Dual-Damascene është një teknologji procesi që përdoret për të prodhuar ndërlidhës metalikë në qarqe të integruara. Është një zhvillim i mëtejshëm i procesit Damask. Duke formuar vrima dhe brazda në të njëjtën kohë në të njëjtin hap procesi dhe duke i mbushur ato me metal, realizohet prodhimi i integruar i ndërlidhësve metalikë.
Pse quhet Damask?
Qyteti i Damaskut është kryeqyteti i Sirisë, dhe shpatat e Damaskut janë të famshme për mprehtësinë dhe strukturën e tyre të hollë. Kërkohet një lloj procesi intarsimi: së pari, modeli i kërkuar gdhendet në sipërfaqen e çelikut të Damaskut dhe materialet e përgatitura paraprakisht intarsohen fort në brazdat e gdhendura. Pasi të përfundojë intarsimi, sipërfaqja mund të jetë pak e pabarabartë. Mjeshtri do ta lëmojë me kujdes atë për të siguruar butësinë e përgjithshme. Dhe ky proces është prototipi i procesit të dyfishtë të Damaskut të çipit. Së pari, brazdat ose vrimat gdhenden në shtresën dielektrike, dhe më pas metali mbushet në to. Pas mbushjes, metali i tepërt do të hiqet me cmp.
Hapat kryesorë të procesit të damaskenit të dyfishtë përfshijnë:
▪ Depozitimi i shtresës dielektrike:
Vendosni një shtresë materiali dielektrik, siç është dioksidi i silikonit (SiO2), në gjysmëpërçues.napë.
▪ Fotolitografia për të përcaktuar modelin:
Përdorni fotolitografinë për të përcaktuar modelin e viave dhe kanaleve në shtresën dielektrike.
▪Gdhendje:
Transferoni modelin e viave dhe kanaleve në shtresën dielektrike nëpërmjet një procesi gdhendjeje të thatë ose të lagësht.
▪ Depozitimi i metalit:
Depozitoni metal, siç është bakri (Cu) ose alumini (Al), në vrima dhe llogore për të formuar ndërlidhje metalike.
▪ Lustrim mekanik kimik:
Lëmim kimik mekanik i sipërfaqes metalike për të hequr metalin e tepërt dhe për ta rrafshuar sipërfaqen.
Krahasuar me procesin tradicional të prodhimit të ndërlidhjeve metalike, procesi i dyfishtë damascene ka përparësitë e mëposhtme:
▪Hapat e thjeshtuar të procesit:Duke formuar via dhe llogore njëkohësisht në të njëjtin hap procesi, hapat e procesit dhe koha e prodhimit zvogëlohen.
▪ Efikasitet i përmirësuar i prodhimit:Për shkak të reduktimit të hapave të procesit, procesi i dyfishtë i damaskenit mund të përmirësojë efikasitetin e prodhimit dhe të ulë kostot e prodhimit.
▪Përmirësoni performancën e ndërlidhjeve metalike:Procesi i dyfishtë i damaskenit mund të arrijë ndërlidhje metalike më të ngushta, duke përmirësuar kështu integrimin dhe performancën e qarqeve.
▪Ulja e kapacitetit dhe rezistencës parazitare:Duke përdorur materiale dielektrike low-k dhe duke optimizuar strukturën e ndërlidhjeve metalike, kapaciteti dhe rezistenca parazitare mund të zvogëlohen, duke përmirësuar shpejtësinë dhe performancën e konsumit të energjisë të qarqeve.
Koha e postimit: 25 nëntor 2024