Çift Şam yöntemi, entegre devrelerde metal ara bağlantıların üretiminde kullanılan bir işlem teknolojisidir. Şam yönteminin daha da geliştirilmiş bir halidir. Aynı işlem adımında aynı anda delikler ve oluklar oluşturulup metal ile doldurularak, metal ara bağlantıların entegre üretimi gerçekleştirilir.
Şam'a neden bu isim verildi?
Şam şehri Suriye'nin başkentidir ve Şam kılıçları keskinliği ve enfes dokusuyla ünlüdür. Bir tür kakma işlemi gereklidir: önce, gerekli desen Şam çeliğinin yüzeyine işlenir ve önceden hazırlanmış malzemeler işlenmiş oluklara sıkıca yerleştirilir. Kakma işlemi tamamlandıktan sonra, yüzey biraz düzensiz olabilir. Usta, genel pürüzsüzlüğü sağlamak için dikkatlice parlatır. Ve bu işlem, çift Şam çeliği yonga işleminin prototipidir. Önce, dielektrik tabakaya oluklar veya delikler işlenir ve daha sonra metal bunlara doldurulur. Doldurma işleminden sonra, fazla metal zımpara ile uzaklaştırılır.
Çift damask desenleme işleminin ana adımları şunlardır:
▪ Dielektrik tabakanın biriktirilmesi:
Yarı iletken üzerine silikon dioksit (SiO2) gibi bir dielektrik malzeme tabakası yerleştirin.gofret.
▪ Desen oluşturmak için fotolitografi:
Dielektrik katman üzerindeki geçiş yollarının ve kanalların desenini tanımlamak için fotolitografi kullanın.
▪Gravür:
Via ve hendek desenini kuru veya ıslak aşındırma işlemiyle dielektrik katmana aktarın.
▪ Metal biriktirme:
Bakır (Cu) veya alüminyum (Al) gibi metalleri, metal ara bağlantılar oluşturmak için geçiş yollarına ve kanallara biriktirin.
▪ Kimyasal mekanik parlatma:
Metal yüzeyindeki fazla metali gidermek ve yüzeyi düzleştirmek için yapılan kimyasal mekanik parlatma işlemi.
Geleneksel metal ara bağlantı üretim süreciyle karşılaştırıldığında, çift damask desenli işlem aşağıdaki avantajlara sahiptir:
▪Basitleştirilmiş işlem adımları:Aynı işlem adımında eş zamanlı olarak geçiş yolları ve kanallar oluşturularak işlem adımları ve üretim süresi azaltılır.
▪Üretim verimliliğinde iyileşme:İşlem adımlarının azaltılması sayesinde, çift damascene işlemi üretim verimliliğini artırabilir ve üretim maliyetlerini düşürebilir.
▪Metal ara bağlantıların performansını iyileştirin:Çift damask desenleme işlemi, daha dar metal ara bağlantılar elde etmeyi sağlayarak devrelerin entegrasyonunu ve performansını iyileştirir.
▪Parazitik kapasitans ve direnci azaltın:Düşük k dielektrik malzemeler kullanılarak ve metal ara bağlantıların yapısı optimize edilerek, parazitik kapasitans ve direnç azaltılabilir, böylece devrelerin hız ve güç tüketimi performansı iyileştirilebilir.
Yayın tarihi: 25 Kasım 2024