የሲኤምፒ የፕላናሪዜሽን ዘዴ ምንድን ነው?

ባለሁለት ዳማሴኔ በተቀናጁ ወረዳዎች ውስጥ የብረት ግንኙነቶችን ለማምረት የሚያገለግል የሂደት ቴክኖሎጂ ነው። የደማስቆ ሂደት ተጨማሪ እድገት ነው። በተመሳሳይ የሂደት ደረጃ በተመሳሳይ ጊዜ በቀዳዳዎች እና ጎድጓዶች ውስጥ በመፍጠር እና በብረት በመሙላት፣ የተቀናጀ የብረት ግንኙነቶች ማምረት እውን ይሆናል።

ለምን ደማስቆ ይባላል?

የደማስቆ ከተማ የሶሪያ ዋና ከተማ ስትሆን የደማስቆ ሰይፎች በሹልነታቸው እና በሚያምር ሸካራነታቸው ይታወቃሉ። አንድ ዓይነት የማስገቢያ ሂደት ያስፈልጋል፡ በመጀመሪያ፣ የሚፈለገው ንድፍ በደማስቆ ብረት ወለል ላይ ተቀርጾ፣ እና አስቀድሞ የተዘጋጁት ቁሳቁሶች በተቀረጹት ጎድጓዶች ውስጥ በጥብቅ ተቀርጸዋል። ማስገቢያው ከተጠናቀቀ በኋላ፣ ወለሉ ትንሽ ያልተስተካከለ ሊሆን ይችላል። የእጅ ባለሙያው አጠቃላይ ለስላሳነቱን ለማረጋገጥ በጥንቃቄ ያጸዳዋል። እና ይህ ሂደት የቺፑ ሁለት የደማስቆ ሂደት ምሳሌ ነው። በመጀመሪያ፣ ጎድጓዶች ወይም ቀዳዳዎች በዲኤሌክትሪክ ንብርብር ውስጥ ተቀርጸው ከዚያም ብረት በውስጣቸው ይሞላል። ከተሞላ በኋላ፣ ከመጠን በላይ የሆነው ብረት በcmp ይወገዳል።

የሁለትዮሽ ዳማስኬን ሂደት ዋና ዋና ደረጃዎች የሚከተሉትን ያካትታሉ:

▪ የዲኤሌክትሪክ ንብርብር አቀማመጥ፡

እንደ ሲሊኮን ዳይኦክሳይድ (SiO2) ያሉ ዳይኤሌክትሪክ ቁሶችን ንብርብር በሴሚኮንዳክተር ላይ ያስቀምጡዋፈር.

▪ ንድፉን ለመግለጽ የፎቶሊቶግራፊ፡

በዲኤሌክትሪክ ንብርብር ላይ የቪያዎች እና የመርከቦች ንድፍ ለመግለጽ ፎቶሊቶግራፊን ይጠቀሙ።

▪ቅርፊት:

የቪያዎችን እና የመርከቦችን ንድፍ በደረቅ ወይም እርጥብ የመቅረጽ ሂደት ወደ ዳይኤሌክትሪክ ንብርብር ያስተላልፉ።

▪ የብረት አቀማመጥ፡

እንደ መዳብ (Cu) ወይም አሉሚኒየም (Al) ያሉ ብረቶችን በቫይስ እና ቦይ ውስጥ በማስቀመጥ የብረት ትስስር ይፈጥራሉ።

▪ የኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽንግ

ከመጠን በላይ ብረትን ለማስወገድ እና ወለሉን ለማለስለስ የብረት ወለል ኬሚካል ሜካኒካል ማጥራት።

ከባህላዊው የብረት ትስስር ማምረቻ ሂደት ጋር ሲነጻጸር፣ ባለሁለት ዳማሴን ሂደት የሚከተሉት ጥቅሞች አሉት፡

▪የተቃለሉ የሂደት ደረጃዎች፡በተመሳሳይ የሂደት ደረጃ ላይ ቪያዎችን እና ቦይዎችን በአንድ ጊዜ በመፍጠር የሂደቱ ደረጃዎች እና የማምረቻ ጊዜ ይቀንሳሉ።

▪ የተሻሻለ የማኑፋክቸሪንግ ቅልጥፍና፡የሂደት ደረጃዎች በመቀነሱ ምክንያት፣ የሁለትዮሽ ዳማሴኔ ሂደት የማኑፋክቸሪንግ ቅልጥፍናን ሊያሻሽል እና የምርት ወጪዎችን ሊቀንስ ይችላል።

▪የብረት ማያያዣዎችን አፈጻጸም ማሻሻል፡የሁለትዮሽ ዳማሴን ሂደት ጠባብ የብረት ግንኙነቶችን ሊያመጣ ይችላል፣ በዚህም የወረዳዎችን ውህደት እና አፈፃፀም ያሻሽላል።

▪የጥገኛ አቅምን እና የመቋቋም አቅምን ይቀንሱ፡ዝቅተኛ-ኪ.ሜ ዳይኤሌክትሪክ ቁሳቁሶችን በመጠቀም እና የብረት ግንኙነቶችን አወቃቀር በማመቻቸት፣ የፓራሳይቲክ አቅም እና የመቋቋም አቅም መቀነስ ይቻላል፣ ይህም የወረዳዎችን ፍጥነት እና የኃይል ፍጆታ አፈፃፀም ያሻሽላል።