Dual-Damascene to technologia procesowa stosowana do produkcji metalowych połączeń międzyukładowych w układach scalonych. Jest to dalszy rozwój procesu damasceńskiego. Poprzez formowanie otworów przelotowych i rowków w tym samym czasie w tym samym etapie procesu i wypełnianie ich metalem, realizowana jest zintegrowana produkcja metalowych połączeń międzyukładowych.
Dlaczego miasto nazywa się Damaszek?
Miasto Damaszek jest stolicą Syrii, a miecze damasceńskie słyną ze swojej ostrości i wykwintnej faktury. Wymagany jest pewien rodzaj procesu inkrustacji: najpierw wymagany wzór jest grawerowany na powierzchni stali damasceńskiej, a wcześniej przygotowane materiały są ściśle inkrustowane w grawerowanych rowkach. Po zakończeniu inkrustacji powierzchnia może być nieco nierówna. Rzemieślnik ostrożnie ją wypoleruje, aby zapewnić ogólną gładkość. A ten proces jest prototypem podwójnego procesu damasceńskiego chipa. Najpierw w warstwie dielektrycznej grawerowane są rowki lub otwory, a następnie wypełnia się je metalem. Po wypełnieniu nadmiar metalu zostanie usunięty przez cmp.
Główne etapy procesu podwójnego damasceńskiego obejmują:
▪ Osadzanie warstwy dielektrycznej:
Nałóż warstwę materiału dielektrycznego, takiego jak dwutlenek krzemu (SiO2), na półprzewodnikopłatek.
▪ Fotolitografia w celu zdefiniowania wzoru:
Za pomocą fotolitografii określ wzór otworów przelotowych i rowków na warstwie dielektrycznej.
▪Akwaforta:
Przeniesienie wzoru otworów przelotowych i rowków na warstwę dielektryczną poprzez proces trawienia na sucho lub mokro.
▪ Osadzanie metalu:
Osadzanie metalu, takiego jak miedź (Cu) lub aluminium (Al), w otworach przelotowych i rowkach w celu utworzenia połączeń metalowych.
▪ Polerowanie chemiczno-mechaniczne:
Chemiczno-mechaniczne polerowanie powierzchni metalu w celu usunięcia nadmiaru metalu i wyrównania powierzchni.
W porównaniu z tradycyjnym procesem produkcji połączeń metalowych, proces podwójnego damasceńskiego łączenia ma następujące zalety:
▪Uproszczone kroki procesu:dzięki jednoczesnemu formowaniu otworów przelotowych i rowków w tym samym etapie procesu, skraca się liczba etapów procesu i czas produkcji.
▪Poprawa efektywności produkcji:Dzięki skróceniu etapów procesu, podwójny proces damasceński może zwiększyć wydajność produkcji i obniżyć jej koszty.
▪Poprawa wydajności połączeń metalowych:proces podwójnego damasceńskiego przetwarzania pozwala na uzyskanie węższych połączeń metalowych, co poprawia integrację i wydajność obwodów.
▪Zmniejszenie pojemności i rezystancji pasożytniczej:Dzięki zastosowaniu materiałów dielektrycznych o niskim współczynniku k i optymalizacji struktury połączeń metalowych możliwe jest zmniejszenie pojemności pasożytniczej i rezystancji, co poprawia prędkość i zużycie energii przez obwody.
Czas publikacji: 25-11-2024