Kedu usoro nhazi nke CMP?

Dual-Damascene bụ teknụzụ usoro eji emepụta njikọ ígwè na sekit agbakwunyere. Ọ bụ mmepe ọzọ nke usoro Damaskọs. Site n'ịkpụpụta site na oghere na oghere n'otu oge n'otu usoro usoro ahụ ma jupụta ha na ígwè, a na-arụpụta mmepụta njikọ ígwè ejikọtara ọnụ.

Gịnị mere e ji kpọọ ya Damaskọs?

Obodo Damaskọs bụ isi obodo Siria, mma agha Damaskọs a ma ama maka ịdị nkọ ha na ịdị mma ha. A chọrọ ụdị usoro inlay: nke mbụ, a na-akpụ ihe nlereanya achọrọ n'elu ígwè Damaskọs, a na-etinyekwa ihe ndị e kwadebere nke ọma n'ime oghere ndị a kpụrụ akpụ. Mgbe emechara inlay ahụ, elu ya nwere ike ịdị ntakịrị na-adịghị nhata. Onye ọrụ aka ga-eji nlezianya tee ya iji hụ na ọ dị ire ụtọ n'ozuzu ya. Usoro a bụkwa ihe atụ nke usoro Damaskọs abụọ nke chip ahụ. Nke mbụ, a na-akpụ oghere ma ọ bụ oghere n'ime oyi akwa dielectric, wee jupụta ígwè na ha. Mgbe e jupụtachara ya, a ga-ewepụ ígwè karịrị akarị site na cmp.

Nzọụkwụ ndị bụ isi nke usoro mmebi abụọ gụnyere:

▪ Mwepụ nke oyi akwa dielectric:

Debe akwa ihe dielectric, dị ka silicon dioxide (SiO2), na semiconductorwafer.

▪ Fotolithography iji kọwaa ụkpụrụ ahụ:

Jiri fotolithography kọwaa usoro nke vias na trenches na oyi akwa dielectric.

▪Ịkpụcha ihe:

Bufee usoro nke vias na trenches na oyi akwa dielectric site na usoro ịcha akọrọ ma ọ bụ mmiri mmiri.

▪ Mwepụ nke ígwè:

Debe ígwè, dị ka ọla kọpa (Cu) ma ọ bụ aluminom (Al), n'ime ụzọ na olulu iji mepụta njikọ ígwè.

▪ Ịkpụcha kemịkalụ n'ime igwe:

Ịkpụcha ígwè ahụ site n'iji kemịkalụ mee ka ọ dị ọcha iji wepụ ihe karịrị akarị ma mee ka ọ dị larịị.

Ma e jiri ya tụnyere usoro mmepụta njikọ ígwè ọdịnala, usoro damascene abụọ nwere uru ndị a:

▪ Usoro usoro dị mfe:site n'ịmepụta vias na trenches n'otu oge n'otu usoro ahụ, usoro usoro na oge mmepụta na-ebelata.

▪Mmepụta arụmọrụ ka mma:n'ihi mbelata nke usoro usoro, usoro damascene abụọ nwere ike ime ka arụmọrụ mmepụta dịkwuo mma ma belata ọnụ ahịa mmepụta.

▪Melite arụmọrụ nke njikọ ígwè:Usoro mmebi abụọ ahụ nwere ike ime ka njikọ ígwè dị warara, si otú a melite njikọta na arụmọrụ nke sekit.

▪Belata ikike na iguzogide nje ndị na-akpata ọrịa:Site n'iji ihe dielectric dị ala-k na ime ka nhazi nke njikọ ígwè dịkwuo mma, enwere ike ibelata ikike parasitic na iguzogide, na-eme ka ọsọ na arụmọrụ ike nke sekit dịkwuo mma.