Doub-Damascene se yon teknoloji pwosesis yo itilize pou fabrike koneksyon metal nan sikui entegre. Li se yon devlopman plis nan pwosesis Damas la. Lè yo fòme twou ak siyon an menm tan nan menm etap pwosesis la epi ranpli yo ak metal, yo reyalize fabrikasyon entegre koneksyon metal yo.
Poukisa yo rele l Damas?
Vil Damas se kapital peyi Siri a, epi nepe Damas yo renome pou file yo ak teksti ekskiz yo. Yo bezwen yon kalite pwosesis enkrustasyon: premyèman, yo grave modèl ki nesesè a sou sifas asye Damas la, epi yo byen sere materyèl ki prepare alavans yo nan siyon grave yo. Apre yo fin fè enkrustasyon an, sifas la ka yon ti jan inegal. Atizan an ap poli l ak anpil atansyon pou asire lis jeneral la. Epi pwosesis sa a se pwototip pwosesis doub Damas chip la. Premyèman, yo grave siyon oswa twou nan kouch dyelèktrik la, epi answit yo ranpli metal ladan yo. Apre ranpli a, yo pral retire metal anplis la pa cmp.
Etap prensipal yo nan pwosesis doub damasken an gen ladan yo:
▪ Depozisyon kouch dyelèktrik la:
Depoze yon kouch materyèl dyelèktrik, tankou diyoksid Silisyòm (SiO2), sou semi-kondiktè a.waflèt.
▪ Fotolitografi pou defini modèl la:
Sèvi ak fotolitografi pou defini modèl via ak tranche yo sou kouch dyelèktrik la.
▪Gravure:
Transfere modèl via ak tranche yo nan kouch dyelèktrik la atravè yon pwosesis grave sèk oswa mouye.
▪ Depozisyon metal:
Depoze metal, tankou kwiv (Cu) oswa aliminyòm (Al), nan via ak tranche pou fòme koneksyon metal.
▪ Polisaj mekanik chimik:
Polisaj mekanik chimik sifas metal la pou retire metal anplis epi aplati sifas la.
Konpare ak pwosesis fabrikasyon koneksyon metal tradisyonèl la, pwosesis doub damasken an gen avantaj sa yo:
▪ Etap pwosesis senplifye yo:Lè yo fòme via ak tranche an menm tan nan menm etap pwosesis la, etap pwosesis yo ak tan fabrikasyon an redwi.
▪ Amelyorasyon nan efikasite fabrikasyon:Akòz rediksyon etap pwosesis yo, pwosesis doub damascene lan ka amelyore efikasite fabrikasyon an epi redwi depans pwodiksyon yo.
▪ Amelyore pèfòmans koneksyon metal yo:Pwosesis doub damasken an ka reyalize koneksyon metal ki pi etwat, kidonk amelyore entegrasyon ak pèfòmans sikui yo.
▪Redui kapasitans ak rezistans parazit:Lè w sèvi ak materyèl dyelèktrik ki ba-k epi optimize estrikti koneksyon metal yo, ou ka diminye kapasitans parazit ak rezistans, sa ki amelyore vitès ak pèfòmans konsomasyon enèji sikwi yo.
Dat piblikasyon: 25 novanm 2024