Дугона-Дамаск технологияи равандест, ки барои истеҳсоли пайвасткунакҳои металлӣ дар схемаҳои интегралӣ истифода мешавад. Ин як таҳаввулоти минбаъдаи раванди Дамаск аст. Бо роҳи ташкил кардани сӯрохиҳо ва чуқурчаҳо дар як вақт дар як марҳилаи раванд ва пур кардани онҳо бо металл, истеҳсоли интегралии пайвасткунакҳои металлӣ амалӣ карда мешавад.
Чаро онро Димишқ меноманд?
Шаҳри Димишқ пойтахти Сурия аст ва шамшерҳои Димишқ бо тезӣ ва бофтаи зебои худ машҳуранд. Як навъ раванди инкрустатсия лозим аст: аввал, нақши зарурӣ дар рӯи пӯлоди Димишқ кандакорӣ карда мешавад ва маводҳои пешакӣ омодашуда ба чуқуриҳои кандакорӣ сахт инкрустатсия карда мешаванд. Пас аз анҷоми инкрустатсия, сатҳ метавонад каме нобаробар бошад. Устод онро бодиққат сайқал медиҳад, то ҳамвории умумиро таъмин кунад. Ва ин раванд прототипи раванди дугонаи Димишқи чип мебошад. Аввалан, чуқуриҳо ё сӯрохиҳо дар қабати диэлектрикӣ кандакорӣ карда мешаванд ва сипас металл дар онҳо пур карда мешавад. Пас аз пур кардан, металли зиёдатӣ бо cmp тоза карда мешавад.
Марҳилаҳои асосии раванди дугонаи дамаскӣ инҳоянд:
▪ Ҷойгиршавии қабати диэлектрикӣ:
Дар болои нимноқил қабати маводи диэлектрикӣ, ба монанди диоксиди кремний (SiO2)-ро гузоредвафли.
▪ Фотолитография барои муайян кардани нақш:
Барои муайян кардани нақши виаҳо ва хандақҳо дар қабати диэлектрикӣ аз фотолитография истифода баред.
▪Канкорӣ:
Нақшаи виасҳо ва хандақҳоро ба қабати диэлектрикӣ тавассути раванди кандакории хушк ё тар интиқол диҳед.
▪ Ҷойгиркунии металл:
Металл, ба монанди мис (Cu) ё алюминий (Al),-ро дар сӯрохиҳо ва хандақҳо ҷойгир кунед, то пайвандҳои металлӣ ташкил кунанд.
▪ Сайқалдиҳии механикии кимиёвӣ:
Сайқалдиҳии механикии кимиёвии сатҳи металл барои тоза кардани металли зиёдатӣ ва ҳамвор кардани сатҳ.
Дар муқоиса бо раванди анъанавии истеҳсоли пайвасткунакҳои металлӣ, раванди дугонаи дамаскӣ бартариҳои зеринро дорад:
▪Қадамҳои соддакардашудаи раванд:бо роҳи ташкил кардани виасҳо ва хандақҳо ҳамзамон дар як марҳилаи раванд, марҳилаҳои раванд ва вақти истеҳсолӣ кам карда мешаванд.
▪Беҳтар кардани самаранокии истеҳсолот:аз сабаби кам кардани қадамҳои раванд, раванди дугонаи дамаскӣ метавонад самаранокии истеҳсолотро беҳтар кунад ва хароҷоти истеҳсолотро кам кунад.
▪Беҳтар кардани кори пайвасткунакҳои металлӣ:Раванди дугонаи дамаскӣ метавонад ба пайвастҳои тангтари металлӣ ноил гардад ва бо ин васила ҳамгироӣ ва кори схемаҳоро беҳтар созад.
▪Коҳиш додани иқтидор ва муқовимати паразитӣ:Бо истифода аз маводҳои диэлектрикии паст-k ва беҳтар кардани сохтори пайвасткунакҳои металлӣ, иқтидор ва муқовимати паразитиро кам кардан мумкин аст, ки суръат ва самаранокии истеъмоли қувваи барқро дар схемаҳо беҳтар мекунад.
Вақти нашр: 25 ноябри соли 2024