Dual-Damascene ke theknoloji ea ts'ebetso e sebelisoang ho etsa likhokahano tsa tšepe lipotolohong tse kopantsoeng. Ke nts'etsopele e 'ngoe ea ts'ebetso ea Damascus. Ka ho theha masoba le li-groove ka nako e le 'ngoe mohatong o tšoanang oa ts'ebetso le ho li tlatsa ka tšepe, tlhahiso e kopantsoeng ea likhokahano tsa tšepe ea phethahala.
Ke hobane'ng ha e bitsoa Damaseka?
Motse oa Damaseka ke motse-moholo oa Syria, 'me lisabole tsa Damaseka li tumme ka bohale ba tsona le sebopeho sa tsona se setle. Ho hlokahala mofuta oa mokhoa oa ho kenya: pele, paterone e hlokahalang e ngotsoe holim'a tšepe ea Damaseka, 'me thepa e lokisitsoeng esale pele e kenngoa ka thata ka har'a li-groove tse betliloeng. Kamora hore ho kenya ho phethoe, bokaholimo bo ka 'na ba se lekane hanyane. Setsebi sa mesebetsi ea matsoho se tla e bentša ka hloko ho netefatsa hore e boreleli ka kakaretso. 'Me ts'ebetso ena ke mohlala oa ts'ebetso ea Damaseka e habeli ea chip. Taba ea pele, li-groove kapa masoba li ngotsoe lera la dielectric, ebe tšepe e tlatsoa ho tsona. Kamora ho tlatsa, tšepe e feteletseng e tla tlosoa ka cmp.
Mehato ea mantlha ea ts'ebetso ea damascene e habeli e kenyelletsa:
▪ Ho tlosoa ha lera la dielectric:
Beha lera la thepa ea dielectric, joalo ka silicon dioxide (SiO2), holim'a semiconductorsejana sa bohobe.
▪ Fotolithography ho hlalosa mohlala:
Sebelisa photolithography ho hlalosa mohlala oa li-via le liforo tse holim'a lera la dielectric.
▪Ho hlaba:
Fetisetsa mohlala oa li-via le liforo ho ea lera la dielectric ka mokhoa o omileng kapa o metsi oa ho fata.
▪ Ho tlosoa ha tšepe:
Tšepe e behetsoeng, joalo ka koporo (Cu) kapa aluminium (Al), ka har'a li-vias le liforo ho etsa likhokahano tsa tšepe.
▪ Ho bentša ka mechine ka lik'hemik'hale:
Ho bentša bokaholimo ba tšepe ka lik'hemik'hale ho tlosa tšepe e ngata le ho batalatsa bokaholimo.
Ha ho bapisoa le mokhoa oa setso oa tlhahiso ea khokahanyo ea tšepe, mokhoa oa damascene o habeli o na le melemo e latelang:
▪Mehato e bonolo ea ts'ebetso:Ka ho etsa li-vias le liforo ka nako e le 'ngoe mohatong o tšoanang oa ts'ebetso, mehato ea ts'ebetso le nako ea tlhahiso lia fokotsoa.
▪Ts'ebetso e ntlafetseng ea tlhahiso:Ka lebaka la phokotso ea mehato ea ts'ebetso, ts'ebetso ea damascene e habeli e ka ntlafatsa katleho ea tlhahiso le ho fokotsa litšenyehelo tsa tlhahiso.
▪Ntlafatsa ts'ebetso ea likhokahano tsa tšepe:Ts'ebetso ea damascene e habeli e ka fihlella likhokahano tse tšesaane tsa tšepe, ka hona e ntlafatsa kopanyo le ts'ebetso ea lipotoloho.
▪Fokotsa bokgoni le khanyetso ya dikokonyana:Ka ho sebedisa thepa ya dielectric e nang le k e tlase le ho ntlafatsa sebopeho sa dikgokelo tsa tshepe, bokgoni ba dikokonyana le kganyetso di ka fokotswa, ho ntlafatsa lebelo le tshebetso ya tshebediso ya matla ya dipotoloho.
Nako ea poso: Pulungoana-25-2024