Waa maxay farsamada qorshaynta ee CMP?

Dual-Damascene waa tiknoolajiyad habka loo isticmaalo in lagu sameeyo isku-xidhka birta ee wareegyada isku dhafan. Waa horumar dheeraad ah oo ku saabsan habka Dimishiq. Iyadoo la samaynayo godad iyo godad isku mar ah isla tallaabada habka isla markaana lagu buuxinayo bir, wax-soo-saarka isku-dhafan ee isku-xidhka birta ayaa la xaqiijiyaa.

Maxaa loogu bixiyay Dimishiq?

Magaalada Dimishiq waa caasimadda Suuriya, seefaha Dimishiqna waxay caan ku yihiin fiiqankooda iyo qaab-dhismeedkooda quruxda badan. Nooc ka mid ah habka looxa ayaa loo baahan yahay: marka hore, qaabka loo baahan yahay waxaa lagu xardhay dusha sare ee birta Dimishiq, agabka hore loo diyaariyeyna si adag ayaa loogu dhejiyay godadka la xardhay. Ka dib marka la dhammeeyo dul-gelinta, dusha sare waxay noqon kartaa mid aan sinnayn. Farsamayaqaanku si taxaddar leh ayuu u sifeyn doonaa si loo hubiyo simanka guud. Habkani waa tusaalaha habka laba-geesoodka ah ee Dimishiq ee jajabka. Marka hore, godadka ama godadka waxaa lagu xardhay lakabka dielectric, ka dibna birta ayaa lagu buuxiyaa. Ka dib marka la buuxiyo, birta dheeraadka ah waxaa laga saari doonaa cmp.

Tallaabooyinka ugu muhiimsan ee geeddi-socodka laba-jibbaaran ee burburka waxaa ka mid ah:

▪ Kala-soocidda lakabka dielectric:

Ku rid lakab walxo dielectric ah, sida silicon dioxide (SiO2), semiconductor-kabuskud yar.

▪ Sawir-qaadista si loo qeexo qaabka:

Adeegso sawir-qaadis si aad u qeexdo qaabka vias iyo godadka lakabka dielectric.

▪Qalin:

Ku wareeji qaabka vias-ka iyo godadka lakabka dielectric-ka iyada oo loo marayo hab qallayl ama qoyan.

▪ Kala-soocidda birta:

Birta, sida naxaasta (Cu) ama aluminiumka (Al), ku rid tuubooyinka iyo godadka si ay u sameeyaan isku xidhka birta.

▪ Nadiifinta farsamada kiimikada:

Nadiifinta kiimikada ee dusha sare ee birta si looga saaro birta xad-dhaafka ah loona simo dusha sare.

Marka la barbardhigo habka wax soo saarka isku xirka biraha ee dhaqameed, habka laba-jibbaaran ee damascene wuxuu leeyahay faa'iidooyinka soo socda:

▪ Tallaabooyinka habka la fududeeyay:Iyadoo la sameynayo vias iyo godad isku mar ah isla tallaabada habka, tallaabooyinka habka iyo waqtiga wax soo saarka ayaa la dhimayaa.

▪Waxsoosaar wanaagsan oo la hagaajiyay:Sababo la xiriira hoos u dhaca tallaabooyinka habka, habka laba-jibbaaran ee damascene wuxuu hagaajin karaa hufnaanta wax soo saarka wuxuuna yareyn karaa kharashyada wax soo saarka.

▪Horumarinta waxqabadka isku xirka birta:Habka laba-jibbaaran ee dam-sameynta wuxuu gaari karaa isku-xir bir ah oo cidhiidhi ah, taasoo hagaajinaysa isdhexgalka iyo waxqabadka wareegyada.

▪Yaree awoodda iyo iska caabbinta dulinleyda:iyadoo la adeegsanayo agabyada dielectric-ka hooseeya iyo hagaajinta qaab-dhismeedka isku-xidhka birta, awoodda dulinka iyo iska caabbinta ayaa la dhimi karaa, taasoo hagaajinaysa xawaaraha iyo waxqabadka isticmaalka korontada ee wareegyada.