Дэвшилтэт сүвэрхэг керамик вакуум чак
Сүвэрхэг керамик вакуум чакнь ажлын хэсгүүдийг бэхлэхэд вакуум шингээлтийн зарчмыг ашигладаг ачаалал даах тавцан юм. Вакуум дамжуулагчийн хэсэг нь сүвэрхэг керамик хавтан юм. Сүвэрхэг керамик хавтанг суурийн живэх нүхэнд угсарч, түүний зах хэсгийг сууриар холбож, битүүмжилдэг. Суурь нь нарийн керамик эсвэл металл материалаар хийгдсэн. Металл эсвэл керамик суурийг тусгай сүвэрхэг керамиктай хослуулснаар дотоод нарийн агаарын замын загвар нь сөрөг даралтад өртөх үед ажлын хэсгийг вакуум сорох аяганд жигд, тогтвортой наалдуулах боломжийг олгодог.
Сүвэрхэг керамик нь маш нарийн нүх сүвтэй тул ажлын хэсгийн гадаргууг сөрөг даралтаас үүдэлтэй зураас, хонхорхой зэрэг сөрөг хүчин зүйлгүйгээр вакуум сорох аяганд наалдуулж болно.
Сүвэрхэг керамик вакуум чакны шинж чанарууд:
1. Нягт ба жигд бүтэц: Цахиурын нунтаг/нунтаглах хог хаягдлын шингээлтийг тэсвэрлэдэг, цэвэрлэхэд хялбар.
2 Өндөр бат бэх ба элэгдэлд тэсвэртэй: Нунтаглах явцад хэв гажилтгүй, ирмэгийн хагарал/хагарал үүсэхийг багасгадаг.
3 Урт хугацааны эдэлгээ: Гадаргуугийн хэлбэрийг маш сайн хадгалдаг, хамгийн бага арилгалттай удаан хугацаанд бордох циклтэй.
④ Өндөр дулаалга: Статик цахилгааныг арилгана.
1 Дахин ашиглах боломжтой ба түрхэхэд хялбар: Дахин будах явцад хагарал/хагарал үүсэхгүй, олон удаа дахин ашиглах боломжтой.
⑥ Тоосжилтгүй ба тогтвортой: Бүрэн шатсан, тоосонцор ялгаруулдаггүй.
⑦ Хөнгөн: Сүвэрхэг бүтэц нь жинг мэдэгдэхүйц бууруулдаг.
⑧ Химийн эсэргүүцэл: Материал/үйл явцын хяналтаар зэврэлттэй орчинд тохируулан өөрчлөх боломжтой.
Керамик вакуум чакк ба уламжлалт металл сорох аяга:
Хагас дамжуулагчийн талбай дахь керамик вакуум патрон
Керамик вакуум патрон нь хагас дамжуулагч вафер үйлдвэрлэхэд хавчих болон зөөх хэрэгсэл болдог. Эдгээр нь өндөр хавтгай ба параллелизм, нягт ба жигд бүтэц, өндөр бат бэх, сайн агаар нэвтрүүлэх чадвар, жигд адсорбцийн хүч, хялбар боолттой. Эдгээр шинж чанарууд нь хагас дамжуулагч вафер үйлдвэрлэхэд нимгэрүүлэх, зүсэх, нунтаглах, цэвэрлэх, боловсруулах зэрэг үйл явцад тохиромжтой болгодог. Эдгээр нь вафер хэвлэх, чипийн электростатик задрал, бөөмсийн бохирдол зэрэг бэрхшээлийг үр дүнтэй шийдвэрлэж, практик хэрэглээнд хагас дамжуулагч ваферын маш өндөр боловсруулалтын чанарыг бий болгодог.
Керамик материалын мэдээллийн хуудас
| Зүйл | 95% хөнгөн цагаан | 99% хөнгөн цагаан | Циркон | Цахиурын карбид | ЦахиурNтийрэлтэт | Хөнгөн цагаанNтийрэлтэт |
| Өнгө | цагаан | Цайвар шар | цагаан | хар | хар | саарал |
| Нягт (г/см3) | 3.7г/см3 | 3.9г/см3 | 6.02г/см3 | 3.2г/см3 | 3.25г/см3 | 3.2г/см3 |
| Ус шингээлт | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Хатуулаг (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Гулзайлтын бат бэх (МПа) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Шахалтын бат бэх (МПа) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Янгийн уян хатан чанарын модуль | 300ГПа | 300ГПа | 320 ГПа | 450 ГПа | 290 ГПа | 310~350ГПа |
| Пуассоны харьцаа | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Дулаан дамжуулалт | 20Вт/м°C | 32Вт/м°C | 3Вт/м°C | 50Вт/м°C | 25Вт/м°C | 150Вт/м°C |
| Диэлектрик хүч чадал | 14КВ/мм | 14КВ/мм | 14КВ/мм | 14КВ/мм | 14КВ/мм | 14КВ/мм |
| Эзлэхүүний эсэргүүцэл (25℃) | >1014Ω·см | >1014Ω·см | >1014Ω·см | >105Ω·см | >1014Ω·см | >1014Ω·см |
VET Energy нь бал чулуу, цахиурын карбид, кварц зэрэг өндөр зэрэглэлийн дэвшилтэт материалын судалгаа, хөгжүүлэлт, үйлдвэрлэл, мөн SiC бүрхүүл, TaC бүрхүүл, шилэн нүүрстөрөгчийн бүрхүүл, пиролизийн нүүрстөрөгчийн бүрхүүл гэх мэт материалын боловсруулалтад чиглэсэн мэргэжлийн үйлдвэрлэгч юм. Бүтээгдэхүүнийг фотоэлектрик, хагас дамжуулагч, шинэ эрчим хүч, металлурги гэх мэт салбарт өргөн ашигладаг.
Манай техникийн баг нь дотоодын шилдэг судалгааны байгууллагуудаас гаралтай бөгөөд танд илүү мэргэжлийн материалын шийдлийг санал болгож чадна.
VET Energy-ийн давуу талууд нь дараахь зүйлийг агуулдаг.
• Өөрийн гэсэн үйлдвэр болон мэргэжлийн лабораторитой;
• Салбартаа тэргүүлэгч цэвэршилтийн түвшин болон чанар;
• Өрсөлдөхүйц үнэ ба хурдан хүргэлтийн хугацаа;
• Дэлхий даяар олон салбарын түншлэл;
Та манай үйлдвэр болон лабораторид хэзээ ч хамаагүй зочлохыг урьж байна!
