Dual-Damasceen is in prosestechnology dy't brûkt wurdt om metalen ferbiningen te meitsjen yn yntegreare circuits. It is in fierdere ûntwikkeling fan it Damaskus-proses. Troch tagelyk trochgeande gatten en groeven te foarmjen yn deselde prosesstap en se te foljen mei metaal, wurdt de yntegreare fabrikaazje fan metalen ferbiningen realisearre.
Wêrom wurdt it Damaskus neamd?
De stêd Damaskus is de haadstêd fan Syrië, en Damaskus-swurden binne ferneamd om har skerpte en útsûnderlike tekstuer. In soarte ynlegproses is fereaske: earst wurdt it fereaske patroan gravearre op it oerflak fan Damaskus-stiel, en de foarôf taret materialen wurde strak yn 'e gravearre groeven ynlein. Nei't de ynleg foltôge is, kin it oerflak in bytsje ûngelikense wêze. De ambachtsman sil it foarsichtich poetse om de algemiene glêdens te garandearjen. En dit proses is it prototype fan it dûbele Damaskus-proses fan 'e chip. Earst wurde groeven of gatten yn 'e diëlektryske laach gravearre, en dan wurdt metaal deryn opfolle. Nei it opfoljen sil it oerstallige metaal fuorthelle wurde troch cmp.
De wichtichste stappen fan it dûbele damaskene proses omfetsje:
▪ Ofsetting fan diëlektryske laach:
Deponearje in laach diëlektrysk materiaal, lykas silisiumdiokside (SiO2), op 'e healgeleiderwafel.
▪ Fotolitografy om it patroan te definiearjen:
Brûk fotolitografy om it patroan fan vias en sleatten op 'e diëlektryske laach te definiearjen.
▪Etsen:
Oerdrage it patroan fan vias en sleatten nei de diëlektryske laach troch in droech of wiet etsproses.
▪ Ofsetting fan metaal:
Deponearje metaal, lykas koper (Cu) of aluminium (Al), yn vias en sleatten om metalen ferbiningen te foarmjen.
▪ Gemysk-meganysk polijsten:
Gemysk-meganysk polearjen fan it metalen oerflak om oerstallich metaal te ferwiderjen en it oerflak plat te meitsjen.
Yn ferliking mei it tradisjonele produksjeproses fan metalen ferbiningen hat it dûbele damaskene proses de folgjende foardielen:
▪Ferienfâldige prosesstappen:troch it tagelyk foarmjen fan vias en sleatten yn deselde prosesstap, wurde de prosesstappen en de produksjetiid fermindere.
▪Ferbettere produksjeeffisjinsje:troch de reduksje fan prosesstappen kin it dûbele damaskene proses de produksjeeffisjinsje ferbetterje en de produksjekosten ferminderje.
▪Ferbetterje de prestaasjes fan metalen ferbiningen:it dûbele damaskene proses kin smeller metalen ynterferbiningen berikke, wêrtroch't de yntegraasje en prestaasjes fan circuits ferbettere wurde.
▪Ferminderje parasitêre kapasitânsje en wjerstân:troch it brûken fan leech-k diëlektryske materialen en it optimalisearjen fan 'e struktuer fan metalen ynterferbiningen, kinne parasitêre kapasitans en wjerstân wurde fermindere, wêrtroch't de snelheid en enerzjyferbrûkprestaasjes fan circuits wurde ferbettere.
Pleatsingstiid: 25 novimber 2024