Dual-Damascene – бул интегралдык микросхемаларда металл бириктиргичтерин өндүрүү үчүн колдонулган процесстик технология. Бул Дамаск процессинин андан ары өнүгүшү. Бир эле процесстин этабында тешиктерди жана оюктарды бир убакта калыптандыруу жана аларды металл менен толтуруу менен металл бириктиргичтерин интеграцияланган түрдө өндүрүү ишке ашырылат.
Эмне үчүн ал Дамаск деп аталат?
Дамаск шаары Сириянын борбору болуп саналат жана Дамаск кылычтары өзүнүн курчтугу жана кооз текстурасы менен белгилүү. Бул үчүн бир түрдүү инкрустация процесси талап кылынат: алгач, керектүү үлгү Дамаск болотунун бетине чегилип, алдын ала даярдалган материалдар чегилген оюктарга бекем инкрустацияланат. Инкрустация аяктагандан кийин, бет бир аз тегиз эмес болушу мүмкүн. Чебер жалпы жылмакайлыгын камсыз кылуу үчүн аны кылдаттык менен жылтыратат. Бул процесс чиптин кош Дамаск процессинин прототиби болуп саналат. Алгач, диэлектрик катмарга оюктар же тешиктер чегилип, андан кийин аларга металл толтурулат. Толтурулгандан кийин, ашыкча металл cmp менен алынып салынат.
Кош дамаск процессинин негизги кадамдары төмөнкүлөрдү камтыйт:
▪ Диэлектрик катмардын чөкмөсү:
Жарым өткөргүчкө кремний диоксиди (SiO2) сыяктуу диэлектриктик материалдын катмарын төшөөвафли.
▪ Үлгүнү аныктоо үчүн фотолитография:
Диэлектрик катмардагы өтмөлөрдүн жана траншеялардын схемасын аныктоо үчүн фотолитографияны колдонуңуз.
▪Оёп чыгаруу:
Кургак же нымдуу оюу процесси аркылуу өтүүчү түтүктөрдүн жана траншеялардын үлгүсүн диэлектрик катмарга өткөрүп бериңиз.
▪ Металлдын чөкмөсү:
Металл байланыштарын түзүү үчүн жез (Cu) же алюминий (Al) сыяктуу металлдарды өткөргүч түтүктөргө жана траншеяларга куюңуз.
▪ Химиялык механикалык жылтыратуу:
Ашыкча металлды алып салуу жана бетин тегиздөө үчүн металлдын бетин химиялык механикалык жылтыратуу.
Салттуу металл бириктиргич өндүрүш процесси менен салыштырганда, кош дамаск процесси төмөнкү артыкчылыктарга ээ:
▪Жөнөкөйлөтүлгөн процесстик кадамдар:бир эле процесстин кадамында бир эле учурда өтмө түтүктөрдү жана траншеяларды түзүү менен, процесстин кадамдары жана өндүрүш убактысы кыскарат.
▪Өндүрүш натыйжалуулугун жогорулатуу:Процесстин кадамдарынын кыскарышынан улам, кош дамаск процесси өндүрүштүн натыйжалуулугун жогорулатып, өндүрүш чыгымдарын азайта алат.
▪ Металл бириктиргичтеринин иштешин жакшыртуу:кош дамаск процесси металлдын ичкери туташууларына жетише алат, ошону менен схемалардын интеграциясын жана иштешин жакшыртат.
▪ Мите сыйымдуулукту жана каршылыкты азайтыңыз:Төмөн-k диэлектрикалык материалдарды колдонуу жана металл өз ара байланыштарынын түзүлүшүн оптималдаштыруу менен, мите сыйымдуулукту жана каршылыкты азайтууга болот, бул чынжырлардын ылдамдыгын жана энергия керектөө көрсөткүчтөрүн жакшыртат.
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 25-ноябры