سي ايم پي جو پلانرائيزيشن ميڪانيزم ڇا آهي؟

ڊول-ڊيماسين هڪ پروسيس ٽيڪنالاجي آهي جيڪا انٽيگريٽڊ سرڪٽس ۾ ڌاتو انٽر ڪنيڪٽس ٺاهڻ لاءِ استعمال ٿيندي آهي. اهو دمشق جي عمل جي وڌيڪ ترقي آهي. ساڳئي عمل جي مرحلي ۾ هڪ ئي وقت سوراخن ۽ نالن ذريعي ٺاهڻ ۽ انهن کي ڌاتو سان ڀرڻ سان، ڌاتو انٽر ڪنيڪٽس جي انٽيگريٽڊ پيداوار کي محسوس ڪيو ويندو آهي.

ان کي دمشق ڇو سڏيو ويندو آهي؟

دمشق شهر شام جو گاديءَ جو هنڌ آهي، ۽ دمشق جون تلوارون پنهنجي تيزيءَ ۽ شاندار بناوت لاءِ مشهور آهن. هڪ قسم جي جڙڻ واري عمل جي ضرورت آهي: پهرين، دمشق اسٽيل جي مٿاڇري تي گهربل نمونو کنيو ويندو آهي، ۽ اڳ ۾ تيار ڪيل مواد کي مضبوطيءَ سان کنيل نالن ۾ جڙيل هوندو آهي. جڙڻ جي مڪمل ٿيڻ کان پوءِ، مٿاڇري ٿوري اڻ برابر ٿي سگهي ٿي. ڪاريگر ان کي احتياط سان پالش ڪندو ته جيئن مجموعي همواري کي يقيني بڻائي سگهجي. ۽ هي عمل چپ جي ٻٽي دمشق عمل جو نمونو آهي. پهرين، ڊائيليڪٽرڪ پرت ۾ ناليون يا سوراخ کنيا ويندا آهن، ۽ پوءِ انهن ۾ ڌاتو ڀريو ويندو آهي. ڀرڻ کان پوءِ، اضافي ڌاتو کي سي ايم پي ذريعي هٽايو ويندو.

ڊبل ڊيماسسين عمل جا مکيه مرحلا شامل آهن:

▪ ڊائي اليڪٽرڪ پرت جو جمع ٿيڻ:

سيمي ڪنڊڪٽر تي ڊائي اليڪٽرڪ مواد، جهڙوڪ سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ (SiO2) جو هڪ پرت جمع ڪريو.ويفر.

▪ نموني جي وضاحت لاءِ فوٽو ليٿوگرافي:

ڊائي اليڪٽرڪ پرت تي وياس ۽ خندقن جي نموني کي بيان ڪرڻ لاءِ فوٽو ليٿوگرافي استعمال ڪريو.

▪نقاشي:

خشڪ يا گلي ايچنگ جي عمل ذريعي وياس ۽ خندقن جي نموني کي ڊائي اليڪٽرڪ پرت ڏانهن منتقل ڪريو.

▪ ڌاتو جو جمع:

ڌاتو، جهڙوڪ ٽامي (Cu) يا ايلومينيم (Al) کي وياس ۽ خندقن ۾ جمع ڪريو ته جيئن ڌاتو جا ڳنڍا ٺاهيا وڃن.

▪ ڪيميڪل ميڪيڪل پالشنگ:

ڌاتو جي مٿاڇري کي ڪيميائي ميڪيڪل پالش ڪرڻ ته جيئن اضافي ڌاتو کي هٽايو وڃي ۽ مٿاڇري کي هموار ڪيو وڃي.

روايتي ڌاتو انٽر ڪنيڪٽ ٺاهڻ واري عمل جي مقابلي ۾، ڊبل ڊيماسسين عمل جا هيٺيان فائدا آهن:

▪سادي عمل جا مرحلا:ساڳئي عمل جي مرحلي ۾ هڪ ئي وقت وياس ۽ خندقون ٺاهڻ سان، عمل جا مرحلا ۽ پيداوار جو وقت گهٽجي ويندو آهي.

▪ بهتر پيداوار جي ڪارڪردگي:عمل جي مرحلن ۾ گهٽتائي جي ڪري، ڊبل ڊيماسسين عمل پيداوار جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي سگهي ٿو ۽ پيداوار جي قيمتن کي گهٽائي سگهي ٿو.

▪ ڌاتو جي انٽر ڪنيڪٽس جي ڪارڪردگي بهتر ڪريو:ڊبل ڊيماسسين عمل تنگ ڌاتو انٽر ڪنيڪٽ حاصل ڪري سگهي ٿو، ان ڪري سرڪٽس جي انضمام ۽ ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي ٿو.

▪پرازي جي گنجائش ۽ مزاحمت کي گھٽايو:گھٽ-k ڊائي اليڪٽرڪ مواد استعمال ڪندي ۽ ڌاتو جي انٽر ڪنيڪٽس جي جوڙجڪ کي بهتر بنائڻ سان، پيراسائيٽڪ ڪيپيسيٽينس ۽ مزاحمت کي گھٽائي سگھجي ٿو، سرڪٽ جي رفتار ۽ بجلي جي استعمال جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي ٿو.