डुअल-डमासिन एकीकृत सर्किटहरूमा धातु इन्टरकनेक्टहरू निर्माण गर्न प्रयोग गरिने प्रक्रिया प्रविधि हो। यो दमास्कस प्रक्रियाको थप विकास हो। एउटै प्रक्रिया चरणमा एकै समयमा प्वालहरू र खाँचोहरू बनाएर र तिनीहरूलाई धातुले भरेर, धातु इन्टरकनेक्टहरूको एकीकृत निर्माण साकार हुन्छ।
यसलाई दमास्कस किन भनिन्छ?
दमास्कस शहर सिरियाको राजधानी हो, र दमास्कस तरवारहरू तिनीहरूको तीक्ष्णता र उत्कृष्ट बनावटको लागि प्रसिद्ध छन्। एक प्रकारको जड़न प्रक्रिया आवश्यक छ: पहिले, आवश्यक ढाँचा दमास्कस स्टीलको सतहमा कुँदिएको छ, र पूर्व-तयार सामग्रीहरू उत्कीर्ण खाँचोहरूमा कडा रूपमा जड़िएको छ। जड़न पूरा भएपछि, सतह अलि असमान हुन सक्छ। समग्र चिल्लोपन सुनिश्चित गर्न शिल्पकारले यसलाई सावधानीपूर्वक पालिस गर्नेछ। र यो प्रक्रिया चिपको दोहोरो दमास्कस प्रक्रियाको प्रोटोटाइप हो। पहिले, डाइइलेक्ट्रिक तहमा खाँचो वा प्वालहरू कुँदिएका छन्, र त्यसपछि तिनीहरूमा धातु भरिएको छ। भरेपछि, अतिरिक्त धातु cmp द्वारा हटाइनेछ।
दोहोरो दमासिन प्रक्रियाको मुख्य चरणहरू समावेश छन्:
▪ डाइइलेक्ट्रिक तहको निक्षेपण:
अर्धचालकमा सिलिकन डाइअक्साइड (SiO2) जस्ता डाइइलेक्ट्रिक पदार्थको तह जम्मा गर्नुहोस्वेफर.
▪ ढाँचा परिभाषित गर्न फोटोलिथोग्राफी:
डाइइलेक्ट्रिक तहमा भिया र ट्रेन्चहरूको ढाँचा परिभाषित गर्न फोटोलिथोग्राफी प्रयोग गर्नुहोस्।
▪नक्काशी:
सुख्खा वा भिजेको नक्काशी प्रक्रिया मार्फत भिया र ट्रेन्चको ढाँचालाई डाइइलेक्ट्रिक तहमा स्थानान्तरण गर्नुहोस्।
▪ धातुको निक्षेपण:
धातुको अन्तरसम्बन्ध बनाउन तामा (Cu) वा आल्मुनियम (Al) जस्ता धातुलाई भिया र खाडलहरूमा जम्मा गर्नुहोस्।
▪ रासायनिक मेकानिकल पालिसिङ:
अतिरिक्त धातु हटाउन र सतहलाई समतल बनाउन धातुको सतहको रासायनिक यान्त्रिक पालिसिङ।
परम्परागत धातु अन्तरसम्बन्धित उत्पादन प्रक्रियाको तुलनामा, दोहोरो दमासिन प्रक्रियाका निम्न फाइदाहरू छन्:
▪सरलीकृत प्रक्रिया चरणहरू:एउटै प्रक्रिया चरणमा एकैसाथ भिया र खाडलहरू बनाउँदा, प्रक्रिया चरणहरू र उत्पादन समय घट्छ।
▪ सुधारिएको उत्पादन दक्षता:प्रक्रिया चरणहरू घटाउने कारणले गर्दा, दोहोरो दमासिन प्रक्रियाले उत्पादन दक्षता सुधार गर्न र उत्पादन लागत घटाउन सक्छ।
▪धातु इन्टरकनेक्टहरूको कार्यसम्पादन सुधार गर्नुहोस्:दोहोरो दमासिन प्रक्रियाले साँघुरो धातु अन्तरसम्बन्धहरू प्राप्त गर्न सक्छ, जसले गर्दा सर्किटहरूको एकीकरण र कार्यसम्पादनमा सुधार हुन्छ।
▪परजीवी क्षमता र प्रतिरोध घटाउनुहोस्:कम-के डाइइलेक्ट्रिक सामग्रीहरू प्रयोग गरेर र धातु इन्टरकनेक्टहरूको संरचनालाई अनुकूलन गरेर, परजीवी क्षमता र प्रतिरोध कम गर्न सकिन्छ, सर्किटहरूको गति र पावर खपत कार्यसम्पादनमा सुधार हुन्छ।
पोस्ट समय: नोभेम्बर-२५-२०२४