’S e teicneòlas pròiseas a th’ ann an Dual-Damascene a thathas a’ cleachdadh gus ceanglaichean meatailt a dhèanamh ann an cuairtean amalaichte. ’S e leasachadh a bharrachd a th’ ann air pròiseas Damascus. Le bhith a’ cruthachadh thuill is claisean aig an aon àm san aon cheum pròiseis agus gan lìonadh le meatailt, thèid saothrachadh amalaichte cheanglaichean meatailt a thoirt gu buil.
Carson a chanar Damascus ris?
’S e baile Damascus prìomh-bhaile Shiria, agus tha claidheamhan Damascus ainmeil airson an geur-chruth agus an inneach eireachdail. Feumar seòrsa de phròiseas in-leaghaidh: an toiseach, thèid am pàtran a tha a dhìth a ghràbhaladh air uachdar stàilinn Damascus, agus thèid na stuthan ro-ullaichte a chuir a-steach gu teann anns na claisean gràbhalaichte. Às deidh an in-leaghaidh a chrìochnachadh, is dòcha gu bheil an uachdar beagan neo-chothromach. Bidh an neach-ciùird ga lìomhadh gu faiceallach gus dèanamh cinnteach à rèidhlean iomlan. Agus is e am pròiseas seo prototype de phròiseas dùbailte Damascus a’ chip. An toiseach, thèid claisean no tuill a ghràbhaladh anns an t-sreath dielectric, agus an uairsin thèid meatailt a lìonadh annta. Às deidh lìonadh, thèid an cus meatailt a thoirt air falbh le cmp.
Seo na prìomh cheumannan sa phròiseas dà-damascene:
▪ Tasgadh sreath dielectric:
Cuir sreath de stuth dielectric, leithid silicon dà-ogsaid (SiO2), air an leth-chonnsairuaifle.
▪ Fotolithagrafaidheachd gus am pàtran a mhìneachadh:
Cleachd fotolithagrafaidheachd gus pàtran nan vias agus nan claisean air an t-sreath dielectric a mhìneachadh.
▪Greanadh:
Gluais pàtran nan vias agus nan trannsaichean chun an t-sreath dielectric tro phròiseas gràbhaladh tioram no fliuch.
▪ Tasgadh meatailt:
Cuir meatailt, leithid copar (Cu) no alùmanum (Al), ann am viathan agus claisean gus ceanglaichean meatailt a chruthachadh.
▪ Snasadh ceimigeach meacanaigeach:
Snasadh ceimigeach meacanaigeach uachdar meatailt gus cus meatailt a thoirt air falbh agus an uachdar a dhèanamh rèidh.
An coimeas ris a’ phròiseas saothrachaidh ceangail meatailt traidiseanta, tha na buannachdan a leanas aig a’ phròiseas damascene dùbailte:
▪Ceumannan pròiseas sìmplidh:Le bhith a’ cruthachadh vias agus trannsaichean aig an aon àm san aon cheum den phròiseas, tha na ceumannan pròiseis agus an ùine saothrachaidh air an lughdachadh.
▪Èifeachdas saothrachaidh nas fheàrr:air sgàth lùghdachadh cheumannan a’ phròiseis, faodaidh am pròiseas damascene dùbailte èifeachdas saothrachaidh a leasachadh agus cosgaisean cinneasachaidh a lughdachadh.
▪Leasaich coileanadh cheanglaichean meatailt:faodaidh am pròiseas damascene dùbailte ceanglaichean meatailt nas cumhainge a choileanadh, agus mar sin a’ leasachadh amalachadh agus coileanadh chuairtean.
▪Lùghdaich comas agus strì an aghaidh parasait:Le bhith a’ cleachdadh stuthan dielectric ìosal-k agus a’ leasachadh structar cheanglaichean meatailt, faodar comas agus strì an aghaidh parasait a lùghdachadh, a’ leasachadh astar agus coileanadh caitheamh cumhachd chuairtean.
Àm puist: 25 dhen t-Samhain 2024