Dubbele Damaskus is 'n prosestegnologie wat gebruik word om metaalverbindings in geïntegreerde stroombane te vervaardig. Dit is 'n verdere ontwikkeling van die Damaskus-proses. Deur deurlopende gate en groewe gelyktydig in dieselfde prosesstap te vorm en dit met metaal te vul, word die geïntegreerde vervaardiging van metaalverbindings bewerkstellig.
Waarom word dit Damaskus genoem?
Die stad Damaskus is die hoofstad van Sirië, en Damaskus-swaarde is bekend vir hul skerpte en voortreflike tekstuur. 'n Soort inlegproses word vereis: eerstens word die vereiste patroon op die oppervlak van Damaskus-staal gegraveer, en die vooraf voorbereide materiale word styf in die gegraveerde groewe ingelê. Nadat die inlegwerk voltooi is, kan die oppervlak 'n bietjie ongelyk wees. Die vakman sal dit versigtig poleer om die algehele gladheid te verseker. En hierdie proses is die prototipe van die dubbele Damaskus-proses van die skyfie. Eers word groewe of gate in die diëlektriese laag gegraveer, en dan word metaal daarin gevul. Na die vulling sal die oortollige metaal deur cmp verwyder word.
Die hoofstappe van die dubbele damaskene proses sluit in:
▪ Afsetting van diëlektriese laag:
Plaas 'n laag diëlektriese materiaal, soos silikondioksied (SiO2), op die halfgeleier neer.wafel.
▪ Fotolitografie om die patroon te definieer:
Gebruik fotolitografie om die patroon van vias en loopgrawe op die diëlektriese laag te definieer.
▪Etswerk:
Dra die patroon van vias en loopgrawe oor na die diëlektriese laag deur 'n droë of nat etsproses.
▪ Afsetting van metaal:
Plaas metaal, soos koper (Cu) of aluminium (Al), in vias en slote om metaalverbindings te vorm.
▪ Chemiese meganiese polering:
Chemiese meganiese polering van die metaaloppervlak om oortollige metaal te verwyder en die oppervlak plat te maak.
In vergelyking met die tradisionele metaalverbindingsvervaardigingsproses, het die dubbele damaskene-proses die volgende voordele:
▪Vereenvoudigde prosesstappe:Deur vias en slote gelyktydig in dieselfde prosesstap te vorm, word die prosesstappe en vervaardigingstyd verminder.
▪Verbeterde vervaardigingsdoeltreffendheid:As gevolg van die vermindering van prosesstappe, kan die dubbele damaskene-proses vervaardigingsdoeltreffendheid verbeter en produksiekoste verminder.
▪Verbeter die werkverrigting van metaalverbindings:Die dubbele damaskene proses kan smaller metaalverbindings bereik, wat die integrasie en werkverrigting van stroombane verbeter.
▪Verminder parasitiese kapasitansie en weerstand:Deur lae-k diëlektriese materiale te gebruik en die struktuur van metaalverbindings te optimaliseer, kan parasitiese kapasitansie en weerstand verminder word, wat die spoed en kragverbruiksprestasie van stroombane verbeter.
Plasingstyd: 25 Nov 2024