Mae Deuol-Damascen yn dechnoleg broses a ddefnyddir i gynhyrchu rhyng-gysylltiadau metel mewn cylchedau integredig. Mae'n ddatblygiad pellach o broses Damascus. Trwy ffurfio tyllau trwodd a rhigolau ar yr un pryd yn yr un cam proses a'u llenwi â metel, gwireddir gweithgynhyrchu integredig rhyng-gysylltiadau metel.
Pam ei fod yn cael ei alw'n Damascus?
Dinas Damascus yw prifddinas Syria, ac mae cleddyfau Damascus yn enwog am eu miniogrwydd a'u gwead coeth. Mae angen rhyw fath o broses fewnosod: yn gyntaf, mae'r patrwm gofynnol yn cael ei ysgythru ar wyneb dur Damascus, ac mae'r deunyddiau wedi'u paratoi ymlaen llaw yn cael eu mewnosod yn dynn i'r rhigolau wedi'u hysgythru. Ar ôl cwblhau'r mewnosodiad, gall yr wyneb fod ychydig yn anwastad. Bydd y crefftwr yn ei sgleinio'n ofalus i sicrhau'r llyfnder cyffredinol. A'r broses hon yw prototeip proses ddeuol Damascus y sglodion. Yn gyntaf, mae rhigolau neu dyllau yn cael eu hysgythru yn yr haen dielectrig, ac yna mae metel yn cael ei lenwi ynddynt. Ar ôl ei lenwi, bydd y metel gormodol yn cael ei dynnu trwy cmp.
Mae prif gamau'r broses damascene ddeuol yn cynnwys:
▪ Dyddodiad haen dielectrig:
Adneuwch haen o ddeunydd dielectrig, fel silicon deuocsid (SiO2), ar y lled-ddargludyddwaffer.
▪ Ffotolithograffeg i ddiffinio'r patrwm:
Defnyddiwch ffotolithograffeg i ddiffinio patrwm y vias a'r ffosydd ar yr haen dielectrig.
▪Ysgythru:
Trosglwyddwch batrwm y vias a'r ffosydd i'r haen dielectrig trwy broses ysgythru sych neu wlyb.
▪ Dyddodiad metel:
Dyddodwch fetel, fel copr (Cu) neu alwminiwm (Al), mewn vias a ffosydd i ffurfio rhyng-gysylltiadau metel.
▪ Sgleinio cemegol mecanyddol:
Sgleinio cemegol mecanyddol arwyneb y metel i gael gwared â metel gormodol a gwastadu'r wyneb.
O'i gymharu â'r broses weithgynhyrchu rhyng-gysylltiedig metel draddodiadol, mae gan y broses damascene ddeuol y manteision canlynol:
▪Camau proses symlach:drwy ffurfio vias a ffosydd ar yr un pryd yn yr un cam proses, mae'r camau proses a'r amser gweithgynhyrchu yn cael eu lleihau.
▪Effeithlonrwydd gweithgynhyrchu gwell:oherwydd y gostyngiad mewn camau proses, gall y broses damascene ddeuol wella effeithlonrwydd gweithgynhyrchu a lleihau costau cynhyrchu.
▪Gwella perfformiad rhyng-gysylltiadau metel:gall y broses damascene deuol gyflawni rhyng-gysylltiadau metel culach, a thrwy hynny wella integreiddio a pherfformiad cylchedau.
▪Lleihau cynhwysedd a gwrthiant parasitig:drwy ddefnyddio deunyddiau dielectrig k isel ac optimeiddio strwythur rhyng-gysylltiadau metel, gellir lleihau cynhwysedd a gwrthiant parasitig, gan wella cyflymder a pherfformiad defnydd pŵer cylchedau.
Amser postio: Tach-25-2024