ডুয়াল-ডামাসিন হলো ইন্টিগ্রেটেড সার্কিটে ধাতব ইন্টারকানেক্ট তৈরির জন্য ব্যবহৃত একটি প্রসেস প্রযুক্তি। এটি ডামাস্কাস প্রসেসের একটি উন্নত সংস্করণ। একই প্রসেস ধাপে একই সাথে থ্রু হোল ও গ্রুভ তৈরি করে এবং সেগুলোকে ধাতু দিয়ে পূর্ণ করার মাধ্যমে ধাতব ইন্টারকানেক্টের সমন্বিত উৎপাদন বাস্তবায়িত হয়।
একে দামেস্ক বলা হয় কেন?
দামেস্ক শহর সিরিয়ার রাজধানী, এবং দামেস্কের তলোয়ারগুলো তাদের তীক্ষ্ণতা ও চমৎকার বুননের জন্য বিখ্যাত। এর জন্য এক ধরনের ইনলে প্রক্রিয়ার প্রয়োজন হয়: প্রথমে, দামেস্ক স্টিলের পৃষ্ঠে প্রয়োজনীয় নকশা খোদাই করা হয় এবং আগে থেকে প্রস্তুত করা উপাদানগুলো খোদাই করা খাঁজগুলোতে শক্তভাবে বসানো হয়। ইনলে সম্পন্ন হওয়ার পর, পৃষ্ঠটি কিছুটা অমসৃণ হতে পারে। কারিগর সামগ্রিক মসৃণতা নিশ্চিত করার জন্য এটিকে যত্ন সহকারে পালিশ করেন। এবং এই প্রক্রিয়াটিই হলো চিপের ডুয়াল দামেস্ক প্রক্রিয়ার আদি রূপ। প্রথমে, ডাইইলেকট্রিক স্তরে খাঁজ বা ছিদ্র খোদাই করা হয় এবং তারপর সেগুলোতে ধাতু ভরা হয়। ভরার পর, সিএমপি (CMP) দ্বারা অতিরিক্ত ধাতু অপসারণ করা হয়।
দ্বৈত দামাসিন প্রক্রিয়ার প্রধান ধাপগুলো হলো:
▪ ডাইইলেকট্রিক স্তরের প্রলেপ:
সেমিকন্ডাক্টরের উপর সিলিকন ডাইঅক্সাইড (SiO2)-এর মতো একটি ডাইইলেকট্রিক পদার্থের স্তর জমা করুন।ওয়েফার.
▪ নকশা নির্ধারণের জন্য ফটোলিথোগ্রাফি:
ডাইইলেকট্রিক স্তরের উপর ভায়া এবং ট্রেঞ্চের নকশা নির্ধারণ করতে ফটোলিথোগ্রাফি ব্যবহার করুন।
▪এচিং:
ড্রাই বা ওয়েট এচিং প্রক্রিয়ার মাধ্যমে ভায়াস এবং ট্রেঞ্চের প্যাটার্নটি ডাইইলেকট্রিক স্তরে স্থানান্তর করুন।
▪ ধাতুর অবক্ষেপণ:
ধাতব আন্তঃসংযোগ তৈরি করার জন্য ভায়া এবং ট্রেঞ্চে তামা (Cu) বা অ্যালুমিনিয়াম (Al)-এর মতো ধাতু জমা করা হয়।
▪ রাসায়নিক যান্ত্রিক পলিশিং:
ধাতব পৃষ্ঠ থেকে অতিরিক্ত ধাতু অপসারণ করে পৃষ্ঠতলকে সমতল করার জন্য রাসায়নিক যান্ত্রিক পলিশিং করা হয়।
প্রচলিত মেটাল ইন্টারকানেক্ট উৎপাদন প্রক্রিয়ার তুলনায় ডুয়াল ডামাসিন প্রক্রিয়ার নিম্নলিখিত সুবিধাগুলো রয়েছে:
▪সরলীকৃত প্রক্রিয়া ধাপসমূহ:একই প্রক্রিয়াকরণ ধাপে যুগপৎভাবে ভায়া ও ট্রেঞ্চ গঠন করার মাধ্যমে প্রক্রিয়াকরণের ধাপ এবং উৎপাদন সময় হ্রাস পায়।
▪উন্নত উৎপাদন দক্ষতা:প্রক্রিয়াকরণের ধাপ কমানোর ফলে, ডুয়াল ডামাসিন প্রক্রিয়া উৎপাদন দক্ষতা বাড়াতে এবং উৎপাদন খরচ কমাতে পারে।
▪মেটাল ইন্টারকানেক্টের কর্মক্ষমতা উন্নত করুন:ডুয়াল ডামাসিন প্রক্রিয়ার মাধ্যমে আরও সরু ধাতব আন্তঃসংযোগ তৈরি করা যায়, যার ফলে সার্কিটের ইন্টিগ্রেশন এবং কর্মক্ষমতা উন্নত হয়।
▪অপ্রাসঙ্গিক ক্যাপাসিট্যান্স এবং রেজিস্ট্যান্স হ্রাস করুন:লো-কে ডাইইলেকট্রিক উপাদান ব্যবহার করে এবং মেটাল ইন্টারকানেক্টের গঠন অপ্টিমাইজ করার মাধ্যমে প্যারাসাইটিক ক্যাপাসিট্যান্স ও রেজিস্ট্যান্স কমানো যায়, যা সার্কিটের গতি এবং বিদ্যুৎ খরচের কর্মক্ষমতা উন্নত করে।
পোস্ট করার সময়: ২৫ নভেম্বর, ২০২৪