Η διπλή-δαμασκηνή είναι μια τεχνολογία διεργασίας που χρησιμοποιείται για την κατασκευή μεταλλικών διασυνδέσεων σε ολοκληρωμένα κυκλώματα. Αποτελεί μια περαιτέρω εξέλιξη της διεργασίας της Δαμασκού. Με τη διαμόρφωση διαμπερών οπών και αυλακώσεων ταυτόχρονα στο ίδιο βήμα της διεργασίας και την πλήρωσή τους με μέταλλο, πραγματοποιείται η ολοκληρωμένη κατασκευή μεταλλικών διασυνδέσεων.
Γιατί ονομάζεται Δαμασκός;
Η πόλη της Δαμασκού είναι η πρωτεύουσα της Συρίας και τα σπαθιά της Δαμασκού είναι διάσημα για την αιχμηρότητά τους και την εξαιρετική τους υφή. Απαιτείται ένα είδος διαδικασίας ένθεσης: πρώτα, το απαιτούμενο σχέδιο χαράσσεται στην επιφάνεια του χάλυβα της Δαμασκού και τα προετοιμασμένα υλικά ενθέτονται σφιχτά στις χαραγμένες αυλακώσεις. Αφού ολοκληρωθεί η ένθεση, η επιφάνεια μπορεί να είναι λίγο ανώμαλη. Ο τεχνίτης θα τη γυαλίσει προσεκτικά για να εξασφαλίσει τη συνολική ομαλότητα. Και αυτή η διαδικασία είναι το πρωτότυπο της διπλής διαδικασίας της Δαμασκού του τσιπ. Πρώτον, οι αυλακώσεις ή οι οπές χαράσσονται στο διηλεκτρικό στρώμα και στη συνέχεια γεμίζονται με μέταλλο. Μετά την πλήρωση, η περίσσεια μετάλλου θα αφαιρεθεί με cmp.
Τα κύρια βήματα της διπλής διαδικασίας δαμασκηνού περιλαμβάνουν:
▪ Εναπόθεση διηλεκτρικού στρώματος:
Εναποθέστε ένα στρώμα διηλεκτρικού υλικού, όπως διοξείδιο του πυριτίου (SiO2), στον ημιαγωγόόστια.
▪ Φωτολιθογραφία για τον ορισμό του μοτίβου:
Χρησιμοποιήστε φωτολιθογραφία για να ορίσετε το μοτίβο των διαβάσεων και των τάφρων στο διηλεκτρικό στρώμα.
▪Χαλκογραφία:
Μεταφέρετε το μοτίβο των διαβάσεων και των τάφρων στο διηλεκτρικό στρώμα μέσω μιας διαδικασίας ξηρής ή υγρής χάραξης.
▪ Εναπόθεση μετάλλου:
Εναποθέστε μέταλλο, όπως χαλκό (Cu) ή αλουμίνιο (Al), σε οπές και τάφρους για να σχηματίσετε μεταλλικές διασυνδέσεις.
▪ Χημική μηχανική στίλβωση:
Χημική μηχανική στίλβωση της μεταλλικής επιφάνειας για την απομάκρυνση της περίσσειας μετάλλου και την ισοπέδωση της επιφάνειας.
Σε σύγκριση με την παραδοσιακή διαδικασία κατασκευής μεταλλικών διασυνδέσεων, η διπλή διαδικασία δαμασκηνού έχει τα ακόλουθα πλεονεκτήματα:
▪Απλουστευμένα βήματα διαδικασίας:Με τον ταυτόχρονο σχηματισμό διαβάσεων και τάφρων στο ίδιο βήμα της διαδικασίας, μειώνονται τα βήματα της διαδικασίας και ο χρόνος κατασκευής.
▪Βελτιωμένη αποδοτικότητα παραγωγής:Λόγω της μείωσης των βημάτων της διαδικασίας, η διπλή διαδικασία δαμασκηνίου μπορεί να βελτιώσει την αποδοτικότητα της κατασκευής και να μειώσει το κόστος παραγωγής.
▪Βελτίωση της απόδοσης των μεταλλικών διασυνδέσεων:Η διπλή διαδικασία δαμασκηνού μπορεί να επιτύχει στενότερες μεταλλικές διασυνδέσεις, βελτιώνοντας έτσι την ολοκλήρωση και την απόδοση των κυκλωμάτων.
▪Μείωση της παρασιτικής χωρητικότητας και αντίστασης:Χρησιμοποιώντας διηλεκτρικά υλικά χαμηλού k και βελτιστοποιώντας τη δομή των μεταλλικών διασυνδέσεων, η παρασιτική χωρητικότητα και αντίσταση μπορούν να μειωθούν, βελτιώνοντας την ταχύτητα και την κατανάλωση ενέργειας των κυκλωμάτων.
Ώρα δημοσίευσης: 25 Νοεμβρίου 2024