosiaga Fa'apipi'i (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Modulus o le Elasticity a Young | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Fua Faatatau o Poisson | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Fa'avevela o le Tafega | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Malosiaga Dielectric | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Tete'e o le Volume (25 ℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
O le VET Energy o se kamupani gaosi oloa fa'apolofesa e taula'i i le R&D ma le gaosiga o mea fa'aonaponei maualuluga e pei o le graphite, silicon carbide, quartz, fa'apea fo'i ma le togafitiga o meafaitino e pei o le SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ma isi. O nei oloa e fa'aaogaina lautele i le photovoltaic, semiconductor, new energy, metallurgy, ma isi.
O la matou 'au fa'apitoa e sau mai fa'alapotopotoga su'esu'e sili ona lelei i totonu o le atunu'u, e mafai ona tu'uina atu ni fofo fa'apitoa mo oe.
O fa'amanuiaga o le VET Energy e aofia ai:
• Falegaosimea lava ia ma le fale su'esu'e fa'apolofesa;
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• Tau fa'atauva'a & Taimi vave e fa'ao'o atu ai;
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Matou te talia oe e asiasi i la matou fale gaosimea ma le fale suʻesuʻe i soo se taimi!











