Waa maxay dahaarka sic?

Kaarboohaydraytka Silikoonwaa iskudhis adag oo ka kooban silicon iyo kaarboon, waxaana laga helaa dabeecadda moissanite macdanta aadka u naadirka ah. Walxaha silikoon carbide waxaa lagu xidhi karaa iyadoo la sinteringayo si loo sameeyo dhoobo aad u adag, kuwaas oo si weyn loogu isticmaalo codsiyada u baahan cimri dherer sare, gaar ahaan habka semiconductor-ka.

Qaab-dhismeedka jirka ee SiC

Waa maxay dahaarka SiC?

Dahaarka SiC waa dahaar cufan oo silicon carbide ah oo u adkaysta xirashada oo leh daxal sare iyo iska caabin kulayl iyo gudbin kuleyl oo aad u fiican. Dahaarkan SiC ee saafiga ah waxaa ugu horreyn loo isticmaalaa warshadaha semiconductor-ka iyo elektaroonigga si looga ilaaliyo xambaarayaasha wafer-ka, saldhigyada iyo walxaha kululaynta deegaannada daxalka iyo falcelinta leh. Dahaarka SiC sidoo kale wuxuu ku habboon yahay foornooyinka faakiyuumka iyo kuleylinta muunadda ee jawiga faakiyuumka sare, falcelinta leh iyo oksijiinta.

Dahaarka daahan SiC daahirnimo sare

Waa maxay habka dahaarka SiC?

Lakab khafiif ah oo ah carbide silicon ah ayaa lagu shubaa dusha sare ee substrate-ka iyadoo la isticmaalayoCVD (Ka-saarista Uumiga Kiimikada)Kala-soocidda waxaa badanaa lagu sameeyaa heerkul ah 1200-1300°C, dhaqanka fidinta kulaylka ee walxaha substrate-ka ahna waa inuu la jaanqaadaa dahaarka SiC si loo yareeyo cadaadiska kulaylka.

Qaab-dhismeedka Filimka CVD SIC

Qaab-dhismeedka filimka dahaarka leh ee CVD SIC

Sifooyinka jireed ee dahaarka SiC waxaa inta badan lagu muujiyaa iska caabbinta heerkulka sare, adkaanta, iska caabbinta daxalka iyo socodka kulaylka.

Xuduudaha jireed ee caadiga ah badanaa waa sida soo socota:

AdkaantaDahaarka SiC wuxuu caadi ahaan leeyahay Vickers Hardness oo u dhexeeya 2000-2500 HV, taasoo siinaysa xirasho aad u sareysa iyo iska caabin saameyn ah codsiyada warshadaha.

CufnaantaDahaarka SiC wuxuu caadi ahaan leeyahay cufnaan dhan 3.1-3.2 g/cm³. Cufnaanta sare waxay gacan ka geysataa xoogga farsamada iyo cimri dhererka dahaarka.

Gudbinta kulaylka: Dahaarka SiC wuxuu leeyahay kuleyl aad u sarreeya, badanaa wuxuu u dhexeeyaa 120-200 W/mK (20°C). Tani waxay siisaa kuleyl wanaagsan jawi heerkul sare leh waxayna ka dhigaysaa mid si gaar ah ugu habboon qalabka daaweynta kulaylka ee warshadaha semiconductor-ka.

Barta dhalaalaysa: silicon carbide wuxuu leeyahay dhibic dhalaalaysa oo qiyaastii ah 2730°C wuxuuna leeyahay xasillooni kuleyl oo aad u fiican heerkulka aadka u daran.

Isugeynta Ballaarinta Kulaylka: Dahaarka SiC wuxuu leeyahay isku-xidhnaan hoose oo toosan oo ballaarinta kulaylka (CTE), badanaa wuxuu u dhexeeyaa 4.0-4.5 µm/mK (25-1000℃). Taas macnaheedu waa in xasilloonideeda cabbirku ay aad u fiican tahay marka loo eego kala duwanaanshaha heerkulka weyn.

Iska caabbinta daxalkaDahaarka SiC aad ayuu uga hortagaa daxalka deegaannada aashitada xooggan, alkali iyo oksaydhka, gaar ahaan marka la isticmaalayo aashitada xooggan (sida HF ama HCl), iska caabbinta daxalka aad ayay uga badan tahay tan agabka birta caadiga ah.

Substrate codsiga daahan SiC

Dahaarka SiC waxaa badanaa loo isticmaalaa in lagu hagaajiyo iska caabbinta daxalka, iska caabbinta heerkulka sare, iyo iska caabbinta nabaad-guurka balaasmaha ee substrate-ka. Substrate-yada isticmaalka caadiga ah waxaa ka mid ah kuwan soo socda:

Nooca substrate-ka	Sababta codsiga	Isticmaalka caadiga ah
Garaafit	- Qaab-dhismeed fudud, gudbin kuleyl oo wanaagsan - Laakiin si fudud ayuu u mirqaamaa plasma-ga, wuxuu u baahan yahay ilaalin dahaarka SiC	Qaybaha qolka faakuumka, doonyaha garaafka, saxaaradaha wax lagu qoro ee balaasmaha, iwm.
Quartz (Quartz/SiO₂)	- Nadiifnimo sare laakiin si fudud u mirdhay - Dahaarka wuxuu xoojiyaa iska caabbinta nabaad-guurka plasma	Qaybaha qolka CVD/PECVD
Dhoobada (sida alumina Al₂O₃)	- Xoog sare iyo qaab-dhismeed deggan - Dahaarka wuxuu hagaajiyaa iska caabbinta daxalka dusha sare	Dahaarka qolka, qalabka, iwm.
Biraha (sida molybdenum, titanium, iwm.)	- Kontoroolka kulaylka oo wanaagsan laakiin iska caabinta daxalka oo liidata - Dahaarka ayaa hagaajiya xasilloonida dusha sare	Qaybaha falcelinta habka gaarka ah
Jirka silikoon carbide ah (SiC badan)	- Deegaannada leh shuruudo sare oo loogu talagalay xaaladaha shaqada ee adag - Dahaarka ayaa sii wanaajiya daahirnimada iyo iska caabbinta daxalka	Qaybaha qolka CVD/ALD ee heerka sare ah

Badeecadaha dahaarka leh ee SiC waxaa badanaa loo isticmaalaa qaybaha soo socda ee semiconductor-ka

Badeecadaha dahaarka SiC waxaa si weyn loogu isticmaalaa habaynta semiconductor-ka, inta badan heerkulka sare, daxalka sare iyo jawiyada adag ee plasma. Kuwa soo socda waa dhowr hab oo codsi oo waaweyn ama goobo iyo sharraxaad kooban:

Habka codsiga/goobta	Sharaxaad kooban	Shaqada dahaarka Silicon Carbide
Qalinjabinta Balaasmaha (Qalalin)	Isticmaal gaasaska ku salaysan fluorine ama chlorine si aad u wareejiso qaabka	Iska caabbinta nabaad-guurka balaasmaha oo ka hortag wasakhowga walxaha iyo biraha
Kaydinta uumiga kiimikada (CVD/PECVD)	Ka saarista oksaydh, nitride iyo filimaan kale oo khafiif ah	Iska caabbi gaasaska kiciya ee wax daxalka ah oo kordhi cimriga qaybaha
Qolka dhigista uumiga jirka (PVD)	Duqeynta walxaha tamar sare leh inta lagu jiro habka dahaarka	Hagaaji iska caabbinta nabaad-guurka iyo iska caabbinta kulaylka ee qolka falcelinta
Habka MOCVD (sida koritaanka epitaxial-ka SiC)	Falcelin muddo dheer ah oo heerkul sare iyo jawi sare oo daxal leh oo haydarojiin ah	Ilaali xasilloonida qalabka oo ka hortag wasakheynta kiristaalada koraya
Habka daaweynta kulaylka (LPCVD, faafinta, annealing, iwm.)	Badanaa waxaa lagu sameeyaa heerkul sare iyo vacuum/jawiga.	Ka ilaali doomaha iyo saxamada garaafiga oksaydh ama miridhku
Qaadaha/qabashada Wafer-ka (Maareynta Wafer-ka)	Saldhigga garaafiga si loogu wareejiyo buskudka ama taageerada buskudka	Yaree daadinta walxaha oo iska ilaali wasakhowga taabashada
Qaybaha qolka ALD	Si isdaba joog ah oo sax ah u xakameeya dhigista lakabka atomiga	Dahaarka ayaa qolka nadiif ka dhigaya wuxuuna leeyahay iska caabin sare oo daxalka ah oo ku wajahan waxyaabaha hor-u-socodka ah

Maxaad u dooratay Tamarta VET?

VET Energy waa soo saare hormuud ah, hal-abuure iyo hormuudka alaabada dahaarka SiC ee Shiinaha, alaabada ugu muhiimsan ee dahaarka SiC waxaa ka mid ahside buffer ah oo leh dahaarka SiC, SiC dahaadh lehsuuxdinta epitaxial, Giraanta garaafka ee SiC dahaarka leh, Qaybaha nus-moon oo leh dahaarka SiC, Isku-dhafka kaarboon-kaarboon ee SiC-dahaarka leh, Doon yar oo siC ah loo dahaadhay, Kuleyliyaha dahaarka leh ee SiC, iwm. VET Energy waxay ka go'an tahay inay warshadaha semiconductor-ka siiso tignoolajiyada ugu dambeysa iyo xalalka wax soo saarka, waxayna taageertaa adeegyada habaynta. Waxaan si daacad ah u rajeyneynaa inaan noqono lammaanahaaga muddada dheer ee Shiinaha.