Двојно-Дамасцен е процесна технологија што се користи за производство на метални меѓусебни врски во интегрирани кола. Тоа е понатамошен развој на Дамаск процесот. Со формирање на дупки и жлебови истовремено во истиот чекор на процесот и нивно полнење со метал, се реализира интегрирано производство на метални меѓусебни врски.
Зошто се вика Дамаск?
Градот Дамаск е главен град на Сирија, а дамаските мечеви се познати по својата острина и извонредна текстура. Потребен е еден вид процес на инкрустирање: прво, потребниот шаблон се гравира на површината на дамаскиот челик, а претходно подготвените материјали се цврсто инкрустирани во гравираните жлебови. Откако ќе се заврши инкрустирањето, површината може да биде малку нерамна. Мајсторот внимателно ќе ја полира за да се обезбеди целокупна мазност. И овој процес е прототип на двојниот дамаскин процес на чипот. Прво, жлебовите или дупките се гравираат во диелектричниот слој, а потоа металот се пополнува во нив. По полнењето, вишокот метал ќе се отстрани со cmp.
Главните чекори на процесот на двоен дамасцен вклучуваат:
▪ Депозиција на диелектричен слој:
Нанесете слој од диелектричен материјал, како што е силициум диоксид (SiO2), врз полупроводникотвафла.
▪ Фотолитографија за дефинирање на шаблонот:
Користете фотолитографија за да го дефинирате моделот на дијаметри и ровови на диелектричниот слој.
▪Бакрорез:
Пренесете го моделот на вија и ровови на диелектричниот слој преку процес на суво или влажно гравирање.
▪ Таложење на метал:
Депонирајте метал, како што се бакар (Cu) или алуминиум (Al), во вдлабнатини и ровови за да формирате метални меѓусебни врски.
▪ Хемиско механичко полирање:
Хемиско механичко полирање на металната површина за отстранување на вишокот метал и израмнување на површината.
Во споредба со традиционалниот процес на производство на метални меѓуврски, процесот со двоен дамасцен има следниве предности:
▪Поедноставени чекори во процесот:Со формирање на вијаси и ровови истовремено во истиот чекор на процесот, чекорите на процесот и времето на производство се намалуваат.
▪Подобрена ефикасност на производството:Поради намалувањето на чекорите во процесот, двојниот дамасценски процес може да ја подобри ефикасноста на производството и да ги намали трошоците за производство.
▪Подобрување на перформансите на металните меѓусебни поврзувања:Двојниот дамасценски процес може да постигне потесни метални меѓусебни врски, со што се подобрува интеграцијата и перформансите на колата.
▪Намалување на паразитскиот капацитет и отпор:Со користење на low-k диелектрични материјали и оптимизирање на структурата на металните меѓуврски, паразитскиот капацитет и отпор може да се намалат, подобрувајќи ја брзината и потрошувачката на енергија на колата.
Време на објавување: 25 ноември 2024 година