Damasko bikoitza zirkuitu integratuetan metalezko interkonexioak fabrikatzeko erabiltzen den prozesu-teknologia bat da. Damasko prozesuaren garapen bat da. Prozesu-urrats berean zuloak eta ildaskak aldi berean eratuz eta metalez betez, metalezko interkonexioen fabrikazio integratua lortzen da.
Zergatik deitzen zaio Damasko?
Damasko hiria Siriako hiriburua da, eta Damaskoko ezpatak zorroztasun eta ehundura bikainagatik dira famatuak. Inkrustazio prozesu mota bat behar da: lehenik, beharrezko eredua Damaskoko altzairuaren gainazalean grabatzen da, eta aurrez prestatutako materialak grabatutako ildoetan txertatzen dira ondo. Inkrustazioa amaitu ondoren, gainazala apur bat irregularra izan daiteke. Artisauak arretaz leundu egingo du leuntasun orokorra bermatzeko. Eta prozesu hau txiparen Damasko prozesu bikoitzaren prototipoa da. Lehenik, ildoak edo zuloak grabatzen dira geruza dielektrikoan, eta gero metala betetzen da horietan. Bete ondoren, soberako metala cmp bidez kenduko da.
Damaskinatze bikoitzaren prozesuaren urrats nagusiak hauek dira:
▪ Geruza dielektrikoaren metaketa:
Jarri material dielektriko geruza bat, hala nola silizio dioxidoa (SiO2), erdieroalearen gainean.oblea.
▪ Fotolitografia eredua definitzeko:
Erabili fotolitografia geruza dielektrikoan bideen eta lubakien eredua definitzeko.
▪Grabatua:
Transferitu bide eta lubakien eredua geruza dielektrikora grabatze prozesu lehor edo heze baten bidez.
▪ Metalaren metaketa:
Metalezko interkonexioak eratzeko, jarri metala, hala nola kobrea (Cu) edo aluminioa (Al), zulo eta lubakietan.
▪ Leuntze kimiko mekanikoa:
Metalezko gainazalaren leuntze kimiko-mekanikoa, soberako metala kentzeko eta gainazala berdintzeko.
Tradizionalki metalezko interkonexio bidezko fabrikazio-prozesuarekin alderatuta, damaskinatze bikoitzeko prozesuak abantaila hauek ditu:
▪Prozesuaren urrats sinplifikatuak:Prozesu-urrats berean zuloak eta lubakiak aldi berean eratuz, prozesu-urratsak eta fabrikazio-denbora murrizten dira.
▪ Fabrikazio-eraginkortasuna hobetzea:Prozesuaren urratsen murrizketa dela eta, damaskinatze bikoitzeko prozesuak fabrikazio-eraginkortasuna hobetu eta ekoizpen-kostuak murriztu ditzake.
▪Metalezko interkonexioen errendimendua hobetu:Damaskinatze bikoitzeko prozesuak metalezko interkonexio estuagoak lor ditzake, eta horrela zirkuituen integrazioa eta errendimendua hobetu.
▪Parasitoen kapazitantzia eta erresistentzia murriztu:k baxuko material dielektriko erabiliz eta metalezko interkonexioen egitura optimizatuz, kapazitantzia eta erresistentzia parasitoak murriztu daitezke, zirkuituen abiadura eta energia-kontsumoaren errendimendua hobetuz.
Argitaratze data: 2024ko azaroaren 25a