Dual-Damascene hija teknoloġija tal-proċess użata għall-manifattura ta' interkonnessjonijiet tal-metall f'ċirkwiti integrati. Huwa żvilupp ulterjuri tal-proċess ta' Damasku. Billi jiġu ffurmati toqob u skanalaturi fl-istess ħin fl-istess pass tal-proċess u jimtlew bil-metall, titwettaq il-manifattura integrata ta' interkonnessjonijiet tal-metall.
Għaliex jissejjaħ Damasku?
Il-belt ta’ Damasku hija l-kapitali tas-Sirja, u x-xwabel ta’ Damasku huma famużi għall-akutezza u n-nisġa exquisite tagħhom. Huwa meħtieġ tip ta’ proċess ta’ intarsjar: l-ewwel, id-disinn meħtieġ jiġi mnaqqax fuq il-wiċċ tal-azzar ta’ Damasku, u l-materjali ppreparati minn qabel jiġu intarsjati sewwa fil-kanali mnaqqxa. Wara li jitlesta l-intarsjar, il-wiċċ jista’ jkun xi ftit irregolari. L-artiġjan se jillustrah bir-reqqa biex jiżgura l-intoppi ġenerali. U dan il-proċess huwa l-prototip tal-proċess doppju ta’ Damasku taċ-ċippa. L-ewwel, il-kanali jew it-toqob jiġu mnaqqxa fis-saff dielettriku, u mbagħad il-metall jimtela fihom. Wara l-mili, il-metall żejjed jitneħħa permezz ta’ cmp.
Il-passi ewlenin tal-proċess doppju tad-damaskin jinkludu:
▪ Depożizzjoni tas-saff dielettriku:
Iddepożita saff ta' materjal dielettriku, bħad-dijossidu tas-silikon (SiO2), fuq is-semikondutturwejfer.
▪ Fotolitografija biex tiddefinixxi l-mudell:
Uża l-fotolitografija biex tiddefinixxi l-mudell tal-vias u t-trinek fuq is-saff dielettriku.
▪Inċiżjoni:
Ittrasferixxi l-mudell tal-vias u t-trinek għas-saff dielettriku permezz ta' proċess ta' inċiżjoni niexfa jew imxarrba.
▪ Depożizzjoni tal-metall:
Iddepożita metall, bħar-ram (Cu) jew l-aluminju (Al), fil-vias u t-trinek biex tifforma interkonnessjonijiet tal-metall.
▪ Lustrar kimiku u mekkaniku:
Lustrar kimiku-mekkanik tal-wiċċ tal-metall biex jitneħħa l-metall żejjed u jiġi ċċattjat il-wiċċ.
Meta mqabbel mal-proċess tradizzjonali tal-manifattura tal-interkonnessjoni tal-metall, il-proċess doppju tad-damaskin għandu l-vantaġġi li ġejjin:
▪Passi tal-proċess simplifikati:Billi jiġu ffurmati vias u trinek simultanjament fl-istess pass tal-proċess, il-passi tal-proċess u l-ħin tal-manifattura jitnaqqsu.
▪Effiċjenza mtejba fil-manifattura:Minħabba t-tnaqqis tal-passi tal-proċess, il-proċess doppju tad-damaskin jista' jtejjeb l-effiċjenza tal-manifattura u jnaqqas l-ispejjeż tal-produzzjoni.
▪Ittejjeb il-prestazzjoni tal-interkonnessjonijiet tal-metall:Il-proċess doppju tad-damaskin jista' jikseb interkonnessjonijiet tal-metall aktar dojoq, u b'hekk itejjeb l-integrazzjoni u l-prestazzjoni taċ-ċirkwiti.
▪Tnaqqas il-kapaċitanza u r-reżistenza parassitiċi:Bl-użu ta' materjali dielettriċi b'k baxx u bl-ottimizzazzjoni tal-istruttura tal-interkonnessjonijiet tal-metall, il-kapaċitanza parassitika u r-reżistenza jistgħu jitnaqqsu, u b'hekk tittejjeb il-veloċità u l-prestazzjoni tal-konsum tal-enerġija taċ-ċirkwiti.
Ħin tal-posta: 25 ta' Novembru 2024