Advanced nga Porous Ceramic Vacuum Chuck
Pous nga Ceramic Vacuum Chuckmaoy usa ka load-bearing platform nga naggamit sa prinsipyo sa vacuum adsorption aron ayohon ang mga workpiece. Ang bahin sa vacuum chuck nga nagpadala sa vacuum usa ka porous ceramic plate. Ang porous nga seramiko nga plato gitigum sa nalunod nga lungag sa base, ug ang periphery niini gibugkos ug gisilyohan sa base. Ang base gihimo sa katukma nga seramiko o metal nga mga materyales. Pinaagi sa paghiusa sa usa ka metal o seramik nga base nga adunay usa ka espesyal nga porous nga seramik, ang disenyo sa internal nga precision nga agianan sa hangin nagtugot alang sa hapsay ug lig-on nga pagdikit sa workpiece sa vacuum suction cup kung gipailalom sa negatibo nga presyur.
Tungod sa labi ka pino nga mga pores sa porous nga mga seramiko, ang nawong sa workpiece mahimong masunod sa vacuum suction cup nga wala’y bisan unsang dili maayo nga mga hinungdan sama sa mga garas o dents nga gipahinabo sa negatibo nga presyur.
Mga Kinaiya sa Porous Ceramic Vacuum Chuck:
① Dasok ug uniporme nga estraktura: Mosukol sa silicon powder/paggaling sa mga debris adsorption, sayon limpyohan.
② Taas nga kalig-on ug pagsukol sa pagsul-ob: Wala’y deformation sa panahon sa paggaling, gipamubu ang sulud sa chipping / fragmentation.
③ Taas nga kinabuhi: Maayo kaayo nga pagpabilin sa porma sa nawong, taas nga siklo sa pagsinina nga adunay gamay nga pagtangtang.
④ Taas nga insulasyon: Giwagtang ang static nga kuryente.
⑤ Magamit pag-usab ug sayon nga isul-ob: Walay cracking/chipping sa panahon sa resurfacing, daghang paggamit pag-usab posible.
⑥ Non-dusting & stable: Bug-os nga sintered, walay particle emission.
⑦ Gaan ang timbang: Ang buho nga istruktura makapakunhod sa gibug-aton.
⑧ Pagbatok sa kemikal: Napasibo alang sa makadaot nga mga palibot pinaagi sa pagkontrol sa materyal / proseso.
Ceramic Vacuum Chuck VS Tradisyonal nga Metal Suction Cup:
Ang seramik nga vacuum chuck sa natad sa semiconductor
Ang mga ceramic vacuum chuck nagsilbing clamping ug pagdala nga mga himan sa produksiyon sa semiconductor wafer. Nagpakita sila og taas nga patag ug parallelism, usa ka dasok ug uniporme nga istruktura, taas nga kalig-on, maayo nga air permeability, uniporme nga adsorption force, ug sayon nga pagsinina. Kini nga mga kinaiya naghimo kanila nga angay alang sa mga proseso sa semiconductor wafer manufacturing sama sa pagnipis, paghiwa, paggaling, paglimpyo, ug pagdumala. Epektibo nilang gitubag ang mga hagit sama sa wafer imprinting, electrostatic breakdown sa mga chips, ug particle contamination, pagkab-ot sa hilabihan ka taas nga kalidad sa pagproseso alang sa semiconductor wafers sa praktikal nga mga aplikasyon.
Data Sheet sa mga Ceramic nga Materyal
| butang | 95% nga alumina | 99% nga alumina | Zirconia | Silicon carbide | SiliconNisakay | AluminumNisakay |
| Kolor | puti | Kahayag nga dilaw | puti | itom | itom | abohon |
| Densidad (g/cm3) | 3.7g/cm3 | 3.9g/cm3 | 6.02g/cm3 | 3.2g/cm3 | 3.25g/cm3 | 3.2g/cm3 |
| Pagsuyop sa Tubig | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Katig-a (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Flexural Strength (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Compressive Strength (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Modulus sa Elasticity ni Young | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Ang ratio ni Poisson | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Thermal Conductivity | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Dielectric nga Kusog | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Pagbatok sa Tomo (25 ℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
Ang VET Energy usa ka propesyonal nga tiggama nga nagpunting sa R&D ug paghimo sa high-end advanced nga mga materyales sama sa graphite, silicon carbide, quartz, ingon man ang materyal nga pagtambal sama sa SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ug uban pa.
Ang among teknikal nga grupo naggikan sa mga nanguna nga mga institusyon sa panukiduki sa lokal, makahatag labi ka propesyonal nga mga solusyon sa materyal alang kanimo.
Ang mga bentaha sa VET Energy naglakip sa:
• Kaugalingong pabrika ug propesyonal nga laboratoryo;
• Ang nanguna sa industriya sa kaputli ug kalidad;
• Competitive nga presyo & Fast delivery nga panahon;
• Daghang pakigtambayayong sa industriya sa tibuok kalibotan;
Giabiabi ka namo sa pagbisita sa among pabrika ug laboratoryo bisan unsang orasa!
