Dual-Damascene nyaéta téknologi prosés anu dianggo pikeun ngadamel interkoneksi logam dina sirkuit terpadu. Ieu mangrupikeun pamekaran salajengna tina prosés Damaskus. Ku cara ngabentuk liang sareng alur dina waktos anu sami dina léngkah prosés anu sami sareng ngeusianana ku logam, manufaktur interkoneksi logam anu terpadu tiasa diwujudkeun.
Naha kunaon disebut Damaskus?
Kota Damaskus nyaéta ibukota Suriah, sareng pedang Damaskus kasohor ku seukeutna sareng téksturna anu éndah. Diperlukeun hiji prosés tatahan: mimitina, pola anu diperyogikeun diukir dina permukaan baja Damaskus, sareng bahan anu parantos disiapkeun dipasang pageuh kana alur anu diukir. Saatos tatahan réngsé, permukaanna tiasa rada henteu rata. Tukang bakal ngagosokna sacara saksama pikeun mastikeun lemesna sacara umum. Sareng prosés ieu mangrupikeun prototipe tina prosés chip Damaskus ganda. Mimiti, alur atanapi liang diukir dina lapisan dielektrik, teras logam dieusi di jerona. Saatos dieusi, logam anu kaleuleuwihi bakal dipiceun ku cmp.
Léngkah-léngkah utama dina prosés damaskus ganda nyaéta:
▪ Déposisi lapisan dielektrik:
Nyetorkeun lapisan bahan dielektrik, sapertos silikon dioksida (SiO2), kana semikonduktorwafer.
▪ Fotolitografi pikeun nangtukeun pola:
Anggo fotolitografi pikeun nangtukeun pola vias sareng trenches dina lapisan dielektrik.
▪Ngukir:
Pindahkeun pola vias sareng solokan ka lapisan dielektrik ngalangkungan prosés étsa garing atanapi baseuh.
▪ Déposisi logam:
Nyimpen logam, sapertos tambaga (Cu) atanapi aluminium (Al), dina vias sareng solokan pikeun ngabentuk interkoneksi logam.
▪ Pemolesan mékanis kimiawi:
Polesan mékanis kimiawi dina beungeut logam pikeun miceun kaleuwihan logam sareng ngaratakeun beungeutna.
Dibandingkeun sareng prosés manufaktur interkoneksi logam tradisional, prosés damaskus ganda ngagaduhan kaunggulan ieu:
▪Léngkah-léngkah prosés anu disederhanakeun:Ku cara ngabentuk vias sareng solokan sakaligus dina léngkah prosés anu sami, léngkah prosés sareng waktos manufaktur dikirangan.
▪Ningkatkeun efisiensi manufaktur:Kusabab pangurangan léngkah prosés, prosés damaskus ganda tiasa ningkatkeun efisiensi manufaktur sareng ngirangan biaya produksi.
▪Ningkatkeun kinerja interkoneksi logam:Prosés damaskus ganda tiasa ngahontal interkoneksi logam anu langkung heureut, sahingga ningkatkeun integrasi sareng kinerja sirkuit.
▪Ngurangan kapasitansi sareng résistansi parasit:Ku ngagunakeun bahan dielektrik low-k sareng ngaoptimalkeun struktur interkoneksi logam, kapasitansi parasit sareng résistansi tiasa dikirangan, ningkatkeun kecepatan sareng kinerja konsumsi daya sirkuit.
Waktos posting: 25 Nopémber 2024