Teknolojia iray ampiasaina amin'ny fanamboarana "interconnects" metaly ao anaty "circuit integrées" ny Dual-Damascene. Fampandrosoana fanampiny amin'ny "process" Damascus izany. Amin'ny alalan'ny fanamboarana lavaka sy lavaka miaraka amin'ny dingana mitovy sy famenoana azy ireo amin'ny metaly, dia tanteraka ny fanamboarana "interconnects" metaly mitambatra.
Nahoana no antsoina hoe Damaskosy izy io?
Renivohitr'i Syria ny tanànan'i Damaskosy, ary malaza amin'ny hamafin'ny endriny sy ny endriny kanto ny sabatra Damaskosy. Ilaina ny karazana fomba fametrahana: voalohany, voasokitra eo amin'ny velaran'ny vy Damaskosy ny lamina ilaina, ary ampidirina mafy ao anatin'ireo lavaka voasokitra ireo fitaovana efa voaomana. Rehefa vita ny fametrahana, dia mety ho somary tsy mitovy ny velarany. Hopolesin'ny mpanao asa tanana tsara izany mba hahazoana antoka fa malama tsara. Ary ity fomba fiasa ity no prototype amin'ny fomba fiasan'ny puce Damaskosy roa sosona. Voalohany, voasokitra ao amin'ny sosona dielektrika ny lavaka na lavaka, ary avy eo dia fenoina metaly. Rehefa avy fenoina, dia hesorina amin'ny cmp ny metaly be loatra.
Ireto avy ireo dingana lehibe amin'ny fanaovana "double damascene":
▪ Fametrahana ny sosona dielektrika:
Mametraha sosona fitaovana dielektrika, toy ny silikônina dioksida (SiO2), eo amin'ny semiconductormofo manify.
▪ Fotolitografia mba hamaritana ny lamina:
Ampiasao ny photolithography mba hamaritana ny lamina misy ny vias sy ny hady eo amin'ny sosona dielectric.
▪Fanodinana:
Afindrao mankany amin'ny sosona dielektrika ny lamina amin'ny vias sy hady kely amin'ny alàlan'ny dingana fanesorana maina na lena.
▪ Fametrahana metaly:
Apetraho ao anaty vias sy hady ny metaly, toy ny varahina (Cu) na aliminioma (Al), mba hamorona fifandraisana metaly.
▪ Fanadiovana simika sy mekanika:
Fanadiovana simika sy mekanika ny velaran'ny metaly mba hanesorana ny metaly be loatra sy hampitovy azy amin'ny mahazatra.
Raha ampitahaina amin'ny fomba fanamboarana metaly mifamatotra nentim-paharazana, ny fomba fanamboarana damascene roa dia manana ireto tombony manaraka ireto:
▪Dingana tsotra:Amin'ny alalan'ny fananganana vias sy hady miaraka amin'ny dingana iray ihany, dia mihena ny dingana sy ny fotoana fanamboarana.
▪Fanatsarana ny fahombiazan'ny famokarana:Noho ny fihenan'ny dingana samihafa amin'ny fizotran'ny asa, ny fizotran'ny damascene roa sosona dia afaka manatsara ny fahombiazan'ny famokarana sy mampihena ny vidin'ny famokarana.
▪Manatsara ny fahombiazan'ny fifandraisana metaly:Ny fizotran'ny damascene roa sosona dia afaka mahatratra fifandraisana metaly tery kokoa, ka manatsara ny fampidirana sy ny fahombiazan'ny fizaran-tany.
▪Ampihena ny capacitance sy ny fanoherana ny parasitika:Amin'ny alalan'ny fampiasana fitaovana dielektrika ambany-k sy ny fanatsarana ny rafitry ny fifandraisana metaly, dia azo ahena ny capacitance sy ny fanoherana parasitika, ka manatsara ny hafainganam-pandeha sy ny fanjifana herinaratra amin'ny fizaran-tany.
Fotoana fandefasana: 25 Novambra 2024