Қос Дамаск технологиясы - интегралды микросхемаларда металл қосылыстарын өндіру үшін қолданылатын технологиялық процесс. Бұл Дамаск процесінің одан әрі дамуы. Бір процестің сатысында бір уақытта тесіктер мен ойықтар жасау және оларды металлмен толтыру арқылы металл қосылыстарын кешенді өндіру жүзеге асырылады.
Неліктен ол Дамаск деп аталады?
Дамаск қаласы Сирияның астанасы болып табылады, ал Дамаск қылыштары өзінің өткірлігімен және керемет құрылымымен танымал. Бір түрлі инкрустация процесі қажет: алдымен қажетті өрнек Дамаск болатының бетіне ойылып, алдын ала дайындалған материалдар ойылған ойықтарға тығыз инкрустацияланады. Инкрустация аяқталғаннан кейін беті аздап тегіс болмауы мүмкін. Шебер жалпы тегістігін қамтамасыз ету үшін оны мұқият жылтыратады. Ал бұл процесс жоңқаның қос Дамаск процесінің прототипі болып табылады. Алдымен диэлектрлік қабатқа ойықтар немесе тесіктер ойылып, содан кейін оларға металл толтырылады. Толтырғаннан кейін артық металл cmp арқылы алынып тасталады.
Қос дамаск процесінің негізгі кезеңдері мыналарды қамтиды:
▪ Диэлектрлік қабаттың шөгуі:
Жартылай өткізгіштің үстіне кремний диоксиді (SiO2) сияқты диэлектрлік материал қабатын жағыңызвафли.
▪ Үлгіні анықтау үшін фотолитография:
Диэлектрлік қабаттағы өткелдер мен траншеялардың үлгісін анықтау үшін фотолитографияны қолданыңыз.
▪Ою:
Құрғақ немесе дымқыл өңдеу процесі арқылы өтетін жолдар мен траншеялардың үлгісін диэлектрлік қабатқа ауыстырыңыз.
▪ Металлдың шөгуі:
Металл қосылыстарын қалыптастыру үшін мыс (Cu) немесе алюминий (Al) сияқты металды өткізгіштер мен траншеяларға салыңыз.
▪ Химиялық механикалық жылтырату:
Артық металды кетіру және бетін тегістеу үшін металл бетін химиялық механикалық жылтырату.
Дәстүрлі металл өзара байланыстыру процесімен салыстырғанда, қос дамаск процесінің келесі артықшылықтары бар:
▪Жеңілдетілген процесс қадамдары:Бірдей процесс сатысында бір мезгілде өткелдер мен траншеяларды қалыптастыру арқылы процесс сатылары мен өндіріс уақыты қысқарады.
▪Өндіріс тиімділігінің артуы:Процесс сатыларының азаюына байланысты қос дамаск процесі өндіріс тиімділігін арттырып, өндіріс шығындарын азайта алады.
▪Металл қосылыстардың жұмысын жақсарту:қос дамаск процесі тар металл қосылыстарына қол жеткізе алады, осылайша тізбектердің интеграциясы мен өнімділігін жақсартады.
▪Паразиттік сыйымдылық пен кедергіні азайтыңыз:Төмен k диэлектрлік материалдарды пайдалану және металл қосылыстардың құрылымын оңтайландыру арқылы паразиттік сыйымдылық пен кедергіні азайтуға болады, бұл тізбектердің жылдамдығы мен қуат тұтыну көрсеткіштерін жақсартады.
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 25 қараша