Fortgeschratt poréis Keramik Vakuum Chuck
Poréis Keramik Vakuum Chuckass eng droend Plattform, déi de Prinzip vun der Vakuumadsorptioun benotzt fir Werkstécker ze fixéieren. Den Deel vum Vakuumfutter, deen de Vakuum iwwerdréit, ass eng poréis Keramikplack. Déi poréis Keramikplack ass am Sénklach vun der Basis zesummegebaut, an hir Peripherie ass mat der Basis verbonnen a versiegelt. D'Basis besteet aus Präzisiounskeramik oder Metallmaterialien. Duerch d'Kombinatioun vun enger Metall- oder Keramikbasis mat enger spezieller poréiser Keramik erméiglecht den Design vun der interner Präzisiounsloft eng glat a stabil Haftung vum Werkstéck un d'Vakuumsaugnapp, wann et negativen Drock ausgesat ass.
Wéinst den extrem feine Poren an der poröser Keramik kann d'Uewerfläch vum Werkstéck un der Vakuum-Saugnapp gepecht ginn, ouni datt negativ Faktoren wéi Kratzer oder Dellen duerch Ënnerdrock entstinn.

Charakteristike vum porösen Keramik-Vakuumfutter:
① Dicht & eenheetlech Struktur: Widdersetzt sech der Adsorptioun vu Siliziumpulver/Schleifreschter, einfach ze botzen.
② Héich Festigkeit a Verschleißbeständegkeet: Keng Deformatioun beim Schleifen, miniméiert Kantenabsplitterung/Fragmentéierung.
③ Laang Liewensdauer: Excellent Formbewahrung vun der Uewerfläch, laange Veraarbechtungszyklus mat minimaler Entfernung.
④ Héich Isolatioun: Eliminéiert statesch Elektrizitéit.
⑤ Wiederverwendbar & einfach ze pflegen: Kee Rëss/Ofsplitter beim Neilackéieren, méifach Wiederverwendung méiglech.
⑥ Net-staubend & stabil: Voll gesintert, keng Partikelemissioun.
⑦ Liichtgewiicht: Déi poréis Struktur reduzéiert d'Gewiicht däitlech.
⑧ Chemesch Resistenz: Personaliséierbar fir korrosiv Ëmfeld iwwer Material-/Prozesskontroll.
Keramik-Vakuumfutter VS traditionell Metall-Saugnapf:
Keramik-Vakuumfutter am Halbleiterberäich
Keramik-Vakuumfutter déngen als Klemm- an Droeinstrumenter an der Produktioun vu Hallefleederwaferen. Si weisen eng héich Flaachheet a Parallelitéit, eng dicht an eenheetlech Struktur, héich Festigkeit, gutt Loftduerchlässegkeet, eenheetlech Adsorptiounskraaft an einfach Auskleben. Dës Charakteristike maachen se gëeegent fir Prozesser an der Produktioun vu Hallefleederwaferen wéi Verdënnen, Schneiden, Schleifen, Botzen an Ëmgang. Si léisen effektiv Erausfuerderungen wéi Waferprägung, elektrostateschen Duerchbroch vu Chips a Partikelkontaminatioun a erreechen doduerch eng extrem héich Veraarbechtungsqualitéit fir Hallefleederwaferen a prakteschen Uwendungen.
Datenblatt vu Keramikmaterialien
| Artikel | 95% Aluminiumoxid | 99% Aluminiumoxid | Zirkoniumdioxid | Siliziumkarbid | SiliziumNItriden | AluminiumNItriden |
| Faarf | wäiss | Hellgiel | wäiss | schwaarz | schwaarz | gro |
| Dicht (g/cm3) | 3,7 g/cm3 | 3,9 g/cm3 | 6,02 g/cm3 | 3,2 g/cm3 | 3,25 g/cm3 | 3,2 g/cm3 |
| Waasserabsorptioun | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Härte (HV) | 23,7 | 23,7 | 16,5 | 33 | 20 | - |
| Biegefestigkeit (MPa) | 300 MPa | 400 MPa | 1100 MPa | 450 MPa | 800 MPa | 310 MPa |
| Drockfestigkeit (MPa) | 2500 MPa | 2800 MPa | 3600 MPa | 2000 MPa | 2600 MPa | - |
| Young säi Modul vun der Elastizitéit | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Poisson-Verhältnis | 0,23 | 0,23 | 0,25 | 0,14 | 0,24 | 0,24 |
| Wärmeleitfäegkeet | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Dielektresch Stäerkt | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm |
| Volumenwiderstand (25 ℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy ass e professionnelle Produzent, dee sech op d'Fuerschung an d'Entwécklung a Produktioun vun héichwäertege Materialien wéi Graphit, Siliziumcarbid a Quarz konzentréiert, souwéi op d'Materialveraarbechtung wéi SiC-Beschichtungen, TaC-Beschichtungen, glasartiger Kuelestoffbeschichtungen, pyrolytescher Kuelestoffbeschichtungen, etc. D'Produkter gi wäit verbreet an der Photovoltaik, am Hallefleederberäich, an der neier Energie, an der Metallurgie, etc. benotzt.
Eis technesch Equipe kënnt vun den Top-Fuerschungsinstituter aus dem Inland a kann Iech méi professionell Materialléisungen ubidden.
D'Virdeeler vun der VET Energy enthalen:
• Eege Fabréck a professionellt Laboratoire;
• Industrieféierend Rengheetsniveauen a Qualitéit;
• Kompetitive Präis & séier Liwwerzäit;
• Vill Partnerschafte mat der Industrie weltwäit;
Mir invitéieren Iech zu all Moment eis Fabréck a Laboratoire ze besichen!
-
Hallefleiter Aluminiumoxid Keramikplack
-
Héichreinheetsquarzboot fir Waferveraarbechtung
-
Benotzerdefinéiert Héichtemperatur- a Korrosiounsbeständeg ...
-
Mechaneschen Aarm vun héijer Rengheet Aluminiumoxid Keramik
-
Aluminiumoxid Keramik Hallefleiter Isolatiounsdeckung
-
Halbleiter Aluminiumoxid Keramik Isolatiounsdeckung






