CMP-niň tekizleşme mehanizmi näme?

Iki Damaskly tehnologiýa integral mikrosxemalarda metal birleşdirijileri öndürmek üçin ulanylýan tehnologiýadyr. Bu Damask prosesiniň mundan beýläk-de ösdürilmegidir. Şol bir proses tapgyrynda bir wagtyň özünde deşikler we oýuklar emele getirip, olary metal bilen doldurmak arkaly metal birleşdirijileriniň integral önümçiligi amala aşyrylýar.

Näme üçin oňa Damask diýilýär?

Damask şäheri Siriýanyň paýtagtydyr we Damask gylyçlary öz ýitiligi we ajaýyp teksturasy bilen meşhurdyr. Bir görnüşli inkrustasiýa prosesi gerek: ilki bilen, zerur nusga Damask polatynyň ýüzüne oýulyp ýazylýar we öňünden taýýarlanan materiallar oýulan oýuklara berk inkrustasiýa edilýär. Inkrustasiýa tamamlanandan soň, ýüzi biraz deňsiz bolup biler. Ussa umumy tekizligi üpjün etmek üçin ony üns bilen jylaýar. Bu proses bolsa çipiň iki sany Damask prosesiniň nusgasydyr. Ilki bilen, dielektrik gatlaga oýuklar ýa-da deşikler oýulyp ýazylýar, soňra olar metal bilen doldurylýar. Doldurylandan soň, artykmaç metal cmp bilen aýrylýar.

Iki damas prosesiniň esasy ädimleri aşakdakylary öz içine alýar:

▪ Dielektrik gatlagyň çökmegi:

Ýarymgeçirijiniň üstüne kremniý dioksidi (SiO2) ýaly dielektrik material gatlagyny goýuňwafer.

▪ Nusgany kesgitlemek üçin fotolitografiýa:

Dielektrik gatlakdaky wiaslaryň we hendekleriň nagyşyny kesgitlemek üçin fotolitografiýany ulanyň.

▪Oýmak:

Gury ýa-da çygly aşındyrma prosesi arkaly wiaslaryň we hendekleriň nusgasyny dielektrik gatlaga geçiriň.

▪ Metalyň çökmegi:

Metall birleşdirijilerini emele getirmek üçin mis (Cu) ýa-da alýumin (Al) ýaly metallary geçirijilere we hendeklere goýuň.

▪ Himiki mehaniki jylamak:

Metallyň ýüzüni himiki mehaniki jylamak arkaly artykmaç metaly aýyrmak we ýüzüni tekizlemek.

Adaty metal birleşdiriji önümçilik prosesi bilen deňeşdirilende, iki damas prosesi aşakdaky artykmaçlyklara eýedir:

▪Ýönekeýleşdirilen proses ädimleri:şol bir proses tapgyrynda bir wagtda geçelgeleri we hendekleri döretmek arkaly proses tapgyrlary we önümçilik wagty azaldylýar.

▪Öndüriş netijeliliginiň ýokarlanmagy:proses basgançaklarynyň azalmagy sebäpli, iki damas prosesi önümçilik netijeliligini ýokarlandyryp we önümçilik çykdajylaryny azaldyp biler.

▪ Metall birleşdirijileriniň işini gowulandyryň:goşa damas prosesi has dar metal birleşdirmeleri gazanyp biler, şeýdip zynjyrlaryň integrasiýasyny we işini gowulandyrýar.

▪ Parazitleriň kuwwatyny we garşylygyny azaldyň:Pes k dielektrik materiallary ulanmak we metal birleşdirijileriniň gurluşyny optimizirlemek arkaly parazit kuwwatlylygy we garşylygy azaldyp, zynjyrlaryň tizligini we energiýa sarp edilişini gowulandyryp bolýar.