د CMP د پلان کولو میکانیزم څه شی دی؟

دوه ګونی-دماسسین د پروسې یوه ټیکنالوژي ده چې په مدغم سرکټونو کې د فلزي انټرکنیکټونو جوړولو لپاره کارول کیږي. دا د دمشق پروسې نور پرمختګ دی. د ورته پروسې په مرحله کې په ورته وخت کې د سوري او نالیو له لارې جوړولو او د فلز سره ډکولو سره، د فلزي انټرکنیکټونو مدغم تولید احساس کیږي.

سي ایم پي (۱)

 

ولې دمشق نومېږي؟


د دمشق ښار د سوریې پلازمینه ده، او د دمشق تورې د دوی د تیزوالي او غوره جوړښت لپاره مشهورې دي. د انلایټ کولو یو ډول پروسې ته اړتیا ده: لومړی، اړین نمونه د دمشق د فولادو په سطحه نقش کیږي، او مخکې چمتو شوي توکي په نقاشۍ شوي نالیو کې په کلکه سره نښلول کیږي. د انلایټ بشپړیدو وروسته، سطح ممکن یو څه نا مساوي وي. کسبګر به یې په احتیاط سره پالش کړي ترڅو ټولیز نرمښت ډاډمن کړي. او دا پروسه د چپ د دوه ګوني دمشق پروسې پروټوټایپ دی. لومړی، نالی یا سوري په ډایالټریک پرت کې نقش کیږي، او بیا فلز په کې ډک کیږي. د ډکولو وروسته، اضافي فلز به د cmp لخوا لرې شي.

 سي ایم پي (۱)

 

د دوه ګوني ډیماسین پروسې اصلي مرحلې عبارت دي له:

 

▪ د ډایالټریک طبقې جمع کول:


د ډایالټریک موادو یوه طبقه، لکه سیلیکون ډای اکسایډ (SiO2)، په نیمه سیمیکمډکټر باندې زیرمه کړئویفر.

 

▪ د نمونې تعریفولو لپاره فوتو لیتوګرافي:


د ډایالټریک طبقې په اړه د ویاس او خندقونو نمونې تعریفولو لپاره د فوتولیتوګرافي څخه کار واخلئ.

 

ایچینګ:


د وچ یا لوند ایچنګ پروسې له لارې د ویاس او خندقونو نمونه ډایالټریک طبقې ته انتقال کړئ.

 

▪ د فلزاتو زیرمه کول:


فلزات، لکه مس (Cu) یا المونیم (Al)، په ویاسونو او خندقونو کې زیرمه کړئ ترڅو د فلزاتو سره وصل شي.

 

▪ کیمیاوي میخانیکي پالش کول:


د فلزي سطحې کیمیاوي میخانیکي پالش کول ترڅو اضافي فلز لرې کړي او سطحه فلیټ کړي.

 

 

د دودیز فلزي انټرکنیک تولید پروسې په پرتله، د دوه ګوني ډیماسین پروسه لاندې ګټې لري:

▪ د پروسې ساده شوي ګامونه:د ورته پروسې په مرحله کې په ورته وخت کې د ویا او خندقونو په جوړولو سره، د پروسې مرحلې او د تولید وخت کمیږي.

▪ د تولید موثریت ښه شوی:د پروسې مرحلو کمولو له امله، د دوه ګوني ډیماسین پروسه کولی شي د تولید موثریت ښه کړي او د تولید لګښتونه کم کړي.

▪ د فلزي نښلونکو فعالیت ښه کول:د دوه ګوني ډیماسین پروسه کولی شي د فلزي انټرکنیکونو تنګوالی ترلاسه کړي، په دې توګه د سرکټونو ادغام او فعالیت ښه کوي.

▪پرازیتي ظرفیت او مقاومت کم کړئ:د ټیټ-k ډایالټریک موادو په کارولو او د فلزي انټرکنیکټونو جوړښت غوره کولو سره، پرازیتي ظرفیت او مقاومت کم کیدی شي، د سرکټونو سرعت او د بریښنا مصرف فعالیت ښه کوي.


د پوسټ وخت: نومبر-۲۵-۲۰۲۴
د WhatsApp آنلاین چیٹ!