ʻO Dual-Damascene kahi ʻenehana hana i hoʻohana ʻia no ka hana ʻana i nā mea hoʻopili metala i loko o nā kaapuni i hoʻohui ʻia. He hoʻomohala hou ia o ke kaʻina hana Damascus. Ma ka hana ʻana ma o nā lua a me nā ʻauwaha i ka manawa like ma ke kaʻina hana like a me ka hoʻopiha ʻana iā lākou me ka metala, ua hoʻokō ʻia ka hana hoʻohui ʻia o nā mea hoʻopili metala.
No ke aha i kapa ʻia ai ʻo Damaseko?
ʻO ke kūlanakauhale ʻo Damaseko ke kapikala o Suria, a ua kaulana nā pahi kaua Damaseko no ko lākou ʻoi a me ke ʻano maikaʻi loa. Pono kekahi ʻano hana inlay: ʻo ka mea mua, ua kahakaha ʻia ke ʻano i koi ʻia ma ka ʻili o ke kila Damaseko, a ua hoʻokomo pono ʻia nā mea i hoʻomākaukau mua ʻia i loko o nā ʻauwaha i kālai ʻia. Ma hope o ka pau ʻana o ke inlay, he ʻano ʻē iki paha ka ʻili. E hoʻowali pono ka mea hana lima iā ia e hōʻoia i ka laumania holoʻokoʻa. A ʻo kēia kaʻina hana ke kumu hoʻohālike o ke kaʻina hana Damaseko pālua o ka ʻāpana. ʻO ka mea mua, ua kahakaha ʻia nā ʻauwaha a i ʻole nā lua i loko o ka papa dielectric, a laila hoʻopiha ʻia ka metala i loko o lākou. Ma hope o ka hoʻopiha ʻana, e wehe ʻia ka metala keu e cmp.
ʻO nā ʻanuʻu nui o ke kaʻina hana damascene pālua:
▪ Ka waiho ʻana o ka papa dielectric:
E waiho i kahi papa o nā mea dielectric, e like me ka silicon dioxide (SiO2), ma luna o ka semiconductorwafer.
▪ Kiʻi kiʻi e wehewehe i ke ʻano:
E hoʻohana i ka photolithography e wehewehe i ke ʻano o nā vias a me nā ʻauwaha ma ka papa dielectric.
▪Ke kālai ʻana:
E hoʻoili i ke ʻano o nā vias a me nā ʻauwaha i ka papa dielectric ma o ke kaʻina hana etching maloʻo a pulu paha.
▪ Ka waiho ʻana o ka metala:
E waiho i ka metala, e like me ke keleawe (Cu) a i ʻole ka alumini (Al), i loko o nā vias a me nā ʻauwaha e hana i nā pilina metala.
▪ Ka hoʻowali kemikala mīkini:
Ka hoʻowali kemika mechanical o ka ʻili metala e wehe i ka metala keu a hoʻopālahalaha i ka ʻili.
Ke hoʻohālikelike ʻia me ke kaʻina hana hana interconnect metala kuʻuna, loaʻa i ke kaʻina hana damascene pālua nā pono penei:
▪Nā ʻanuʻu hana i hoʻomaʻalahi ʻia:ma ka hana ʻana i nā vias a me nā ʻauwaha i ka manawa like i ka hana like, ua hoʻemi ʻia nā ʻanuʻu hana a me ka manawa hana.
▪Hoʻomaikaʻi ʻia ka pono hana:ma muli o ka hōʻemi ʻana o nā ʻanuʻu hana, hiki i ke kaʻina hana damascene pālua ke hoʻomaikaʻi i ka pono hana a hoʻemi i nā kumukūʻai hana.
▪Hoʻomaikaʻi i ka hana o nā mea hoʻohui metala:hiki i ke kaʻina hana damascene pālua ke hoʻokō i nā interconnect metala haiki, no laila e hoʻomaikaʻi ai i ka hoʻohui ʻana a me ka hana o nā kaapuni.
▪E hōʻemi i ka capacitance parasitic a me ke kū'ē:Ma ka hoʻohana ʻana i nā mea dielectric haʻahaʻa-k a me ka hoʻonui ʻana i ke ʻano o nā interconnect metala, hiki ke hoʻemi ʻia ka capacitance parasitic a me ke kū'ē, e hoʻomaikaʻi ana i ka wikiwiki a me ka hana hoʻohana mana o nā kaapuni.
Ka manawa hoʻouna: Nov-25-2024