Hver er planariseringarferlið í CMP?

Dual-Damascus-ferlinu er ferlistækni sem notuð er til að framleiða málmtengingar í samþættum hringrásum. Það er frekari þróun á Damaskus-ferlinu. Með því að mynda göt og raufar á sama tíma í sama ferlinu og fylla þau með málmi, er hægt að ná samþættri framleiðslu á málmtengingum.

Hvers vegna heitir það Damaskus?

Damaskus er höfuðborg Sýrlands og Damaskus-sverð eru fræg fyrir skarpleika sinn og einstaka áferð. Eins konar innleggsferli er krafist: fyrst er tiltekið mynstur grafið á yfirborð Damaskus-stálsins og fyrirfram undirbúið efni er þétt sett inn í grafnu rásirnar. Eftir að innlegginu er lokið getur yfirborðið verið svolítið ójafnt. Handverksmaðurinn mun vandlega pússa það til að tryggja heildar sléttleika. Og þetta ferli er frumgerð tvöfaldrar Damaskus-ferlis flísarinnar. Fyrst eru rásir eða göt grafin í rafskautslagið og síðan er málmur fylltur í þau. Eftir fyllingu verður umfram málmur fjarlægður með CMP.

Helstu skrefin í tvöfaldri damaskenuferlinu eru meðal annars:

▪ Útfelling rafskautslags:

Setjið lag af rafeindaefni, eins og kísildíoxíð (SiO2), á hálfleiðarannobláta.

▪ Ljósmyndataka til að skilgreina mynstrið:

Notið ljósritun til að skilgreina mynstur göng og skurða á rafskautslaginu.

▪Etsun:

Flytjið mynstur gegnumganga og skurða yfir á rafskautslagið með þurru eða blautu etsunarferli.

▪ Útfelling málms:

Setjið málm, eins og kopar (Cu) eða ál (Al), í göng og skurði til að mynda málmtengingar.

▪ Efnafræðileg vélræn slípun:

Efnafræðileg vélræn pússun á málmyfirborði til að fjarlægja umfram málm og slétta yfirborðið.

Í samanburði við hefðbundna framleiðsluferli málmtenginga hefur tvöföld damaskenferlið eftirfarandi kosti:

▪Einfölduð ferlisskref:Með því að mynda göng og skurði samtímis í sama ferlisskrefi eru ferlisskrefin og framleiðslutíminn styttri.

▪Bætt framleiðsluhagkvæmni:Vegna fækkunar skrefa í ferlinu getur tvöföld damaskenferlið bætt framleiðsluhagkvæmni og dregið úr framleiðslukostnaði.

▪Bæta afköst málmtenginga:Tvöföld damaskenferlið getur náð þrengri málmtengingum og þar með bætt samþættingu og afköst rafrása.

▪Minnka sníkjudýraafkastagetu og viðnám:Með því að nota lág-k díelektrísk efni og hámarka uppbyggingu málmtenginga er hægt að draga úr sníkjudýraafköstum og viðnámi, sem bætir hraða og orkunotkun rafrása.