Kengaytirilgan gözenekli seramika vakuum chuck

Kengaytirilgan gözenekli seramika vakuum chuck
G'ovakli keramik vakuumli shtutserish qismlarini tuzatish uchun vakuumli adsorbsiya printsipidan foydalanadigan yuk ko'taruvchi platformadir. Vakuum chuckining vakuumni uzatuvchi qismi g'ovakli keramik plastinkadir. G'ovakli keramik plastinka taglikning cho'kish teshigiga yig'iladi va uning atrofi taglik bilan bog'lanadi va muhrlanadi. Baza nozik seramika yoki metall materiallardan tayyorlangan. Metall yoki keramika asosini maxsus gözenekli keramika bilan birlashtirib, ichki nozik havo yo'lining dizayni salbiy bosimga duchor bo'lganda ish qismini vakuumli so'rg'ichga silliq va barqaror yopishish imkonini beradi.

G'ovakli keramikadagi juda nozik teshiklar tufayli ishlov beriladigan qismning yuzasi vakuumli so'rg'ichga hech qanday salbiy ta'sir ko'rsatmasdan yopishtirilishi mumkin, masalan, tirnalgan yoki salbiy bosimdan kelib chiqadigan chuqurchalar.

Gözenekli seramika vakuum chuckining xususiyatlari:
① Zich va bir xil tuzilish: kremniy kukuni/silliqlash qoldiqlari adsorbsiyasiga qarshi turadi, tozalash oson.
② Yuqori mustahkamlik va aşınmaya bardoshli: silliqlash paytida deformatsiyalar yo'q, qirralarning parchalanishi/parchalanishini kamaytiradi.
③ Uzoq umr: mukammal sirt shaklini saqlab qolish, minimal olib tashlash bilan uzoq kiyinish davri.
④ Yuqori izolyatsiya: statik elektrni yo'q qiladi.
⑤ Qayta foydalanish mumkin va kiyinish oson: Sirtni qayta tiklash paytida yorilish/chiqarish bo'lmaydi, bir necha marta qayta ishlatish mumkin.
⑥ Changsiz va barqaror: to'liq sinterlangan, zarrachalar chiqarilmaydi.
⑦ Yengil: g'ovakli tuzilish vaznni sezilarli darajada kamaytiradi.
⑧ Kimyoviy qarshilik: Materiallar/jarayonlarni boshqarish orqali korroziy muhitlar uchun moslashtirilgan.

Seramika vakuum chuck VS an'anaviy metall so'rg'ich:

Yarimo'tkazgich sohasida seramika vakuum chuck
Seramika vakuumli shtutserlar yarimo'tkazgichli gofret ishlab chiqarishda qisish va tashish asboblari sifatida xizmat qiladi. Ular yuqori tekislik va parallellik, zich va bir xil tuzilish, yuqori quvvat, yaxshi havo o'tkazuvchanligi, bir xil adsorbsiya kuchi va oson kiyinish xususiyatlariga ega. Bu xususiyatlar ularni yarimo'tkazgichli gofret ishlab chiqarishdagi noziklashtirish, kesish, maydalash, tozalash va ishlov berish kabi jarayonlar uchun mos qiladi. Ular gofretni bosish, chiplarning elektrostatik parchalanishi va zarrachalar bilan ifloslanish kabi muammolarni samarali hal qiladi va amaliy qo'llanmalarda yarimo'tkazgichli gofretlarni qayta ishlashning yuqori sifatiga erishadi.