Dual-Damascene - bu integral mikrosxemalarda metall o'zaro bog'lanishlarni ishlab chiqarish uchun ishlatiladigan texnologiya. Bu Damashq jarayonining yanada rivojlanishi hisoblanadi. Xuddi shu jarayon bosqichida bir vaqtning o'zida teshiklar va oluklar hosil qilish va ularni metall bilan to'ldirish orqali metall o'zaro bog'lanishlarni integral ishlab chiqarish amalga oshiriladi.
Nima uchun u Damashq deb ataladi?
Damashq shahri Suriyaning poytaxti bo'lib, Damashq qilichlari o'tkirligi va nafis tuzilishi bilan mashhur. O'ziga xos inkrustatsiya jarayoni talab qilinadi: birinchidan, kerakli naqsh Damashq po'latining yuzasiga o'yiladi va oldindan tayyorlangan materiallar o'yilgan oluklarga mahkam inkrustatsiya qilinadi. Inkrustatsiya tugagandan so'ng, sirt biroz notekis bo'lishi mumkin. Usta umumiy silliqlikni ta'minlash uchun uni ehtiyotkorlik bilan sayqalaydi. Va bu jarayon chipning ikki tomonlama Damashq jarayonining prototipidir. Birinchidan, dielektrik qatlamga oluklar yoki teshiklar o'yiladi, so'ngra ularga metall to'ldiriladi. To'ldirgandan so'ng, ortiqcha metall cmp yordamida olib tashlanadi.
Ikki tomonlama damask jarayonining asosiy bosqichlari quyidagilarni o'z ichiga oladi:
▪ Dielektrik qatlamning cho'kishi:
Yarimo'tkazgichga kremniy dioksidi (SiO2) kabi dielektrik material qatlamini qo'yinggofret.
▪ Naqshni aniqlash uchun fotolitografiya:
Dielektrik qatlamdagi viyalar va xandaqlarning naqshini aniqlash uchun fotolitografiyadan foydalaning.
▪O'yib ishlov berish:
Quruq yoki ho'l o'yib ishlov berish jarayoni orqali vias va xandaqlar naqshini dielektrik qatlamga o'tkazing.
▪ Metallni cho'ktirish:
Metall o'zaro bog'lanishlarni hosil qilish uchun mis (Cu) yoki alyuminiy (Al) kabi metallarni o'tkazgichlar va xandaqlarga joylashtiring.
▪ Kimyoviy mexanik abrazivlash:
Ortiqcha metallni olib tashlash va sirtni tekislash uchun metall yuzasini kimyoviy mexanik abrazivlash.
An'anaviy metall o'zaro bog'lanish ishlab chiqarish jarayoni bilan taqqoslaganda, ikki tomonlama damask jarayoni quyidagi afzalliklarga ega:
▪Soddalashtirilgan jarayon bosqichlari:Bir vaqtning o'zida bir xil jarayon bosqichida vias va xandaqlarni hosil qilish orqali jarayon bosqichlari va ishlab chiqarish vaqti qisqartiriladi.
▪ Ishlab chiqarish samaradorligining oshishi:Jarayon bosqichlarining qisqarishi tufayli, ikki tomonlama damask jarayoni ishlab chiqarish samaradorligini oshirishi va ishlab chiqarish xarajatlarini kamaytirishi mumkin.
▪ Metall o'zaro bog'lamlarning ishlashini yaxshilash:Ikki tomonlama damask jarayoni torroq metall o'zaro bog'lanishlarga erishishi mumkin, shu bilan sxemalarning integratsiyasi va ishlashini yaxshilaydi.
▪ Parazit sig'imi va qarshiligini kamaytiring:Past-k dielektrik materiallardan foydalanish va metall o'zaro bog'lanishlarning tuzilishini optimallashtirish orqali parazit sig'im va qarshilikni kamaytirish mumkin, bu esa kontaktlarning tezligi va quvvat sarfini yaxshilaydi.
Nashr vaqti: 2024-yil 25-noyabr