ডুয়াল-ডামাসিন হল একটি প্রক্রিয়া প্রযুক্তি যা ইন্টিগ্রেটেড সার্কিটে ধাতব আন্তঃসংযোগ তৈরিতে ব্যবহৃত হয়। এটি দামাস্কাস প্রক্রিয়ার আরও একটি বিকাশ। একই প্রক্রিয়া ধাপে একই সময়ে গর্ত এবং খাঁজ তৈরি করে এবং ধাতু দিয়ে সেগুলি পূরণ করে, ধাতব আন্তঃসংযোগের সমন্বিত উৎপাদন বাস্তবায়িত হয়।
দামেস্ক কেন বলা হয়?
দামেস্ক শহর সিরিয়ার রাজধানী, এবং দামেস্কের তরবারিগুলি তাদের তীক্ষ্ণতা এবং সূক্ষ্ম গঠনের জন্য বিখ্যাত। এক ধরণের ইনলে প্রক্রিয়া প্রয়োজন: প্রথমে, দামেস্ক স্টিলের পৃষ্ঠে প্রয়োজনীয় প্যাটার্ন খোদাই করা হয় এবং পূর্বে প্রস্তুত উপকরণগুলি খোদাই করা খাঁজে শক্তভাবে ঢোকানো হয়। ইনলে সম্পন্ন হওয়ার পরে, পৃষ্ঠটি কিছুটা অসমান হতে পারে। কারিগর সামগ্রিক মসৃণতা নিশ্চিত করার জন্য এটিকে সাবধানে পালিশ করবেন। এবং এই প্রক্রিয়াটি চিপের দ্বৈত দামেস্ক প্রক্রিয়ার প্রোটোটাইপ। প্রথমে, ডাইইলেক্ট্রিক স্তরে খাঁজ বা গর্ত খোদাই করা হয়, এবং তারপরে ধাতু পূরণ করা হয়। ভর্তি করার পরে, অতিরিক্ত ধাতু cmp দ্বারা সরানো হবে।
দ্বৈত ড্যামাসিন প্রক্রিয়ার প্রধান ধাপগুলির মধ্যে রয়েছে:
▪ ডাইইলেক্ট্রিক স্তরের জমা:
সেমিকন্ডাক্টরের উপর সিলিকন ডাই অক্সাইড (SiO2) এর মতো ডাইইলেক্ট্রিক উপাদানের একটি স্তর জমা করুনওয়েফার.
▪ প্যাটার্ন নির্ধারণের জন্য ফটোলিথোগ্রাফি:
ডাইইলেক্ট্রিক স্তরে ভায়া এবং ট্রেঞ্চের ধরণ নির্ধারণ করতে ফটোলিথোগ্রাফি ব্যবহার করুন।
▪খোদাই:
শুকনো বা ভেজা এচিং প্রক্রিয়ার মাধ্যমে ভায়া এবং ট্রেঞ্চের প্যাটার্ন ডাইইলেক্ট্রিক স্তরে স্থানান্তর করুন।
▪ ধাতুর জমা:
ধাতু আন্তঃসংযোগ তৈরির জন্য তামা (Cu) বা অ্যালুমিনিয়াম (Al) এর মতো ধাতু ভায়া এবং পরিখায় জমা করুন।
▪ রাসায়নিক যান্ত্রিক পলিশিং:
অতিরিক্ত ধাতু অপসারণ এবং পৃষ্ঠ সমতল করার জন্য ধাতব পৃষ্ঠের রাসায়নিক যান্ত্রিক পালিশ।
ঐতিহ্যবাহী ধাতব আন্তঃসংযোগ উৎপাদন প্রক্রিয়ার তুলনায়, দ্বৈত ড্যামাসিন প্রক্রিয়ার নিম্নলিখিত সুবিধা রয়েছে:
▪সরলীকৃত প্রক্রিয়া ধাপ:একই প্রক্রিয়া ধাপে একই সাথে ভায়া এবং পরিখা তৈরি করে, প্রক্রিয়া ধাপ এবং উৎপাদন সময় হ্রাস পায়।
▪উন্নত উৎপাদন দক্ষতা:প্রক্রিয়া ধাপগুলি হ্রাস করার কারণে, দ্বৈত ড্যামাসসিন প্রক্রিয়া উৎপাদন দক্ষতা উন্নত করতে পারে এবং উৎপাদন খরচ কমাতে পারে।
▪ধাতু আন্তঃসংযোগের কর্মক্ষমতা উন্নত করুন:দ্বৈত ড্যামাসিন প্রক্রিয়াটি সংকীর্ণ ধাতব আন্তঃসংযোগ অর্জন করতে পারে, যার ফলে সার্কিটগুলির ইন্টিগ্রেশন এবং কর্মক্ষমতা উন্নত হয়।
▪পরজীবী ধারণক্ষমতা এবং প্রতিরোধ ক্ষমতা হ্রাস করুন:লো-কে ডাইইলেক্ট্রিক উপকরণ ব্যবহার করে এবং ধাতব আন্তঃসংযোগের কাঠামো অপ্টিমাইজ করে, পরজীবী ক্যাপাসিট্যান্স এবং প্রতিরোধ ক্ষমতা হ্রাস করা যেতে পারে, যা সার্কিটের গতি এবং বিদ্যুৎ খরচ কর্মক্ষমতা উন্নত করে।
পোস্টের সময়: নভেম্বর-২৫-২০২৪