តើថ្នាំកូត sic ជាអ្វី? – VET ENERGY

ស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដគឺជាសមាសធាតុរឹងមួយដែលមានផ្ទុកស៊ីលីកុន និងកាបូន ហើយត្រូវបានរកឃើញនៅក្នុងធម្មជាតិជាសារធាតុរ៉ែ moissanite ដ៏កម្របំផុត។ ភាគល្អិតស៊ីលីកុនកាបៃអាចត្រូវបានភ្ជាប់គ្នាដោយការធ្វើស៊ីនទ័រដើម្បីបង្កើតជាសេរ៉ាមិចរឹងខ្លាំង ដែលត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងកម្មវិធីដែលត្រូវការភាពធន់ខ្ពស់ ជាពិសេសនៅក្នុងដំណើរការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ។

រចនាសម្ព័ន្ធម៉ូលេគុលស៊ីលីកុនកាបៃ

រចនាសម្ព័ន្ធរូបវន្តនៃ SiC

 

តើថ្នាំកូត SiC ជាអ្វី?

ថ្នាំកូត SiC គឺជាថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបៃក្រាស់ ធន់នឹងការពាក់ ជាមួយនឹងភាពធន់នឹងការច្រេះ និងកំដៅខ្ពស់ ព្រមទាំងមានចរន្តកំដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ ថ្នាំកូត SiC ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់នេះ ត្រូវបានប្រើជាចម្បងនៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងអេឡិចត្រូនិច ដើម្បីការពារឧបករណ៍ផ្ទុកបន្ទះសៀគ្វី មូលដ្ឋាន និងធាតុកំដៅពីបរិស្ថានច្រេះ និងមានប្រតិកម្ម។ ថ្នាំកូត SiC ក៏សមរម្យសម្រាប់ឡចំហាយបូមធូលី និងកំដៅគំរូនៅក្នុងបរិយាកាសបូមធូលី មានប្រតិកម្ម និងអុកស៊ីសែនខ្ពស់។

ផ្ទៃថ្នាំកូត sic ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (2)

ផ្ទៃថ្នាំកូត SiC ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់

 

តើដំណើរការថ្នាំកូត SiC ជាអ្វី?

 

ស្រទាប់ស្តើងមួយនៃស៊ីលីកុនកាប៊ីតត្រូវបានដាក់លើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមដោយប្រើCVD (ការដាក់ចំហាយគីមី)ការដាក់ស្រទាប់​ជាធម្មតាត្រូវបានអនុវត្តនៅសីតុណ្ហភាព 1200-1300°C ហើយឥរិយាបថពង្រីកកម្ដៅនៃសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមគួរតែឆបគ្នាជាមួយថ្នាំកូត SiC ដើម្បីកាត់បន្ថយភាពតានតឹងកម្ដៅ។

រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ខ្សែភាពយន្ត CVD SIC

រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ខ្សែភាពយន្តថ្នាំកូត CVD SIC

លក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្តនៃថ្នាំកូត SiC ត្រូវបានឆ្លុះបញ្ចាំងជាចម្បងនៅក្នុងភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ភាពរឹង ភាពធន់នឹងការច្រេះ និងចរន្តកំដៅរបស់វា។

 

ប៉ារ៉ាម៉ែត្ររូបវន្តធម្មតាមានដូចខាងក្រោម៖

 

ភាពរឹងថ្នាំកូត SiC ជាធម្មតាមានភាពរឹង Vickers ក្នុងចន្លោះពី 2000-2500 HV ដែលផ្តល់ឱ្យពួកគេនូវភាពធន់នឹងការពាក់ និងផលប៉ះពាល់ខ្ពស់ខ្លាំងនៅក្នុងកម្មវិធីឧស្សាហកម្ម។

ដង់ស៊ីតេថ្នាំកូត SiC ជាធម្មតាមានដង់ស៊ីតេ 3.1-3.2 ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប។ ដង់ស៊ីតេខ្ពស់រួមចំណែកដល់កម្លាំងមេកានិច និងភាពធន់នៃថ្នាំកូត។

ចរន្តកំដៅថ្នាំកូត SiC មានចរន្តកំដៅខ្ពស់ ជាធម្មតាស្ថិតនៅក្នុងចន្លោះពី 120-200 W/mK (នៅសីតុណ្ហភាព 20°C)។ នេះផ្តល់ឱ្យវានូវចរន្តកំដៅល្អនៅក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងធ្វើឱ្យវាស័ក្តិសមជាពិសេសសម្រាប់ឧបករណ៍ព្យាបាលកំដៅនៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ។

ចំណុចរលាយស៊ីលីកុនកាបៃមានចំណុចរលាយប្រហែល 2730°C និងមានស្ថេរភាពកម្ដៅល្អឥតខ្ចោះនៅសីតុណ្ហភាពខ្លាំង។

មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅថ្នាំកូត SiC មានមេគុណលីនេអ៊ែរទាបនៃការពង្រីកកម្ដៅ (CTE) ជាធម្មតាក្នុងចន្លោះពី 4.0-4.5 µm/mK (ក្នុងចន្លោះពី 25-1000°C)។ នេះមានន័យថាស្ថេរភាពវិមាត្ររបស់វាគឺល្អឥតខ្ចោះលើភាពខុសគ្នានៃសីតុណ្ហភាពធំៗ។

ភាពធន់នឹងការច្រេះថ្នាំកូត SiC មានភាពធន់នឹងការច្រេះខ្លាំងនៅក្នុងបរិយាកាសអាស៊ីតខ្លាំង អាល់កាឡាំង និងអុកស៊ីតកម្ម ជាពិសេសនៅពេលប្រើអាស៊ីតខ្លាំង (ដូចជា HF ឬ HCl) ភាពធន់នឹងការច្រេះរបស់វាលើសពីវត្ថុធាតុលោហៈធម្មតា។

 

ស្រទាប់ខាងក្រោមសម្រាប់លាបថ្នាំ SiC

 

ថ្នាំកូត SiC ត្រូវបានគេប្រើជាញឹកញាប់ដើម្បីបង្កើនភាពធន់នឹងការច្រេះ ភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងភាពធន់នឹងការសឹករិចរិលប្លាស្មានៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ ស្រទាប់ខាងក្រោមដែលប្រើប្រាស់ជាទូទៅរួមមានដូចខាងក្រោម៖

 

ប្រភេទស្រទាប់ខាងក្រោម ហេតុផលនៃការដាក់ពាក្យ ការប្រើប្រាស់ធម្មតា
ក្រាហ្វីត - រចនាសម្ព័ន្ធស្រាល ចរន្តកំដៅល្អ

- ប៉ុន្តែងាយនឹងច្រេះដោយប្លាស្មា ត្រូវការការការពារថ្នាំកូត SiC

គ្រឿងបន្លាស់បន្ទប់បូមធូលី ទូកក្រាហ្វីត ថាសឆ្លាក់ប្លាស្មា ជាដើម។
រ៉ែថ្មខៀវ (រ៉ែថ្មខៀវ/SiO₂) - ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ប៉ុន្តែងាយនឹងច្រេះ

- ថ្នាំកូតបង្កើនភាពធន់នឹងសំណឹកប្លាស្មា

គ្រឿងបន្លាស់បន្ទប់ CVD/PECVD
សេរ៉ាមិច (ដូចជាអាលុយមីញ៉ូម Al₂O₃) - រចនាសម្ព័ន្ធរឹងមាំ និង មានស្ថេរភាពខ្ពស់

- ថ្នាំកូតធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពធន់នឹងការច្រេះលើផ្ទៃ

ស្រទាប់ខាងក្នុងបន្ទប់ គ្រឿងបរិក្ខារ ជាដើម។
លោហធាតុ (ដូចជាម៉ូលីបដិម ទីតានីញ៉ូម ជាដើម) - មានចរន្តកំដៅល្អ ប៉ុន្តែធន់នឹងការច្រេះទាប

- ថ្នាំកូតធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវស្ថេរភាពនៃផ្ទៃ

សមាសធាតុប្រតិកម្មដំណើរការពិសេស
តួ​ដែល​បាន​ដុត​ដោយ​ស៊ីលីកុន​កាប៊ីដ (SiC ជា​ដុំ) - សម្រាប់បរិស្ថានដែលមានតម្រូវការខ្ពស់សម្រាប់លក្ខខណ្ឌការងារស្មុគស្មាញ

- ថ្នាំកូត​បន្ថែម​ទៀត​ធ្វើ​ឲ្យ​ភាព​បរិសុទ្ធ និង​ភាព​ធន់​នឹង​ការ​ច្រេះ​ប្រសើរ​ឡើង

គ្រឿងបន្លាស់បន្ទប់ CVD/ALD កម្រិតខ្ពស់

 

ផលិតផលស្រោបដោយ SiC ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់ជាទូទៅនៅក្នុងតំបន់អេឡិចត្រូនិចដូចខាងក្រោម

 

ផលិតផលថ្នាំកូត SiC ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងដំណើរការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាចម្បងនៅក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ការច្រេះខ្ពស់ និងប្លាស្មាខ្លាំង។ ខាងក្រោមនេះគឺជាដំណើរការ ឬវិស័យអនុវត្តសំខាន់ៗមួយចំនួន និងការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

 

ដំណើរការដាក់ពាក្យ/វាល ការពិពណ៌នាសង្ខេប មុខងារថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាប៊ីដ
ការឆ្លាក់ប្លាស្មា (ការឆ្លាក់) ប្រើឧស្ម័នដែលមានមូលដ្ឋានលើហ្វ្លុយអូរីន ឬក្លរីនសម្រាប់ការផ្ទេរលំនាំ ទប់ទល់នឹងសំណឹកប្លាស្មា និងការពារការចម្លងរោគភាគល្អិត និងលោហៈ
ការដាក់ចំហាយគីមី (CVD/PECVD) ការដាក់អុកស៊ីដ នីទ្រីត និងខ្សែភាពយន្តស្តើងផ្សេងទៀត ទប់ទល់នឹងឧស្ម័នសារធាតុបង្កការច្រេះ និងបង្កើនអាយុកាលប្រើប្រាស់របស់សមាសធាតុ
បន្ទប់ដាក់ចំហាយទឹករូបវន្ត (PVD) ការទម្លាក់គ្រាប់បែកភាគល្អិតថាមពលខ្ពស់ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការថ្នាំកូត ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពធន់នឹងសំណឹក និងភាពធន់នឹងកំដៅនៃបន្ទប់ប្រតិកម្ម
ដំណើរការ MOCVD (ដូចជាការលូតលាស់ SiC epitaxial) ប្រតិកម្មរយៈពេលវែងក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងបរិយាកាសច្រេះអ៊ីដ្រូសែនខ្ពស់ រក្សាស្ថេរភាពឧបករណ៍ និងការពារការចម្លងរោគនៃគ្រីស្តាល់ដែលកំពុងលូតលាស់
ដំណើរការព្យាបាលកំដៅ (LPCVD ការសាយភាយ ការដុត ជាដើម) ជាធម្មតាត្រូវបានអនុវត្តនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងកន្លែងទំនេរ/បរិយាកាស ការពារទូក និងថាសក្រាហ្វីតពីអុកស៊ីតកម្ម ឬការច្រេះ
ប្រដាប់ទ្រ/ប្រដាប់ដាក់បន្ទះសៀគ្វី (ការកាន់បន្ទះសៀគ្វី) មូលដ្ឋានក្រាហ្វីតសម្រាប់ការផ្ទេរបន្ទះ wafer ឬការគាំទ្រ កាត់បន្ថយការជ្រុះភាគល្អិត និងជៀសវាងការចម្លងរោគពីការប៉ះពាល់
សមាសធាតុបន្ទប់ ALD គ្រប់គ្រងការដាក់ស្រទាប់អាតូមម្តងហើយម្តងទៀត និងត្រឹមត្រូវ ថ្នាំកូតនេះរក្សាបន្ទប់ឱ្យស្អាត និងមានភាពធន់នឹងការច្រេះខ្ពស់ចំពោះសារធាតុបឋម។

ស្រទាប់ក្រាហ្វីតស្រោបដោយស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ

 

ហេតុអ្វីត្រូវជ្រើសរើស VET Energy?

 

VET Energy គឺជាក្រុមហ៊ុនផលិត អ្នកច្នៃប្រឌិត និងជាអ្នកដឹកនាំផលិតផលថ្នាំកូត SiC ឈានមុខគេនៅក្នុងប្រទេសចិន ដែលផលិតផលថ្នាំកូត SiC សំខាន់ៗរួមមានបន្ទះ​ស្រោប​ជាមួយ​ថ្នាំកូត SiC, ស្រោបដោយ SiCឧបករណ៍​ទទួល​សញ្ញា​អេពីតាក់ស៊ីល, ចិញ្ចៀនក្រាហ្វីតស្រោបដោយ SiC, គ្រឿងបន្លាស់ពាក់កណ្តាលព្រះច័ន្ទជាមួយថ្នាំកូត SiC, សមាសធាតុកាបូន-កាបូនស្រោបដោយ SiC, ទូកស្រោបដោយ SiC, ឧបករណ៍កម្តៅដែលមានថ្នាំកូត SiCជាដើម។ VET Energy ប្តេជ្ញាផ្តល់ជូនឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រនូវបច្ចេកវិទ្យា និងដំណោះស្រាយផលិតផលចុងក្រោយបំផុត ព្រមទាំងគាំទ្រសេវាកម្មប្ដូរតាមបំណង។ យើងទន្ទឹងរង់ចាំដោយស្មោះអស់ពីចិត្តក្នុងការក្លាយជាដៃគូរយៈពេលវែងរបស់អ្នកនៅក្នុងប្រទេសចិន។

ប្រសិនបើអ្នកមានសំណួរ ឬត្រូវការព័ត៌មានលម្អិតបន្ថែម សូមកុំស្ទាក់ស្ទើរក្នុងការទាក់ទងមកយើងខ្ញុំ។

Whatsapp & Wechat៖ +86-18069021720

Email: steven@china-vet.com


ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៨ ខែតុលា ឆ្នាំ ២០២៤
ជជែកតាមអ៊ីនធឺណិត WhatsApp!